專利名稱：光電陰極、電子管和光電陰極的裝配方法
技術領域：
本發明涉及一種透過透光元件的光入射到一塊光電陰極板上而發射出光電子的光電陰極，一種包括該光電陰極的電子管，和一種裝配該光電陰極的方法。
背景技術：
根據先有技術的這種技術包括一種在日本公開專利No.2002-42636(參考1)中公開的電子管。在參考1中公開的電子管中，一塊光電陰極板夾在一塊面板和一塊支撐板之間，而一個嵌入面板的銷芯和支撐板焊接在一起，使光電陰極板固定在面板上。在這種電子管用作檢測長波光的場助型光電陰極的場合，當銷芯和支撐板由導電材料形成時，偏壓可以通過銷芯和支撐板施加到光電陰極板上。
一種上述場助型光電陰極也在日本公開專利No.Hei 8-255580(參考2)上公開。在參考2中公開的場助型光電陰極的光電陰極板是用黏結劑固定到電子管管體的內表面上的。
發明內容
發明者經過仔細研究常規電子管之后發現如下問題。即，在參考1中公開的電子管中，在形成面板中的通孔和在嵌入銷芯時必須極端仔細的工作。這使可加工性有所降低。在參考2公開的電子管中，溫度之類的變化會導致黏結劑的退化，因此在最壞的條件下光電陰極板會掉落。
本發明就是為解決這些問題而設計的。本發明的一個目的是提供一種光電陰極，一種電子管，和一種光電陰極的裝配方法，其中，光電陰極板被一個透光元件夾持，具有良好的可靠性和可加工性。
為了達到這個目的，根據本發明的光電陰極包括一個透光元件，一個光電陰極板，一個夾持元件和一個支撐板。透光元件具有一個入射預定波長光的第一表面和一個與第一表面相對和發射光的第二表面。光電陰極板設置在透光元件的第二表面一側。光電陰極板的功能是接收穿過透光元件的光和響應光的入射而發射光電子。夾持元件附著到透光元件的第二表面，并具有一個設置光電陰極板的第一開口部分。支撐板被設置成使它和透光元件的第二表面一起把光電陰極夾在中間，并具有一個暴露一部分所述光電陰極板，使從光電陰極板射出的光電子可以從中穿過的第二開口部分。尤其是，在根據本發明的光電陰極中，夾持元件具有一個折疊的固定結構使其被壓靠到支撐板，為的是把支撐板壓靠到光電陰極板。
在光電陰極中，附著到透光元件的夾持元件的固定結構被壓靠到支撐板，使光電陰極板被夾在透光元件和支撐板之間。這樣，支撐板被壓靠到光電陰極板，使光電陰極板被支撐板壓靠到透光元件。這使光電陰極板被透光元件可靠地夾持住。這個簡單配置還提供了良好的裝配可加工性。而且，夾持元件的固定結構不直接壓靠到光電陰極板，而是支撐板插進固定結構的折疊部分和光電陰極板之間。這樣可以防止光電陰極板的損壞。
最好是，固定部分包括多個設置在夾持元件上的爪形部分，以均等的間隔包圍支撐板。設置成以均等的間隔包圍支撐板的多個爪形部分被壓靠到支撐板。這使支撐板以負載均勻分配的方式被壓靠到光電陰極板，使光電陰極板具有更為穩定的駐留牢固性。
光電陰極板最好適配到夾持元件的第一開口部分之內。這個配置大大簡化了光電陰極在裝配時光電陰極板的裝配和定位工作，從而提高了光電陰極裝配工作的效率。而且，這個配置還可以防止光電陰極板的水平方向的不對齊。
夾持元件最好有一個環形合圍部分包圍光電陰極板，使支撐板適配到合圍部分之內。這個配置大大簡化了光電陰極在裝配時支撐板的裝配和定位工作，從而提高了光電陰極裝配工作的效率。另外，在支撐板設置在接近合圍部分的場合，在把用來減少功函數而方便光電子發射的堿金屬或類似物氣相淀積到從支撐板的第二開口部分暴露的光電陰極板的電子發射表面的過程中，堿金屬被防止淀積到光電陰極板的側表面上。
根據本發明的光電陰極可以有一個電氣連接到光電陰極板的第一導電薄膜。第一導電薄膜設置在透光元件的第二表面上，使電壓通過第一導電薄膜施加到光電陰極板。根據這個配置，在例如施加電壓的電源的負端連接到第一導電薄膜的情況下，光電陰極板和施加電壓的電源的負端之間建立起電氣連接。這就排除了使用通向電源負端的設置成與光電陰極板的光入射表面相接觸的導線，銷芯或類似物接入的必要性，防止了光電陰極復雜性的增加。
最好是，夾持元件由導電材料形成并且電氣連接到第一導電薄膜，使電壓通過夾持元件和第一導電薄膜施加到光電陰極板。由于這個配置，在例如施加電壓的電源的負端連接到夾持元件的情況下，光電陰極板和電源負端之間建立起電氣連接。這就排除了使用通向電源負端的設置成與光電陰極板的光入射表面相接觸的導線，銷芯或類似物接入的必要性，防止了光電陰極復雜性的增加。
可以在光電陰極板的兩側之間施加一個偏壓。由于這個配置，在例如施加偏壓的偏壓電源的負端連接到夾持元件的情況下，光電陰極板和偏壓電源的負端之間建立起電氣連接。這樣，即使在光電陰極用作場助型的情況下，這個配置也排除了使用通向電源負極的設置成與光電陰極板的光入射表面相接觸的導線，銷芯或類似物接入的必要性，防止了光電陰極復雜性的增加。
支撐板最好有一個電氣連接到光電陰極板的第二導電薄膜。第二導電薄膜形成在支撐板上，從接觸光電陰極板的一個表面通過界定第二開口部分的壁表面延續到其和這個表面相對的另一個表面，使電壓通過第二導電薄膜施加到光電陰極板。由于這個配置，在例如施加偏壓的偏壓電源的正端連接到形成在支撐板的另一個表面的第二導電薄膜的情況下，在光電陰極板和偏壓電源的正端之間建立起電氣連接。這樣，即使在光電陰極用作場助型的情況下，這個配置也排除了使用通向電源正端的設置成與光電陰極板的光電子發射表面相接觸的導線，銷芯或類似物接入的必要性，防止了光電陰極復雜性的增加。
根據本發明的電子管包括上述光電陰極。
在應用到根據本發明的電子管的光電陰極中，附著到透光元件的夾持元件的爪形部分被壓靠到支撐板，使光電陰極板被夾在透光元件和支撐板之間，因此光電陰極板被透光元件可靠地夾持住。這排除了使用黏結劑夾持光電陰極板的必要性，從而防止了由于從黏結劑中產生氣體而導致電子管中真空度的劣化。此類規格的電子管表明一種應用光電陰極檢測微弱光線的器械，包括光電倍增管，高速掃描管，和圖象增強管等。
根據本發明的光電陰極裝配方法裝配使通過透光元件發射的光入射到光電陰極板，光電子從光電陰極板發射出來的光電陰極。這個方法包括把帶有在其中設置光電陰極板的第一開口部分的夾持元件附著到透光元件的一個表面；把光電陰極板夾入帶有一個讓來自光電陰極板的光電子穿過其中的第二開口部分的支撐板和透光元件的一個表面之間；和折疊設置在夾持元件上的爪形部分使其壓靠到支撐板為的是把支撐板壓靠到光電陰極板等三個步驟。根據光電陰極裝配方法，例如夾持元件附著到透光元件的一個表面，接著光電陰極板夾入到透光元件的一個表面和支撐板之間。此后，設置在夾持元件上的爪形部分被壓靠到支撐板。這樣大大簡化的工序讓光電陰極板被透光元件可靠地夾持住。這改進了光電陰極的裝配工作的效率。另一種選擇是，光電陰極板可以首先夾入到透光元件和支撐板之間，再使夾持元件附著到透光元件上。
結合下面更為詳細的說明和附圖，本發明將更為明白易懂，然而這些僅僅作為說明之用，不能認為是本發明的限定范圍。
本發明的更多適用性范圍會隨著下面詳細說明顯而易見。然而，應當理解到，詳細說明和具體例子雖然指出本發明的優選實施例，但僅僅是作為說明之用，因為在本發明的精神和范圍之內的各種變化和改型對于業內專業人士是不言而喻的。
圖1是顯示根據本發明的光電陰極的實施例的橫截面圖；圖2是顯示圖1的光電陰極的分解透視圖；圖3是顯示圖1的光電陰極的底視圖；圖4是顯示夾持元件被適配到透光板的凹口內的狀態的透視圖；圖5是顯示光電陰極板被適配到夾持元件的開口部分的狀態的透視圖；圖6是顯示支撐板被適配到夾持元件的合圍部分的狀態的透視圖；圖7是顯示夾持元件的爪形部分被折疊而使其壓靠到支撐板的狀態的透視圖；圖8是顯示一個用作根據本發明的電子管的一個實施例的光電倍增管的橫截面圖；圖9是顯示根據本發明的光電陰極的另一個實施例的橫截面圖。
具體實施例方式
根據本發明的光電陰極，裝配光電陰極的方法，和電子管的優選實施例在下面結合附圖加以詳細說明。
圖1是顯示根據本發明的光電陰極的實施例的橫截面圖，圖2是顯示圖1的光電陰極的分解透視圖，以及圖3是顯示圖1的光電陰極的底視圖。顯示在圖1中的光電陰極1是一個包括一個光電陰極板2(一個具有所謂光電表面功能的半導體晶體)響應來自前向(從上)的入射光(hυ)而朝后向(向下)發射光電子(e-)的發射型場助光電陰極。該光電陰極1被用作諸如光電倍增管的電子管中的光電轉換部分。該光電陰極1包括一個由石英玻璃形成的盤形透光板3(透光元件)。一個其中心在軸線L上的圓形凹口4形成在透光板3的下表面3a中。
如圖1和圖2所示，一個由Cr構成的第一導電薄膜6形成在除去其圓心在軸線L上的圓形光發射區域A以外的凹口4的底表面上。第一導電薄膜6從凹口4的底表面4a均勻地延伸到側表面4b，再延伸到下表面3a(圖2中的加點區域)。這樣，將通過透光板3發射的光(hυ)就穿過底表面4a的光發射區域A。至于第一導電薄膜6的材料，最好采用Cr，Ti和Cu，因為這些材料能夠很好地附著到石英玻璃上，不會輕易剝落。當然，也可以采用其他導電材料。
一個由鐵鎳鈷合金組成的用來夾持光電陰極板2的夾持元件7適配到透光板3的凹口4中。夾持元件7包括一個與凹口4的底表面4a相接觸的薄盤形夾持部分8，而夾持部分8和形成在底表面4a上的導電薄膜6用銦(In)焊接在一起，使夾持元件牢固地固定到透光板3上。甚至由Ni構成的夾持元件7也可以用銦(In)的焊接牢固地固定。
在夾持部分8中，一個第一開口部分9形成為寬于光發射區域A的矩形。具有從沿軸線L方向看和第一開口部分9相同橫截面的薄矩形板形狀的光電陰極板2被適配到第一開口部分9中，使其和透光元件3接觸。結果，光電陰極板2的光入射表面2a被電氣連接到從夾持部分8的第一開口部分9暴露的第一導電薄膜6。
用來適配到凹口4的側表面4b的環形合圍部分11整體形成在夾持部分8的外周邊。合圍部分11包圍光電陰極板2，該合圍部分11和光電陰極板2的側表面2c之間留有一個間隔S。一個具有從沿軸線L方向看和合圍部分11的內表面相同橫截面的盤形陶瓷支撐板12被適配到合圍部分11中，使其和光電陰極板2接觸。在支撐板12中，形成一個第二開口部分13，讓從光電陰極板2的電子發射表面2b發射的光電子(e-)穿過其中。
一個由Cr構成的第二導電薄膜14形成在支撐板12的第二開口部分13的周邊(圖2中的加點區域)。第二導電薄膜14形成得使其從支撐板12的上表面12a通過界定第二開口部分13的壁表面延續到下表面12b。在上表面12a一側，該第二導電薄膜電氣連接到光電陰極板2的電子發射表面2b。至于第二導電薄膜14的材料，最好采用Cr，Ti，和Ag，因為這些材料不產生任何導致電子管中真空度劣化的氣體。但也可以采用任何其他導電材料。
四個爪形部分16以相同的間隔(每90度)而其中心落在軸線L上整體地形成在合圍部分11的下端部分中。如圖1和圖3所示，爪形部分16向軸線L折疊成直角使其被壓靠到支撐板12的下表面12a的外周邊中的非導電區域B(第二導電薄膜14不形成的區域)，以便使支撐板12壓靠到光電陰極板2。爪形部分16的數目不限于四個。例如，一對相對的爪形部分16可以形成在合圍部分11的下端部分。
在具有上述配置的光電陰極1中，固定在透光板3上的的夾持元件7的爪形部分16被壓靠到支撐板12的下表面12b，使光電陰極板2被夾入透光板3和支撐板12之間。結果，支撐板12被壓靠到光電陰極板2，使光電陰極板2被支撐板12壓靠到透光板3。這使光電陰極板2被透光板3可靠地夾持住。
夾持元件7由一種稱為鐵鎳鈷合金的導電材料構成，并且通過第一導電薄膜6電氣連接到光電陰極板2的光入射表面2a。然而，夾持元件7的爪形部分16通過由陶瓷構成而用作和電子發射表面2b一側電氣絕緣的材料的支撐板12壓住光電陰極板2。這樣防止了光電陰極板2的光入射表面2a和電子發射表面2b之間通過夾持元件7的電傳導。
而且，爪形部分16并不直接壓住光電陰極板2的電子發射表面2b，而是陶瓷支撐板12插進在爪形部分16和光電陰極板2之間而建立光電陰極板2和支撐板12之間的平面接觸。這樣防止了光電陰極板2發生損壞。
另外，四個爪形部分被形成為以均勻間隔包圍支撐板12然后壓靠到支撐板12。這樣，支撐板12以均勻負載分布的方式被壓靠到光電陰極板2。這使光電陰極板2有穩定的駐留牢固性。
下面，參考圖4-7說明裝配上述光電陰極1的方法。圖4是顯示夾持元件被適配到透光板的凹口內的狀態的透視圖，圖5是顯示光電陰極板被適配到夾持元件的開口部分的狀態的透視圖，圖6是顯示支撐板被適配到夾持元件的合圍部分的狀態的透視圖，以及圖7是顯示夾持元件的爪形部分被折疊而使其被壓靠到支撐板的狀態的透視圖。
首先，在透光板3中，Cr被氣相淀積在下表面3a，除了光發射區域以外的凹口4的底表面4a，以及凹口4的側表面4b上，使其形成第一導電薄膜6。相似地，Cr被氣相淀積在支撐板12的第二開口部分13的側周邊中的預定區域中，使其形成第二導電薄膜14。如圖4所示，在形成導電薄膜6和14后，夾持元件7被適配到透光板3的凹口4中，于是夾持元件7的夾持部分8和凹口4的底表面4a用銦(In)焊接在一起，使夾持元件7被固定到透光板3。在那時，夾持元件7的爪形部分16未被折疊而是保持原狀筆直向下延伸。
如圖5所示，在那以后，光電陰極板2被適配到夾持元件7的第一開口部分9，使光電陰極板2的光入射表面2a被電氣連接到形成在透光板3上的第一導電薄膜6上。這大大簡化的把光電陰極2適配到第一開口部分9的工序完成了光電陰極板2的裝配和定位，以及光入射表面2a和第一導電薄膜6之間的電氣連接。而且，這防止了光電陰極板2的水平方向的不對齊。
在光電陰極板2的適配以后，如圖6所示，支撐板12被適配到夾持元件7的合圍部分11，使光電陰極板2的電子發射表面2b被電氣連接到形成在支撐板12的上表面12a上的第二導電薄膜14。這大大簡化的把支撐板12適配到合圍部分11的工序完成了支撐板12的裝配和定位，以及電子發射表面2b和第二導電薄膜14之間的電氣連接。如圖7所示，在那以后，夾持元件7的爪形部分16被折疊而使其被壓靠到支撐板12的下表面12a，以便把支撐板12壓靠到光電陰極板2，因此光電陰極板2被保持在透光板3中。
作為最后一步，用來減少功函數以利于光電子(e-)發射的諸如Cs一類的堿金屬(或其氧化物)被氣相淀積到光電陰極板2的電子發射表面2b上。此時，如圖1所示，接觸透光板3的光電陰極板2的側表面2c被合圍部分11和支撐板12覆蓋。這防止了堿金屬蒸汽進入合圍部分11和光電陰極板2的側表面2c之間形成的間隔S。因此，堿金屬層只形成在從支撐板12的第二開口部分13暴露的區域中的電子發射表面2b，而堿金屬并不淀積在側表面2c上。這防止了光入射表面2a和電子發射表面2b之間通過側表面2c形成的短路。當具有粗糙表面的陶瓷材料用作支撐板12時，即使在堿金屬淀積在支撐板12的表面的場合，支撐板12的電阻也仍保持一個高值。這防止了光入射表面2a和電子發射表面2b之間通過支撐板12和夾持元件7形成的短路。
根據光電陰極1的裝配方法，夾持元件7固定到透光板3，然后光電陰極板2夾入到透光板3和支撐板12之間。在那以后，夾持元件7的爪形部分16被壓靠到支撐板12。如此大大簡化的工序使光電陰極板2可靠地保持在透光板3中。這提高了光電陰極1裝配工作的效率。
為了確保電氣連接的目的，光入射表面2a和導電薄膜6可用銦(In)焊接在一起。相似地，電子發射表面2b和導電薄膜14可用銦(In)焊接在一起。在光電陰極1中，這種焊接可用銦(In)之外的其他低熔點金屬進行。
下面，參考圖8說明具有包括上述光電陰極1的電子管功能的光電倍增管。圖8是顯示用作根據本發明的電子管的一個實施例的光電倍增管的橫截面圖。
如圖8所示，在光電倍增管20中，一個由金屬組成的管壁22被氣密地固定到一個由金屬組成的管座21上，而一個光電陰極1被氣密地固定到管體22的頂端部分，因此形成一個真空室。管體22和光電陰極1之間的固定是通過用銦(In)將一個形成在管體22的頂端部分的向內凸緣部分23和形成在透光元件3的下表面3a的第一導電薄膜6焊接在一起完成的。
金屬通道倍增電極24存放在如上所述形成的真空室內，而一個連接到管座腳26的網格狀的聚焦電極27設置在金屬通道倍增電極24和光電陰極1之間。因此，從光電陰極板2射出的光電子(e-)被會聚電極27會聚到金屬通道倍增電極24的第一級倍增電極24a上。然后，光電子(e-)在金屬通道倍增電極24中得到連續的倍增，使一群二次電子從末級倍增電極24b射出。這群二次電子到達陽極28，再通過連接到陽極28的管座腳29輸出到外部。
在聚焦電極27中，以整體結構的形式形成一對向內傾斜并延伸到支撐板12的下表面12b的接觸電極31。接觸電極31的頂端部分被壓靠到和因此被連接到形成在支撐板12的下表面12b上的第二導電薄膜14。
根據具有上述配置的光電倍增管20，當施加偏壓的偏壓電源的負極連接到管體22時，負端通過第一導電薄膜6電氣連接到光電陰極板2的光發射表面2a。另一方面，當偏壓電源的正極連接到管座腳26時，正端通過聚焦電極27，接觸電極31和第二導電薄膜14電氣連接到光電陰極板2的電子發射表面2b。
這樣，這個配置排除了使用通向場助型光電陰極板2的偏壓施加電極的導線，銷芯或類似物接入的必要性。這防止了光電陰極1復雜性的增加，而使光電倍增管20尺寸減小。應該指出，即使在偏壓電源的負端連接到夾持元件7時，負端也通過第一導電薄膜6電氣連接到光發射表面2a。
在光電倍增管20中，沒有必要使用黏結劑保持光電陰極板2的固定。這防止了由于黏結劑產生氣體而導致光電倍增管20中真空度的劣化。
本發明并不限于這些實施例。舉例來說，在上述光電陰極1中，合圍部分11以整體結構的形式形成在夾持元件7的夾持板8的周邊。然而，如圖9的光電陰極10所示，一個環形的合圍部分11可以整體結構的形式形成在夾持板8的開口部分9的周邊。圖9是顯示根據本發明的光電陰極的另一個實施例的橫截面圖。在這種情況下，為了防止光電陰極板2的光發射表面2a和電子發射表面2b之間的短路的目的，在光電陰極板2的側表面2c和合圍部分11之間最好插進一個電氣絕緣材料(未顯示)。
還有，在上述光電陰極1中，凹口4已經形成在透光板3的下表面3a中。然而，即使不形成這樣一個凹口4，光電陰極板2也能夠被夾持住。而且，根據本發明的光電陰極，光電陰極板可以被保持在不是場助型光電陰極的其他各種類型的光電陰極中。另外，本發明的光電陰極可以應用到光電倍增管20以外的其他包括高速掃描管和圖象增強管在內的各種類型的電子管中。
如上所述，根據本發明的光電陰極，電子管，和根據本發明的光電陰極的裝配方法，附著到透光元件的夾持元件的爪形部分被壓靠到一個支撐板，使光電陰極板被夾入到透光元件和支撐板之間。這使光電陰極板在透光元件中的駐留牢固性非常可靠性而且易于加工。
從上述的發明可以明顯看出，本發明的實施例可有多種形式的變化。這些變化不應被看作是對本發明精神和范圍的偏離，而對于業內專業人士來說是顯而易見的所有這樣的變化應該包括在下列權利要求的范圍之內。
權利要求
1.一種光電陰極，包括一個具有一個入射預定波長光的第一表面，和一個和第一表面相對并發射光的第二表面的透光元件；一個設置在所述透光元件的第二表面一側的光電陰極板，所述光電陰極板接收穿過所述透光元件的光并響應光入射而發射光電子；一個附著到所述透光元件的第二表面并具有一個在其中設置所述光電陰極板的第一開口部分的夾持元件；和一個設置成使其和所述透光元件的第二表面一起夾住所述光電陰極板并且具有一個用以暴露一部分所述光電陰極板以使來自所述光電陰極板的光電子穿過的第二開口部分的支撐板，其中，所述夾持元件有一種折疊固定結構，使其被壓靠到所述支撐板，其目的是把所述支撐板壓靠到所述光電陰極板。
2.如權利要求1所述的光電陰極，其特征在于，所述夾持元件的固定結構包括多個爪形部分，所述爪形部分在所述夾持元件上設置成以均勻間隔包圍所述支撐板。
3.如權利要求1所述的光電陰極，其特征在于，所述光電陰極板適配在所述夾持元件的所述第一開口部分中。
4.如權利要求1所述的光電陰極，其特征在于，所述夾持元件有一個用以包圍所述光電陰極板的環形合圍部分，使所述支撐板適配在所述合圍部分中。
5.如權利要求1所述的光電陰極，其特征在于，還包括一個電氣連接到所述光電陰極板的第一導電薄膜，所述第一導電薄膜設置在所述透光元件的第二表面上，使一個電壓通過所述第一導電薄膜施加到所述光電陰極板。
6.如權利要求5所述的光電陰極，其特征在于，所述夾持元件由一種導電材料構成并且電氣連接到所述第一導電薄膜，使一個電壓通過所述夾持元件和所述第一導電薄膜施加到所述光電陰極板。
7.如權利要求1所述的光電陰極，其特征在于，一個偏壓被施加到所述光電陰極板的兩個表面之間。
8.如權利要求7所述的光電陰極，其特征在于，還包括一個電氣連接到所述光電陰極板的第二導電薄膜，所述第二導電薄膜設置在所述支撐板上，使其從所述支撐板的接觸所述光電陰極板的一個表面通過所述支撐板的一個界定所述第二開口部分的壁表面延續到所述支撐板的與所述一個表面相對的另一個表面，使一個電壓通過所述第二導電薄膜施加到所述光電陰極板。
9.一種包括一個如權利要求1所述的光電陰極的電子管。
10.一種裝配包括一個透光元件和一個接收穿過所述透光元件的光并響應光入射而發射光電子的光電陰極板的光電陰極的方法，所述裝配方法包括下列步驟把一個具有一個在其中設有所述光電陰極板的第一開口部分的夾持元件附著到所述透光元件的一個表面上；用一個具有一個用以暴露一部分所述陰極板以便讓來自所述光電陰極板的所述光電子穿過的第二開口部分的支撐板和所述透光元件的一個表面夾住所述光電陰極板；和折疊設置在上述夾持元件上的爪形部分使其被壓靠到所述支撐板，為的是把所述支撐板壓靠到所述光電陰極板。
全文摘要
本發明涉及一種具有把一個光電陰極板以良好的可靠性和可加工性夾持在一個透光元件上的結構的光電陰極和類似元件。在該光電陰極中，固定在透光元件上的一個夾持元件的爪形部分被壓靠到支撐板的下表面，使光電陰極板被夾在透光元件和支撐板之間。這樣，支撐板被壓靠到光電陰極板，使光電陰極板被支撐板壓靠到透光板。這使光電陰極板被透光元件可靠地夾持住。這個簡單的配置還提供了良好的裝配可加工性。
文檔編號H01J9/12GK1501423SQ200310116388
公開日2004年6月2日 申請日期2003年11月12日 優先權日2002年11月13日
發明者根木康晴, 江川康幸, 廣畑徹, 新垣實, 幸 申請人:浜松光子學株式會社