電極及鍍膜裝置制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種電極，其由導電材料制成并包括第一表面、第二表面及兩個相背設置的第一側面。該第二表面與該第一表面相背設置。該兩個第一側面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個第一側面上均設置多個散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產生的熱量散發出去。本發明還涉及一種使用該電極的鍍膜裝置。
【專利說明】電極及鍍膜裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及鍍膜領域，尤其涉及一種電極及一種鍍膜裝置。
【背景技術】
[0002]現在對塑料基板的表面進行鍍膜一般采用濺鍍的方法。但是濺鍍時需要將電極與塑料基板接觸，而電極長時間通電后，溫度會上升，導致電極的熱量會傳遞到塑料基板上，使得塑料基板容易變形或者產生黃化現象，影響產品良率。
【發明內容】
[0003]有鑒于此，有必要提供一種可有效提高產品良率的電極及鍍膜裝置。
[0004]—種電極,其由導電材料制成并包括一個第一表面、一個第二表面及兩個相背設置的第一側面。該第二表面與該第一表面相背設置。該兩個第一側面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個第一側面上均設置多個散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產生的熱量散發出去。
[0005]一種鍍膜裝置，用于對一個塑料基板進行鍍膜。該塑料基板包括相背設置的一個待鍍膜面及一個固定面。該鍍膜裝置內形成有一個密封的工作腔體并包括容置在該工作腔體內的第一電極、第二電極、一個祀材、一個電源。該第一電極由導電材料制成并包括一個第一表面、一個第二表面及兩個相背設置的第一側面。該第二表面與該第一表面相背設置。該兩個第一側面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個第一側面上均設置多個散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產生的熱量散發出去。該電源包括一個正極及一個負極。該第一電極與該正極電連接，該第二電極與該負極電連接，使得該第一電極及該第二電極之間形成一個電場。該固定面固定在該第一表面上，使得該待鍍膜面面向該第二電極設置。該靶材設置在該第二電極上，且面向該待鍍膜面設置。
[0006]與現有技術相比較，本發明的電極及鍍膜裝置，通過該電極上設置的多個散熱鰭片，使得該電極在工作過程中產生的熱量容易散發出去。因此在工作過程中，該電極的溫度并不會升聞，使得該塑料基板不容易變形，以有效提聞廣品良率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1是本發明較佳實施方式的鍍膜裝置的結構示意圖。
[0008]圖2是圖1的鍍膜裝置的分解示意圖。
[0009]圖3是圖1的鍍膜裝置沿II1-1II方向的剖視圖。
[0010]主要元件符號說明
【權利要求】
1.一種電極,其由導電材料制成并包括一個第一表面、一個第二表面及兩個相背設置的第一側面，該第二表面與該第一表面相背設置，該兩個第一側面均與該第一表面及該第二表面連接，該第二表面及該兩個第一側面上均設置多個散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產生的熱量散發出去。
2.如權利要求1所述的電極，其特征在于，該電極還包括兩個相背設置的第二側面，該兩個第二側面均與該第一表面、該第二表面及該兩個第一側面連接，該電極上還開設多個貫穿該兩個第二側面的冷卻流道，該冷卻流道用于充入冷卻液。
3.如權利要求2所述的電極，其特征在于，每個該冷卻流道的內壁均設置有一個導熱絕緣套管，該冷卻液位于該導熱絕緣套管內。
4.如權利要求1所述的電極，其特征在于，該第二表面及該兩個第一側面上的該多個散熱鰭片均等間距設置。
5.如權利要求1所述的電極，其特征在于，該第一表面為平面。
6.一種鍍膜裝置，用于對一個塑料基板進行鍍膜，該塑料基板包括相背設置的一個待鍍膜面及一個固定面；該鍍膜裝置包括一個密封的工作腔體及容置在該工作腔體內的第一電極、第二電極及一個電源，該第一電極由導電材料制成并包括一個第一表面、一個第二表面及兩個相背設置的第一側面，該第二表面與該第一表面相背設置，該兩個第一側面均與該第一表面及該第二表面連接，該第二表面及該兩個第一側面上均設置多個散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產生的熱量散發出去；該電源包括一個正極及一個負極；該第一電極與該正極電連接，該第二電極與該負極電連接，使得該第一電極及該第二電極之間形成一個電場；該固定面固定在該第一表面上，使得該待鍍膜面面向該第二電極設置，該第二電極用于將靶材面向該待鍍膜面設置。
7.如權利要求6所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第一電極還包括兩個相背設置的第二側面，該兩個第二側面均與該第一表面、該第二表面及該兩個第一側面連接，該電極上還開設多個貫穿該兩個第二側面的冷卻流道，該冷卻流道用于充入冷卻液，用于對該第一電極進行冷卻。
8.如權利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于，每個該冷卻流道的內壁均設置有一個導熱絕緣套管，該冷卻液位于該導熱絕緣套管內。
9.如權利要求6所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第一表面為平面。
10.如權利要求6-9中任一項所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第二電極的結構與該第一電極的結構相同。
【文檔編號】C23C14/34GK103882387SQ201210563735
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年12月24日 優先權日:2012年12月24日
【發明者】王何立穎 申請人:鴻富錦精密工業（深圳）有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司