專利名稱：一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于鍍膜設備領域，具體涉及異質結物理氣相沉積設備冷卻模組。
背景技術：
目前，于異質結物理氣相沉積設備沉積薄膜時，會將承載盤加熱200 250度，以達到薄膜沉積時的品質要求，同時，隨著加熱的過程薄膜質量會更好，因此在鍍膜時加熱室不可避免的過程。隨著沉積薄膜溫度越來越高的要求，傳送出腔體外的承載盤溫度就顯得格外重要，以往設備上有兩種方式克服:1.增加冷卻腔體的數量，使承載盤在冷卻真空腔內自然散熱，2.在回傳機制上加裝強制冷卻裝置，例如風扇，來在一定的時間內冷卻承載盤；但上述第一項設置會增加設備設置成本；第二項設置會造成傳送時不可避免的環境污染，且冷卻效率及結果都不甚滿意，因此需要設置一機制來解決上述問題。
實用新型內容綜上所述，為了克服現有技術不足，本實用新型的主要目的在于提供一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，請參閱圖1所示，所述之冷卻模組是由不銹鋼腔室(11)、氣體分配模組(12)、傳送滾輪(13)、承載盤(14)及下冷卻模組(15 )所組成。所述之下冷卻模組(15)，內部設有5mm深度的凹槽，用以放置冷卻銅管，冷卻銅管直徑10mm，上下不銹鋼 板以M6螺絲鎖固。所述之氣體分配模組(12)，設置有51支氣體分支管，氣體由主管路進入分配管后，分配管上有面對承載盤分流的氣體流出小孔，使氣體均勻流向承載盤。本實用新型有益效果為。1.本實用新型利用表面拋光不銹鋼板，結構簡單。2.本實用新型利用螺絲鎖固，拆卸方便。3.本實用新型利用凹槽方式將冷卻銅管包覆，達到最佳的冷卻效果。
圖1系為本實用新型結構示意圖。圖2系為本實用新型冷卻模組示意圖。圖3系為本實用新型冷卻模組結構示意圖。圖4系為本實用新型氣體分配模組結構示意圖。主要組件符號說明。11)...不銹鋼腔室。12)...氣體分配模組。13)...傳送滾輪。14)...承載盤。15)...下冷卻模組。[0020]21...M6 螺絲孔位。22...冷卻水進入口。23...冷卻水出口。31...冷卻銅管。41...主管路。42...氣體分配管。以上所述實例是對本實用新型技術方案的說明而非限制，所屬技術領域普通技術人員的等同替換或者根據現有技術而做的修改，只要未超出本實用新型技術方案的思路和范圍，均應包含在本實用新型的權利要求范圍之內。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步說明。請參閱圖2所示，一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，其包括上冷卻板及下冷卻板組成，上下冷卻板上設有M6螺絲孔位21，共37個，冷卻媒介由冷卻水進入口 22進入，由冷卻水出口 23流出。請參閱圖3所示，一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，下冷卻模組結構示意圖，冷卻板表面設有5mm深凹槽，用以包覆冷卻銅管31。
請參閱圖4所示，一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，氣體分配模組12，主管41通入惰性冷卻氣體，通常為氮氣，氣體經由主管路41流入氣體分配管42，在經由氣體分配管42上的分流小孔流向面對像的承載盤。本實例中當承載盤(14)傳入冷卻模組(11)前，冷卻媒介會流入下冷卻模組(15)，使冷卻模組維持一定的溫度，同時氣體分配模組(12)會通入氮氣進入不銹鋼腔室(11)內；承載盤進入冷卻模組時，會受到上方氣體的直接接觸將熱能往抽氣口風向帶出，同時間也會接觸到下方冷卻模組的輻射散熱的作用，將承載盤的熱能帶走，達到快速冷卻承載盤的目的。與現有技術相比，本實用新型一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，其優點在于:本實用新型使用氣體分配模組(12)，并搭配下冷卻模組(15)，提供一強制冷卻的機制，使承載盤均勻的冷卻，于出腔室實能將溫度下降至低于100度以下，使后續處理步驟能在低溫下執行，有效降低設備設置成本，又同時冷卻室在腔室內完成，避免受到環境的污染。以上所述實例是對本實用新型技術方案的說明而非限制，所屬技術領域普通技術人員的等同替換或者根據現有技術而做的修改，只要未超出本實用新型技術方案的思路和范圍，均應包含在本實用新型的權利要求范圍之內。
權利要求1.一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，冷卻模組是由不銹鋼腔室(11)、氣體分配模組(12)、傳送滾輪(13)、承載盤(14)及下冷卻模組(15)所組成，所述之下冷卻模組(15),內部設有5mm深度的凹槽,用以放置冷卻銅管,冷卻銅管直徑IOmm,上下不銹鋼板以M6螺絲鎖固，所述之氣體分配模組(12)，設置有51支氣體分支管，氣體由主管路進入分配管后，分配管上有面對承載盤分流的氣體流出小孔，使氣體均勻流向承載盤。
2.根據權利要求1所述之一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，其特征在于所述的不銹鋼腔室不銹鋼板厚度25mm及表面拋光處理。
3.根據權利要求1所述之一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，其特征在于所述的下冷卻模組內冷卻銅管直徑10_。
4.根據權利要求1所述之一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，其特征在于所述的氣體分配模組共有51支 氣體分配管，氣體分配管管路上分布Imm分流小孔，共80個。
專利摘要本實用新型的主要目的在于提供一種用于異質結物理氣相沉積設備冷卻模組，請參閱圖1所示，所述之冷卻模組是由不銹鋼腔室11、氣體分配模組12、傳送滾輪13、承載盤14及下冷卻模組15所組成。提供一強制冷卻的機制，使承載盤均勻的冷卻，于出腔室能將溫度下降至低于100度以下，使后續處理步驟能在低溫下執行，有效降低設備設置成本，又同時冷卻室在腔室內完成，避免受到環境的污染。
文檔編號C23C14/54GK203112923SQ20122035577
公開日2013年8月7日 申請日期2012年7月23日 優先權日2012年7月23日
發明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司