專利名稱：等離子刻蝕機反應室的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶體硅太陽能電池生產領域，具體來說涉及一種晶體硅太陽能電池等離子刻蝕工藝中等離子刻蝕機反應室。
背景技術：
在晶體硅太陽能電池生產過程中的擴散工序中，硅片的邊緣部分形成了 PN結，等離子刻蝕的作用是將硅片邊緣部分的PN結去除。否則將導致電池正負極之間并聯電阻過小，且漏電電流過大，影響電池的輸出特性。現有的晶體硅太陽能電池生產過程中的等離子刻蝕機反應室采用圓筒形的石英玻璃結構，由于結構的限制，這種等離子刻蝕機反應室刻蝕的晶體硅太陽能電池片只有300片/批。而氟基氣體等離子體很容易腐蝕石英及玻璃類零件，長期的氟基等離子體在石英玻璃反應室中，會因為腐蝕的結果會造成材料的結構劣化，并且可能影響到密封面而導致真空漏氣或因石英腐蝕變薄而不能承受真空及大氣壓力之間的壓力差而造成爆裂。
發明內容本實用新型的目的在于，針對現有技術的不足，提供一種等離子刻蝕反應室，防止工藝過程中產生的氟基等離子體與石英玻璃反應室發生反應，并且可以提高一次裝載產品的數量，提高生產效率。
本實用新型的技術方案為，一種等離子刻蝕機反應室，包括反應室本體，反應室本體底部設有旋轉平臺，采用高強度硬鋁材料焊接而成的反應室本體一側設有源部件接口 ；所述單相低速電機的輸出軸與旋轉平臺的旋轉軸連接并在單相低速電機輸出軸與旋轉平臺旋轉軸的連接處通過磁流體密封；所述源部件接口處安裝進氣法蘭，并在進氣法蘭外周安裝永磁體，且進氣法蘭外端面安裝用于密封源部件接口的密封件。所述反應室本體一側設有旋轉式密封門，方便太陽能電池片的裝載；旋轉式密封門上設有石英玻璃觀察窗，便于在刻蝕工藝過程隨時察看工藝情況。所述密封件為陶瓷板，進氣法蘭使氣體分布更加均勻，并且在進氣法蘭外周安裝有永磁體，用于加強等離子體的產生密度，提高反應速率；陶瓷板可以有效的密封反應室，并方便射頻功率的引入。本實用新型采用永磁體提高了等離子體的密度，加快了刻蝕速率；能夠實現一次裝片800片，提高生產效率；本實用新型消除了等離子刻蝕反應室因石英腐蝕變薄而不能承受真空及大氣壓力之間的壓力差而造成爆裂的危險。
圖1為本實用新型所述等離子刻蝕機反應室的結構主視圖；圖2為本實用新型所述等離子刻蝕機反應室的結構俯視圖；其中1 一反應室本體；2—進氣法蘭；3 —陶瓷板；4一旋轉平臺；5—磁流體；6—壓力檢測接口 ；7—永磁體；8—石英玻璃觀察窗；9一旋轉式密封門；10—單相低速電機；11一真空泵接口。
具體實施方式
如圖1、圖2所示，一種等離子刻蝕機反應室，包括反應室本體I，反應室本體I底部設有旋轉平臺4，并在反應室本體I 一側設有源部件接口，反應室本體I采用LY12型的高強度硬鋁材料焊接而成；所述旋轉平臺4通過單相低速電機10驅動，所述單相低速電機10的輸出軸與旋轉平臺4的旋轉軸連接并在單相低速電機10輸出軸與旋轉平臺4旋轉軸的連接處通過磁流體5密封；所述源部件接口處安裝進氣法蘭2，并在進氣法蘭2外周安裝永磁體7，且進氣法蘭2外端面安裝用于密封源部件接口的密封件3。反應室本體I 一側設有旋轉式密封門9，旋轉式密封門9上設有石英玻璃觀察窗8。 密封件3為陶瓷板。
權利要求1.一種等離子刻蝕機反應室，包括反應室本體(I)，反應室本體(I)底部設有旋轉平臺(4)，其特征是，采用高強度硬鋁材料焊接而成的反應室本體(I) 一側設有源部件接口 ；所述單相低速電機(10)的輸出軸與旋轉平臺(4)的旋轉軸連接并在單相低速電機(10)輸出軸與旋轉平臺(4)旋轉軸的連接處通過磁流體(5)密封；所述源部件接口處安裝進氣法蘭(2 )，并在進氣法蘭(2 )外周安裝永磁體(7 )，且進氣法蘭(2 )外端面安裝用于密封源部件接口的密封件(3)。
2.根據權利要求1所述等離子刻蝕機反應室，其特征是，所述反應室本體(I)一側設有旋轉式密封門(9)。
3.根據權利要求2所述等離子刻蝕機反應室，其特征是，所述旋轉式密封門(9)上設有石英玻璃觀察窗(8)。
4.根據權利要求1所述等離子刻蝕機反應室，其特征是，所述密封件(3)為陶瓷板。
專利摘要本實用新型涉及晶體硅太陽能電池生產領域，具體來說涉及一種晶體硅太陽能電池等離子刻蝕工藝中等離子刻蝕機反應室，反應室本體底部設有旋轉平臺，采用高強度硬鋁材料焊接而成的反應室本體一側設有源部件接口；所述單相低速電機的輸出軸與旋轉平臺的旋轉軸連接并在單相低速電機輸出軸與旋轉平臺旋轉軸的連接處通過磁流體密封；所述源部件接口處安裝進氣法蘭，并在進氣法蘭外周安裝永磁體，且進氣法蘭外端面安裝用于密封源部件接口的密封件。本實用新型采用永磁體提高了等離子體的密度，加快了刻蝕速率；能夠實現一次裝片800片，提高生產效率。
文檔編號H01J37/32GK202871741SQ20122055028
公開日2013年4月10日 申請日期2012年10月25日 優先權日2012年10月25日
發明者成秋云, 禹慶榮, 吳得軼 申請人:湖南紅太陽光電科技有限公司