一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置與流程

本發明屬于激光加工應用技術領域，具體涉及一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置，該方法尤其適用于KDP光學晶體等厚脆性透射材料的分離。

技術背景

激光熱裂法是目前切割分離脆性透射材料(如玻璃、光學玻璃、光學晶體等)，獲得高質量分離邊緣的一種有效方法。該方法是采用激光聚焦鏡將激光束聚焦在透明材料的表面或內部，利用脆性透射材料對某波段激光較高的吸收率(如10.6μm波段的激光束)形成表面吸收激光能量，使脆性透射材料表面加熱；或利用脆性透射材料對某波段激光較低的吸收率(如1.06μm波段的激光束)形成體吸收激光能量，使脆性透射材料整體加熱，從而使脆性材料表面或內部因受熱膨脹，產生較大壓應力。隨著聚焦激光束的移動，被加熱處材料在空氣的對流和材料內部的傳導散熱的作用下迅速冷卻收縮，形成較大的拉應力。當形成的拉應力超過材料的斷裂閾值，脆性透射材料將會沿著激光掃描方向產生擴展裂紋而自動分離或在機械外力作用下分離，實現激光切割分離的目的。

與機械切割方法相比，激光熱裂法具有切縫平直、無碎屑、無顯微裂紋等優點。但這種激光熱裂法最大的缺陷是只有一個激光聚焦點，無論是面吸收還是體吸收形式都會使脆性透射材料沿分離垂直的厚度上對激光能量的吸收極不均勻，從而導致沿厚度方向產生的應力差別較大。隨著材料厚度的增加，單焦點激光導致材料沿厚度方向吸收能量的不均勻性越來越嚴重，其結果是很難控制熱應力產生的裂紋走向，極易使裂紋沿脆性材料厚度方向擴展失控，導致材料的整體炸裂。

針對單焦點激光分離脆性透射材料缺陷，出現了多種多焦點激光分離方法，在一定程度上克服了單焦點激光分離的缺陷。但現有多焦點激光分離大多采用反射式聚焦的方法產生多焦點激光(如中國發明專利ZL201210118371.0)，激光在不斷反射傳播的過程中，激光因發散而使激光能量不斷損失，導致產生的激光焦點數量較少，且各個激光焦點的能量分布差別較大，沿厚度方向產生的應力雖有改善，但仍然存在不均勻現象，且隨材料厚度增加，不均勻現象越嚴重，因此激光切割分離材料厚度仍然受到限制。此外，這種反射式聚焦產生多焦點的方法由于設計方法的固有缺陷，使激光多焦點產生的位置和焦點的能量分布都不能按照最理想的設計進行，影響切割分離材料厚度和質量。

技術實現要素：

針對以上單焦點激光和現有多焦點激光分離脆性透射材料所存在的問題，本發明提出了一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置，目的在于實現激光對厚脆性透射材料的高質量、高效率、高成功率的分離。

本發明提供的一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料的方法，其特征在于，該方法采用相同的工藝參數，在待分離脆性透射材料的厚度方向兩側，每側均采用同光軸激光反向對射，并且分別在脆性透射材料內部產生多個激光焦點，兩側同光軸激光反向對射使脆性透射材料內部產生的焦點數量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方向上對激光能量吸收的均勻性，使脆性透射材料沿厚度方向的受熱膨脹均勻性增強，激光多焦點光束離開后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷卻而產生拉應力，實現激光對厚脆性透射材料的分離。

本發明提供的一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料的裝置，其特征在于，該裝置包括兩套多焦點激光加工系統和一臺三維工作平臺；其中每套多焦點激光加工系統均包括激光器、導光鏡、擴束鏡和一組多焦點鏡片組，所述激光器、導光鏡、擴束鏡和多焦點鏡片組依次位于同一光路上；

該裝置工作時，所述三維工作平臺位于兩套多焦點鏡片組中間，用于安裝和使待加工脆性透射材料沿垂直于激光束光軸的方向移動；所述一組多焦點鏡片組用于使激光束被折射角度不相同,在光軸上產生焦點的位置也不相等，以形成多個聚焦點；所述兩套多焦點激光加工系統輸出的激光通過所述多焦點激光束分別位于脆性透射材料厚度兩側同光軸上，并反向相互對射，在脆性透射材料內產生加倍的激光焦點數量，以改善脆性透射材料沿厚度方向上對激光能量吸收的均勻性，使脆性透射材料沿厚度方向的受熱膨脹均勻性增強，激光多焦點光束離開后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷卻而產生拉應力，實現激光對厚脆性透射材料的分離。

本發明具有以下優點：

1、利用兩套多焦點激光加工系統同軸反向對射，使激光在脆性透射材料內，沿厚度光軸方向產生多個焦點，可以大幅度改善激光分離脆性透射材料厚度方向對激光能量吸收不均勻的問題，從而大幅減小脆性透射材料沿厚度方向產生的熱應力差別，改善激光分離切割質量，獲得平整、陡峭、無崩邊的切口端面，增加了材料切割軌跡的方向的可控性，使曲率很大的圓弧也可進行高質量安全切割分離。

2、采用兩套多焦點激光加工系統在脆性透射材料兩側同軸反向對射，其產生的激光焦點數量是一套多焦點激光加工系統的兩倍以上，使激光的焦點數量成倍增加，可切割分離更厚的脆性透射材料。

3、采用由如帶小孔或直徑不同聚焦鏡等方式組成的多焦點鏡片組所產生的焦點數量、位置和各個焦點的能量分布均可通過自由調節多焦點鏡片組中的各聚焦鏡片之間距離來改變，避免了反射式多焦點激光的能量分布不均勻和各個激光焦點位置等不能自由調節的缺陷，具有更大的實際使用價值。

4、本發明對脆性透射材料的厚度是沒有限制，因為切割分離的脆性透射材料的厚度越大，所需不同焦距的鏡片數量越多，激光功率越大，所以從理論上講，該方法不受切割分離脆性透射材料厚度的限制。

附圖說明

圖1為對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置示意圖。

圖2為對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置中鏡片組組成方式之一的多焦點鏡片組及光路示意圖。

圖3為對射使多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置中鏡片組組成方式之二的多焦點鏡片組及光路示意圖。

具體實施方式

本發明方法利用中心帶有不同直徑小孔且焦距不同的聚焦鏡或不同直徑和焦距的聚焦鏡組成多焦點鏡片組，將激光束分為若干個部分，利用多焦點鏡片組，使每部分激光束通過多焦點鏡片組后，產生不同的折射聚焦角度，從而在光軸上形成多個焦點。各焦點之間距離和能量密度可根據需求來設計計算。采用兩套激光器加工系統和多焦點鏡片組分別置于脆性透射材料的厚度方向兩側，并光軸同軸反向對射，使脆性透射材料內部產生的焦點數量加倍，改善了脆性透射材料沿厚度方向上對激光能量吸收的均勻性，使脆性透射材料沿厚度方向的受熱膨脹均勻性增強。激光多焦點光束離開后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷卻而產生較均勻的拉應力，實現激光對厚脆性透射材料的高質量、高效率、高成功率的分離。

本發明提供的一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料的裝置，包括兩套多焦點激光加工系統和一臺三維工作平臺。其中每套多焦點激光加工系統均包括激光器、導光鏡、擴束鏡和一組多焦點鏡片組。對于每套多焦點激光加工系統，其激光器、導光鏡、擴束鏡和多焦點鏡片組依次位于同一光路上。兩套多焦點激光加工系統輸出多焦點激光束分別位于脆性透射材料厚度兩側同光軸上，并反向相互對射，在脆性透射材料內產生加倍的激光焦點數量。三維工作平臺位于兩套多焦點鏡片組中間，用于固定和移動待加工脆性透射材料。

本發明列舉了二種多焦點鏡片組的組成方式，第一種是由一系列中心帶有不同直徑小孔且焦距不同的聚焦鏡組成,第一片聚焦鏡上的小孔直徑大于第二片的小孔直徑，以后聚焦鏡上的小孔直徑依次遞減。聚焦鏡上小孔直徑大小是根據實際激光束直徑來確定，并確保聚焦鏡上小孔直徑小于實際激光束在聚焦鏡表面上的直徑。其中小孔直徑的大小同焦點的能量分布直接相關，小孔直徑越小，該聚焦鏡的激光焦點所占能量密度比例越大。各個聚焦鏡上小孔直徑應從第一片帶小孔聚焦鏡開始算起，前面聚焦鏡的小孔直徑會影響后面小孔聚焦鏡所產生的激光焦點的能量分布。

第二種多焦點鏡片組由一系列不同直徑和焦距的聚焦鏡組成，聚焦鏡的直徑由實際激光束直徑來確定。此時，激光束需采用較大倍數擴束鏡來擴束，增加激光束直徑，使激光束直徑大于第一片聚焦鏡直徑，而第二、第三及以后的聚焦鏡直徑依次遞減，并且鏡片直徑均小于激光在該鏡片表面上的直徑。其中，聚焦鏡直徑、焦距和激光在此處直徑的大小決定了該聚焦鏡所產生激光焦點的能量比例。當聚焦鏡直徑越接近激光束在此處的直徑，則此聚焦鏡片產生的激光焦點能量所占比例越大。

多焦點鏡片組中每個帶小孔或直徑不同的聚焦鏡片均可沿激光光軸方向移動，由此來控制所產生的各個激光焦點的位置和能量分布。例如，將兩片聚焦鏡片距離拉大，則兩片聚焦鏡所產生的兩個激光焦點距離會拉大，且兩個激光焦點的能量分配比例也將產生相應變化。在實際應用中可按照實際需求來進行調節。

不論是帶小孔聚焦鏡或直徑不同聚焦鏡組成的多焦點鏡片組均會造成激光能量損失，其損失量約在5％-15％之間，且激光的能量損失和鏡片組中各個聚焦鏡的厚度相關。聚焦鏡的厚度越小，則激光的能量損失越小。在實際應用中，應盡量采用厚度較小的聚焦鏡來組成多焦點鏡片組，減少激光的能量損失。

當所切割脆性透射材料厚度增加時，可增加多焦點鏡片組中鏡片數量，從而增加所產生激光焦點數量，并增大激光功率，以完成更厚脆性透射材料的切割分離。

本發明適用于切割多種脆性透射材料，如石英、光學玻璃、普通玻璃，以及多種光學晶體等。光學晶體如磷酸二氫鉀(KDP)、酸鋰(LiNbO3—LN)、磷酸二氘鉀(KD2PO4—DKDP)、碘酸鋰(LiIO3—LI)、磷酸氧鈦鉀(KTiOPO4—KTP)、偏硼酸鋇(BaB2O4—BBO)、三硼酸鋰(LiB3O5—LBO)、鈮酸鉀(KNbO3—KN)、硼酸銫(CSB3O5—CBO)、硼酸銫鋰(LiCSB6O10—CLBO)、氟硼酸鉀鈹(KBe2BO3F2—KBBF)以及硫銀鎵(AgGaS2—AGS)、砷鎘鍺(CdGeAs—CGA)、磷鍺鋅(ZnGeP2—ZGP)；光學玻璃如硅酸鹽、硼酸鹽、磷酸鹽、氟化物和硫系化合物系列。

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施實例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

本發明提供的技術方案可以由一種實施方式完成，多焦點鏡片組的組成及光路有兩種具體的實施方式。具體實施方式包括如下步驟：

(1)將一系列中心帶小孔或直徑不同聚焦鏡組成兩套多焦點鏡片組。其中，各個聚焦鏡片的數量、焦距、小孔直徑或聚焦鏡直徑由所切割脆性透射材料的厚度、吸收率、折射率等參數決定。調節各個聚焦鏡片間距，使產生的激光焦點位置適中。

(2)將激光器、導光鏡、擴束鏡組成第一激光加工系統，并將多焦點鏡片組置于第一激光加工系統前，使其光軸同軸。其中，激光器類型的選擇同所切割材料的特性決定，可選擇CO₂激光器、光纖激光器、YAG激光器等，各個光學器件及鏡片的選擇同激光器相匹配。采用同第一激光加工系統完全相同的器件組成第二激光加工系統。第一激光加工系統同第二激光加工系統的激光傳播方向同軸反向。

(3)第一、第二激光器同時出光，兩束激光經過導光鏡、擴束鏡后，通過各自的多焦點鏡片組，在待加工脆性透射材料內產生多個激光焦點。兩套多焦點激光加工系統產生的激光焦點數量、間距、能量分布等完全相同。

(4)將待加工脆性透射材料沿X軸方向運動，多個激光焦點沿材料厚度方向作用于脆性透射材料，使脆性透射材料內部激光焦點作用區域產生高溫區域，產生較大的壓應力。而隨著脆性透射材料的運動，激光焦點離開待加工脆性透射材料原作用區域，使原作用區域溫度迅速降低，產生較大的拉應力，超過脆性透射材料的斷裂閾值，使脆性透射材料激光焦點作用區域附近開裂。而由于激光產生了多個焦點，即開裂區域被擴大與激光焦點個數相同的倍數，增加了激光切割分離深度，使待加工脆性透射材料整體開裂。

如圖1所示，本發明裝置包括兩套多焦點激光加工系統90和91以及三維移動平臺14。第一多焦點激光加工系統90包括激光器1、反射鏡2和3、擴束準直鏡4和多焦點鏡片組5。第二激光加工系統91包括激光器10、反射鏡9和8、擴束準直鏡7和多焦點鏡片組6。其中，鏡片組5和6有兩種組成方式，分別為由一系列帶不同直徑小孔且焦距不同的聚焦鏡片組成或由一系列直徑和焦距不同的聚焦鏡片組成。兩套多焦點鏡片組5和6分別位于待切割分離透射脆性材料11的厚度方向兩側，輸出的聚焦激光束的傳播方向同光軸反向。待切割分離透射脆性材料11安裝在三維移動平臺14上，帶動透射脆性材料11沿XYZ三個方向移動。

多焦點鏡片組5和6有兩種組成方式，第一種組成方式及光路示意圖如圖2所示。鏡片組由一系列中心帶小孔的聚焦鏡片組成，且各聚焦鏡片的厚度盡可能薄，以減少激光能量的損失。各聚焦鏡片焦距、各聚焦鏡片之間距離、各聚焦鏡片小孔直徑均由實際所切割分離脆性透射材料厚度、折射率、吸收率等決定。所切割分離材料厚度越厚，則各聚焦鏡片焦距越長，各聚焦鏡之間距離越大,各聚焦鏡片小孔直徑越大；所切割材料折射率越大，則各聚焦鏡片焦距越長，各聚焦鏡之間距離越大，各聚焦鏡小孔直徑不變；所切割材料吸收率越高，則各聚焦鏡片焦距及各聚焦鏡之間距離不變，各聚焦鏡片小孔直徑越大。聚焦鏡上小孔的存在使激光束被劃分為不同的部分。由于每部分的激光束經過聚焦鏡片數量不同，而引起折射角度不同，產生的聚焦點位置也不同，從而形成多個激光焦點。例如圖2，第一激光加工系統輸出的激光束經過擴束準直鏡4后形成擴束準直的激光束15；激光束15穿過常規聚焦鏡50后，形成聚焦激光束16。聚焦激光束16的一部分激光束穿過第一聚焦鏡51中心小孔52形成聚焦激光束17，而另一部分激光束穿過第一聚焦鏡51鏡片后，被二次聚焦形成聚焦激光束18。此后，聚焦激光束17的一部分激光束又直接穿過第二聚焦鏡片53中心小孔54形成聚焦激光束19，并聚焦于光軸60的點25處。由于第二聚焦鏡片53中心小孔54直徑小于第一聚焦鏡51中心小孔52，使得激光束17的另一部分激光束穿過聚焦鏡片53形成二次聚焦激光束20，并聚焦于光軸60的點24處。而二次聚焦激光束18又穿過聚焦鏡片53，形成三次聚焦激光束21，并聚焦于點光軸60的23處。顯然，聚焦點25的激光束19只通過一個聚焦鏡50聚焦，聚焦點24的激光束20通過兩個聚焦鏡50和51聚焦，聚焦點23激光束21通過三個聚焦鏡50、51和53聚焦，因而使聚焦激光束19、20和21三部分激光束被折射角度均不相同，在光軸60上產生焦點的位置也不相等，從而形成三個聚焦點。經過聚焦鏡片個數越多，激光束被折射角度越大，產生聚焦點的位置越靠近多焦點鏡片組5。同理，由與多焦點鏡片組5相同結構數量的常規聚焦鏡55、帶有小孔57的聚焦鏡56和帶有小孔58的聚焦鏡59組成的多焦點鏡片組6，也將在光軸60上產生三個聚焦點34、35和36。

由于兩套多焦點激光加工系統的同軸反向對射，使激光產生的焦點數量增加為一套激光加工系統的兩倍，使產生的激光焦點數量最大化。依此類推，當帶小孔聚焦鏡和常規聚焦鏡為N片時，則兩套激光加工系統可產生2N個激光焦點。

多焦點鏡片組5和6的第二種組成方式及光路示意圖如圖3所示。多焦點鏡片組由一系列直徑不同的聚焦鏡片組成，且各聚焦鏡片的厚度盡可能薄，以減少激光能量的損失。各聚焦鏡片焦距、各聚焦鏡片之間距離、各直徑不同的聚焦鏡片直徑均由實際所切割分離脆性透射材料厚度、折射率、吸收率等決定。所切割分離材料厚度越厚，則各聚焦鏡片焦距越長，各聚焦鏡之間距離越大，各直徑不同的聚焦鏡片直徑越小；所切割材料折射率越大，則各聚焦鏡片焦距越長，各聚焦鏡之間距離越大，各直徑不同的聚焦鏡片直徑不變；所切割材料吸收率越高，則各聚焦鏡片焦距及各聚焦鏡片之間距離不變，各直徑不同的聚焦鏡片直徑越小由于各個聚焦鏡直徑不同，使激光束分為不同的部分，且激光束的不同部分經過不同數量的聚焦鏡聚焦，使各個部分產生不同折射率的聚焦，從而在光軸上產生多個激光焦點。如圖3，第一激光加工系統產生激光束經過擴束準直鏡4輸出激光束70穿過常規聚焦鏡41后，形成聚焦激光束71。聚焦激光束71的一部分直接聚焦于光軸60，產生聚焦點76；聚焦激光束71另一部分通過聚焦鏡42，再次聚焦形成聚焦激光束72。聚焦激光束72的一部分直接聚焦于光軸60，產生聚焦點75，聚焦激光束72另一部分通過聚焦鏡43，再次聚焦形成聚焦激光束73，并聚焦于光軸60，產生聚焦點74。同理，聚焦點76的激光束71只通過一個聚焦鏡42聚焦，聚焦點75的激光束72通過兩個聚焦鏡41和42聚焦，聚焦點74激光束73通過三個聚焦鏡41、42和43聚焦，因而使聚焦激光束71、72和73三部分激光束被折射角度均不相同，在光軸60上產生焦點的位置也不相等，從而形成三個聚焦點。經過聚焦鏡片個數越多，激光束被折射角度越大，產生聚焦點的位置越靠近多聚焦鏡片組5。同理，由與多焦點鏡片組5相同結構數量的常規聚焦鏡44、聚焦鏡45和聚焦鏡46組成的聚焦鏡片組6，也將在光軸60上產生三個聚焦點80、81和82。

由于兩套激光加工的同軸反向對射，使激光產生的焦點數量增加為一套激光加工系統的兩倍，使產生的激光焦點數量最大化。依此類推，當直徑不同的聚焦鏡為N片時，則兩套激光加工系統可產生2N個激光焦點。

其工作原理是首選根據實際切割脆性透射材料厚度、折射率、吸收率等，選擇合適的激光器1和10，并選擇合適參數的中心帶有小孔或直徑不同的聚焦鏡組成鏡片組5和6。激光加工系統90和91中的激光器1和10同時輸出的激光束，分別經反射鏡2、3和反射鏡9和8，導入激光加工系統90和91中的擴束準直鏡4和7，進行放大準直后，進入各自的多焦點鏡片組5和6，由多焦點鏡片組5和6輸出多個聚焦激光束分別在脆性透射材料11中產生多個同光軸激光焦點12，沿脆性透射材料11厚度方向均勻加熱。然后，脆性透射材料11在三維載物平臺14的帶動下沿X軸方向以一定的速度運動，透射材料11被加熱的部分迅速冷卻，在透射材料11厚度方向形成均勻的拉應力，產生貫穿透射材料11整個厚度的微裂紋13，并沿著激光掃描軌跡向前擴展，直至透射材料11終端。

當一次多焦點激光切割分離完畢后，檢查脆性透射材料11是否完全分離，若完全分離，則分離結束；若未完全分離，則將三維載物平臺沿X軸反方向運動，進行二次切割分離，重復上述過程，直至脆性透射材料11完全分離。

實例：

實例1：

采用兩臺YLM-150型號光纖激光器作為第一、第二激光器，其輸出波長為1070nm，輸出最大功率150W。切割材料為KDP光學晶體，切割尺寸為150mm×150mm×150mm。分別采用1片常規聚焦鏡和2片直徑不同的聚焦鏡片組成兩套完全相同的鏡片組，每束激光穿過鏡片組后會產生3個激光焦點，激光焦點間距均為20mm，且激光的能量分布(激光焦點沿激光傳輸方向依次排列)比例為30％、30％、40％。兩套激光加工系統共產生6個激光焦點，且兩套激光加工的所產生的兩組激光焦點中心間距為20mm。實驗方法：將第一、第二激光加工系統同時出光，調節激光器輸出功率為140W，使兩套激光加工在KDP光學晶體內部形成6個激光焦點，后在三維載物平臺的帶動下，KDP光學晶體沿X方向運動，運動速度為0.6m/min，來回往復多次運動。實驗結果：光學晶體沿X軸方向分離，分離斷裂平潔光滑，無微裂紋產生，只需稍作拋光處理便可得到應用中所需的光學平面。

實例2：

采用兩臺SD-YAG-600W型號Nd:YAG激光器作為第一、第二激光器，其輸出波長為1064nm，輸出最大功率600W。切割材料為石英材料，切割尺寸為200mm×200mm×200mm。分別采用1片常規聚焦鏡和2片中心帶小孔的聚焦鏡組成兩套完全相同的鏡片組，每束激光穿過鏡片組后會產生3個激光焦點，激光焦點間距均為30mm，且激光的能量分布(激光焦點沿激光傳輸方向依次排列)比例為30％、30％、40％。兩套激光加工系統共產生6個激光焦點，且兩套激光加工的所產生的兩組激光焦點中心間距為20mm。實驗方法：將第一、第二激光加工系統同時出光，調節兩臺激光器輸出功率均為650W，使兩套激光加工在石英材料內部形成6個激光焦點，后在三維載物平臺的帶動下，石英沿X方向運動，運動速度為1.2m/min，來回往復多次運動。實驗結果：石英材料沿X軸方向分離，分離斷裂平潔光滑，無微裂紋產生，只需稍作拋光處理便可得到應用中所需的光學平面。

實例3：

采用兩臺YLR-500型號光纖激光器作為第一、第二激光器，其輸出波長為1070nm，輸出最大功率500W。切割材料為K9光學玻璃，切割尺寸為180mm×180mm×180mm。分別采用1片常規聚焦鏡和3片中心帶有小孔的聚焦鏡片組成兩套完全相同的鏡片組，每束激光穿過鏡片組后會產生4個激光焦點，激光焦點間距均為20mm，且激光的能量分布(激光焦點沿激光傳輸方向依次排列)比例為20％、25％、25％、30％。兩套激光加工系統共產生8個激光焦點，且兩套激光加工的所產生的兩組激光焦點中心間距為20mm。實驗方法：將第一、第二激光加工系統同時出光，調節激光器輸出功率為450W，使兩套激光加工在K9光學玻璃內部形成8個激光焦點，后在三維載物平臺的帶動下，K9光學玻璃在XZ平面上做直徑為100mm的圓形運動，運動速度為0.8m/min，來回往復多次運動。實驗結果：K9光學玻璃沿運動軌跡斷裂，產生圓弧形分離面，分離斷裂平潔光滑，無微裂紋產生，只需稍作拋光處理便可得到應用中所需的光學平面。

以上所述僅為本發明較佳實例，但本發明不應該局限于該實例和附圖所公開的內容。所以凡是不脫離本發明所公開的精神下完成的等效或修改，都落入本發明保護的范圍。