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一種多線切割裝置的制作方法

文檔序號:3415292閱讀:297來源:國知局
專利名稱:一種多線切割裝置的制作方法
技術領域
本發明涉及硅片切割領域,尤其涉及一種多線切割裝置。
背景技術
目前,硅片切割主要采用游離磨料多線切割的技術,亦即在切割過程中由鋼線帶動砂漿對硅塊進行研磨,達到切割效果。現有的采用游離磨料多線切割技術的多線切割裝置,由于結構設計不合理,使得鋼線帶砂效果不佳,對硅片的質量產生較大的影響。現有的多線切割裝置的結構通常使用直徑相同的導輪布置上下兩排線網進行硅塊切割,在線網的兩側布置多個切割位置,線網在直徑相同的導輪的帶動下按一特定方向轉動帶動砂漿對位于多個切割位的硅塊進行研磨,由于各導輪的直徑相等,使得順序纏繞在導輪上的鋼線的整體形狀呈矩形。該種結構存在的問題是,由于切割過程中鋼線會產生一定角度的線弓,使得在多個切割位上的鋼線帶動砂漿過程中需克服一定坡度,將影響鋼線帶動砂漿的效果,導致硅片薄厚不一,容易發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象。現有的多線切割裝置的切割穩定性較差、帶砂能力不強,而且硅片的崩邊缺角率居高不下。

發明內容
本發明實施例所要解決的技術問題在于,提供一種多線切割裝置,線體順序纏繞在多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀,降低了切割過程中由于線網的線體彎曲對漿料攜帶的影響,提高了切割裝置線網的穩定性,從而降低硅片薄厚不一,發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象發生的概率,結構設計簡單,實用性強。為了解決上述技術問題,本發明實施例提供了一種多線切割裝置,所述多線切割裝置包括線網和設置在所述線網相對兩側的多個切割位,所述線網主要由導輪和線體組成,所述導輪設置為多組;
所述線體設置為多排,分別環繞設置在順序排列的所述多組導輪的外側,所述線體順序纏繞在所述多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀;
所述多個切割位分別位于不同組導輪間的所述線體的鄰側,所述多個切割位間隔設置用于噴射砂漿的漿料噴嘴;
所述線體可在所述多組導輪的帶動下按一特定方向轉動帶動由所述漿料噴嘴噴射的砂漿對位于所述多個切割位的硅塊進行研磨。優選的,所述多組導輪的表面設置涂層。優選的,所述導輪設置為兩組,每組導輪包括直徑大小相等的兩個導輪,分別為第一導輪、第二導輪、第三導輪以及第四導輪;
所述第一導輪或所述第二導輪的導輪直徑大于所述第三導輪或所述第四導輪的導輪
直徑;所述第一導輪和所述第二導輪設置相鄰。優選的,所述第一導輪、所述第二導輪表面的涂層厚度大于所述第三導輪和所述第四導輪表面的涂層厚度。優選的,所述線體首尾相接的順序環繞在所述第一導輪、所述第二導輪、所述第三導輪以及所述第四導輪的外側,所述多個切割位分別位于所述第一導輪、所述第四導輪間以及所述第二導輪、所述第三導輪間的所述線體的鄰側。優選的,所述多個切割位包括位于所述第一導輪、所述第四導輪間的所述線體鄰側的第一切割位和第二切割位,以及位于所述第二導輪、所述第三導輪間所述線體鄰側的第三切割位和第四切割位。優選的,所述第一導輪、所述第二導輪、所述第三導輪以及所述第四導輪的截面中心軸點的順序連線所述構成的形狀為矩形。實施本發明實施例的多線切割裝置,具有如下有益效果,由于導輪設置為多組,線體設置為多排并分別環繞設置在順序排列的多組導輪的外側,線體順序纏繞在多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀,降低了切割過程中由于線網的線體彎曲對漿料攜帶的影響,整個線體的梯型結構極大的提高了第二切割位、第三切割位的線體的帶砂能力,也可以明顯改善第一切割位和第四切割位的線體的帶砂能力,同時提高了切割裝置線網的穩定性,降低硅片TTV的同時,還可以降低發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象的概率,結構設計簡單, 實用性強。


為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動性的前提下,根據這些附圖獲得其他的附圖仍屬于本發明的范疇。圖1是本發明實施例的多線切割裝置的結構示意圖。
具體實施例方式為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面將結合附圖對本發明作進一步地詳細描述。參見圖1所示,本發明實施例公開的一種多線切割裝置,包括線網1和設置在所述線網1相對兩側的多個切割位2,所述線網1主要由導輪11和線體12組成;
所述導輪11設置為多組,所述線體12設置為多排,分別環繞設置在順序排列的所述多組導輪11的外側,所述線體12順序纏繞在所述多組導輪11上的截面形狀整體呈梯狀;
所述多個切割位2分別位于不同組導輪11間的所述線體12的鄰側,所述多個切割位 2間隔設置用于噴射砂漿的漿料噴嘴3 ;
所述線體12可在所述多組導輪11的帶動下按一特定方向轉動帶動由所述漿料噴嘴3 噴射的砂漿對位于所述多個切割位2的硅塊進行研磨。優選的,所述多組導輪11的表面設置涂層。優選的,所述導輪11設置為兩組,每組導輪11包括直徑大小相等的兩個導輪,分別為第一導輪111、第二導輪112、第三導輪113以及第四導輪114,所述第一導輪或所述第二導輪的導輪直徑大于所述第三導輪113或所述第四導輪114的導輪直徑;所述第一導輪 111和所述第二導輪112設置相鄰。優選的,所述第一導輪111、所述第二導輪112表面的涂層厚度大于所述第三導輪 113和所述第四導輪114表面的涂層厚度。優選的,所述線體12首尾相接的順序環繞在所述第一導輪111、所述第二導輪 112、所述第三導輪113以及所述第四導輪114的外側,所述多個切割位2分別位于所述第一導輪111、所述第四導輪114間以及所述第二導輪112、所述第三導輪113間的所述線體 12的鄰側。優選的,所述多個切割位2包括位于所述第一導輪111、所述第四導輪114間的所述線體12鄰側的第一切割位21和第二切割位22,以及位于所述第二導輪112、所述第三導輪113間所述線體12鄰側的第三切割位23和第四切割位M。優選的,所述第一導輪111、所述第二導輪112、所述第三導輪113以及所述第四導輪114的截面中心軸點的順序連線所述構成的形狀為矩形。以下詳細介紹多線切割裝置各構件的位置關系以及組成結構。線網1主要由導輪11和線體12組成,其作用是使其自身具有的線體帶動漿料噴嘴3噴射的砂漿對切割位2上的硅塊進行研磨,從而達到切割效果。本實施例中的,導輪11 設置為兩組,如圖1所示左側具有較大導輪直徑的組一導輪和位于圖示所示右側具有較小導輪直徑的組二導輪,組一導輪的第一導輪111、第二導輪112的直徑大小相等,組二導輪的第三導輪113以及第四導輪114的直徑大小相等,但組一導輪的導輪直徑大于組二導輪的導輪直徑,也就是說,第一導輪或第二導輪的導輪直徑大于第三導輪113或第四導輪114 的導輪直徑。布置上述結構的效果是,由于組一導輪和組二導輪的中心軸線分別固定設置在兩相互平行的構件上,也就是說,第一導輪111和第四導輪114的截面中心軸點的連線平行于第二導輪112、第三導輪113的截面中心軸點的連線,但由于組一導輪的導輪直徑大于組二導輪的導輪直徑,使得纏繞設置在組一導輪、組二導輪上的線體12的整體形狀非矩形,本實施例子中,順序纏繞在所述多組導輪11上的線體12的截面形狀整體呈梯狀,線體 12為設置為綱線。多個切割位2包括位于第一導輪111、第四導輪114間的線體12鄰側的第一切割位21和第二切割位22,以及位于第二導輪112、第三導輪113間線體12鄰側的第三切割位 23和第四切割位對,第一切割位21和第二切割位22的兩側分別設置三組漿料噴嘴3,第三切割位23和第四切割位M的兩側同樣設置三組漿料噴嘴3,纏繞在多組導輪上的線體12 可在第一導輪111、第二導輪112、第三導輪113以及第四導輪114的帶動下按一特定方向 (如圖示的順時針)轉動帶動由六組漿料噴嘴3噴射的砂漿對分別位于第一切割位、和第二切割位22、第三切割位23以及第四切割位M上的硅塊進行研磨,注意在此過程中,線體12 對硅塊的切割深度比常規的同直徑導輪線體切割的切割深度加深約lmm-2mm。上述研磨過程中,由于順序纏繞在第一導輪111、第二導輪112、第三導輪113以及第四導輪114上的線體12的截面形狀整體呈梯狀,而第一切割位、和第二切割位22、第三切割位23以及第四切割位M分別位于線體12的鄰側,線體12與第三導輪113以及第四導輪114保持較大的切線角,整個線體12在旋轉過程中與同直徑導輪結構相比發生線弓現象的概率大大降低,整個線體的梯型結構使得第二切割位22、第三切割位23線體12的攜帶砂漿的能力,也可以明顯改善第一切割位21和第四切割位M線體12的攜帶砂漿的能力,同時提高了線網的穩定性,降低硅片TTV的同時,還可以降低發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象的概率。本發明一種多線切割裝置的其他實施方式中,每組導輪的導輪直徑也可設置為不同,而不同組導輪間的導輪直徑可以設置相同或設置不同,只要滿足線體順序纏繞在多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀即可,這樣線體在運轉過程中就可以不用克服坡度,從而提高鋼線的帶漿的效果。需要說明的是,上述實施中,纏繞在多組導輪上的線體在四個導輪的帶動下按如圖示的順時針轉動帶動砂漿對分別位于多個切割位上的硅塊進行研磨。但是, 上述四個導輪的位置排列與鋼線的運動方向并不限定,四個導輪的位置排列與鋼線運動方向的關系將影響整個裝置的帶砂能力,兩者關系密切。本發明實施例的多線切割裝置,由于導輪設置為多組,線體設置為多排并分別環繞設置在順序排列的多組導輪的外側,線體順序纏繞在多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀,降低了切割過程中由于線網的線體彎曲對漿料攜帶的影響,整個線體的梯型結構極大的提高了第二切割位、第三切割位的線體的帶砂能力,也可以明顯改善第一切割位和第四切割位的線體的帶砂能力,同時提高了線網的穩定性,降低硅片TTV的同時、還可以降低發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象的概率,結構設計簡單,實用性強。以上所揭露的僅為本發明一種較佳實施例而已,當然不能以此來限定本發明之權利范圍,因此依本發明權利要求所作的等同變化,仍屬本發明所涵蓋的范圍。
權利要求
1.一種多線切割裝置,其特征在于,所述多線切割裝置包括線網和設置在所述線網相對兩側的多個切割位,所述線網主要由導輪和線體組成,所述導輪設置為多組;所述線體設置為多排,分別環繞設置在順序排列的所述多組導輪的外側,所述線體順序纏繞在所述多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀;所述多個切割位分別位于不同組導輪間的所述線體的鄰側,所述多個切割位間隔設置用于噴射砂漿的漿料噴嘴;所述線體可在所述多組導輪的帶動下按一特定方向轉動帶動由所述漿料噴嘴噴射的砂漿對位于所述多個切割位的硅塊進行研磨。
2.如權利要求1所述的多線切割裝置,其特征在于,所述多組導輪的表面設置涂層。
3.如權利要求2所述的多線切割裝置,其特征在于,所述導輪設置為兩組,每組導輪包括直徑大小相等的兩個導輪,分別為第一導輪、第二導輪、第三導輪以及第四導輪;所述第一導輪或所述第二導輪的導輪直徑大于所述第三導輪或所述第四導輪的導輪直徑;所述第一導輪和所述第二導輪設置相鄰。
4.如權利要求3所述的多線切割裝置,其特征在于,所述第一導輪、所述第二導輪表面的涂層厚度大于所述第三導輪和所述第四導輪表面的涂層厚度。
5.如權利要求3所述的多線切割裝置,其特征在于,所述線體首尾相接的順序環繞在所述第一導輪、所述第二導輪、所述第三導輪以及所述第四導輪的外側,所述多個切割位分別位于所述第一導輪、所述第四導輪間以及所述第二導輪、所述第三導輪間的所述線體的鄰側。
6.如權利要求5所述的多線切割裝置,其特征在于,所述多個切割位包括位于所述第一導輪、所述第四導輪間的所述線體鄰側的第一切割位和第二切割位,以及位于所述第二導輪、所述第三導輪間所述線體鄰側的第三切割位和第四切割位。
7.如權利要求3所述的多線切割裝置,其特征在于,所述第一導輪、所述第二導輪、所述第三導輪以及所述第四導輪的截面中心軸點的順序連線所述構成的形狀為矩形。
全文摘要
本發明公開了一種多線切割裝置,包括線網和設置在所述線網相對兩側的多個切割位,所述線網主要由導輪和線體組成,所述導輪設置為多組;所述線體設置為多排,分別環繞設置在順序排列的所述多組導輪的外側,所述線體順序纏繞在所述多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀;所述多個切割位分別位于不同組導輪間的所述線體的鄰側。采用本發明實施例的多線切割裝置,線體順序纏繞在多組導輪上的截面形狀整體呈梯狀,降低了切割過程中由于線網的線體彎曲對漿料攜帶的影響,提高了切割裝置線網的穩定性,從而降低硅片薄厚不一,發生線痕、崩邊以及缺角等不良現象發生的概率,結構設計簡單,實用性強。
文檔編號B24B27/06GK102229092SQ20111016478
公開日2011年11月2日 申請日期2011年6月20日 優先權日2011年6月20日
發明者劉寧, 夏軍, 章金兵 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司
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