真空蒸發裝置制造方法

真空蒸發裝置制造方法
【專利摘要】一種真空蒸發裝置包括：驅動單元；線性移動部，連接至所述驅動單元以線性移動；旋轉移動部，連接至所述線性移動部以旋轉移動；以及遮板部，連接至所述旋轉移動部以樞轉。
【專利說明】真空蒸發裝置
[0001]相關專利申請的交叉引用
[0002]于2013年3月14日向韓國專利局提交的題為“VACUUM EVAPORATING APPARATUS(真空蒸發裝置)”的第10-2013-0027487號韓國專利申請的全部內容通過引用被并入本文。

【技術領域】
[0003]本申請涉及真空蒸發裝置。

【背景技術】
[0004]基于移動性的電子裝置已經被廣泛使用。作為移動電子裝置，平板型個人計算機(PO和小型電子裝置(諸如，移動電話)已經被廣泛使用。
[0005]為了支持各種功能，移動電子裝置包括用于向用戶提供靜止或移動的圖像的視覺信息的顯示器。由于使用于驅動顯示器的部件小型化的趨勢，更多的注意力被放在電子裝置的顯示器上。


【發明內容】

[0006]實施方式涉及一種真空蒸發裝置，其包括:驅動單元；線性移動部，連接至所述驅動單元以線性移動；旋轉移動部，連接至所述線性移動部以旋轉移動；以及遮板部，連接至所述旋轉移動部以樞轉。
[0007]所述驅動單元可為具有可變長度的致動器。
[0008]所述真空蒸發裝置還可包括:固定部，所述遮板部被安裝在所述固定部中以樞轉并且所述線性移動部連接至所述固定部以滑動。
[0009]所述真空蒸發裝置還可包括:第一引導件，位于所述固定部與所述線性移動部之間以引導所述線性移動部的滑動。
[0010]所述線性移動部可包括:移動部，與所述驅動單元連接以線性移動；傳遞部，與所述移動部連接；以及移動塊，與所述傳遞部連接。
[0011]所述旋轉部可包括正齒輪。所述移動塊包括齒條，所述齒條隨同所述旋轉部一起操作。
[0012]所述旋轉部可包括:第一旋轉部，與所述線性移動部連接以在所述線性移動部的運動期間旋轉；以及第二旋轉部，與所述第一旋轉部和所述遮板部連接，所述第二旋轉部將所述第一旋轉部的旋轉傳遞至所述遮板部。
[0013]所述遮板部的表面可以是絲網形式。
[0014]所述遮板部可包括:第一遮板體部；以及第二遮板體部，從所述第一遮板體部彎曲。
[0015]所述遮板部可包括:加固肋，與所述第一遮板體部和所述第二遮板體部連接。
[0016]所述真空蒸發裝置還可包括位于所述線性移動部中的第一減震部。
[0017]所述第一減震部包括位于所述線性移動部中的第一固定支架和固定于所述第一固定支架中的第一減震構件。
[0018]所述真空蒸發裝置還可包括與所述線性移動部間隔開的第二減震部。
[0019]所述第二減震部可包括:第二固定支架，固定在所述第二減震部的外部；以及第二減震構件，位于所述第二固定支架中。
[0020]所述真空蒸發裝置還可包括第二引導件，所述第二引導件位于所述線性移動部中以引導所述線性移動部的運動。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]通過參考附圖詳細描述本發明的示例性實施方式，特征將變得更加顯而易見，在附圖中:
[0022]圖1是示出了根據實施方式的真空蒸發裝置的立體視圖；以及
[0023]圖2是示出了圖1的A部分的局部放大立體視圖。

【具體實施方式】
[0024]參考附圖根據下面的詳細描述，實施方式將變得顯而易見。然而，公開的實施方式可以各種不同的形式實現。實施方式被提供以使公開完整并且允許本領域技術人員完全理解由權利要求限定的本發明范圍。文中所用的詞語僅用于本發明概念的說明目的并且不應該被解釋為限制本發明的意義和范圍。如在本說明書中所使用的，單數形式可包括復數形式，除非明確根據上下文指示特殊的情況。而且，本說明書中所使用的表達“包括(comprise)”和/或“包括(comprising)”既不限定所提到的部件、步驟、操作和/或元件，也不排除一個或多個其它部件、步驟、操作和/或元件的存在或附加、或它們的附加。如本文所使用的，諸如“第一”、“第二”等的詞語用于描述各種部件，但是部件不應該由這些詞語限定。詞語僅用于區分一個部件與其它部件。
[0025]圖1是示出了根據實施方式的真空蒸發裝置100的立體視圖；以及圖2是示出了圖1的A部分的局部放大立體視圖。
[0026]參考圖1和圖2，真空蒸發裝置100包括腔室(未示出)，腔室的內部空間被保持在真空狀態。真空蒸發裝置100還可包括用于加熱和噴射蒸發材料的源單元(未示出)和安裝有源單元的反射器111。
[0027]真空蒸發裝置100可包括側單體附接板112，側單體附接板112與反射器111連接。真空蒸發裝置100還可包括角度限制板113，角度限制板113安裝在源單元之間以限制從源單元噴射的蒸發材料的噴射角度。真空蒸發裝置100還可包括固定框架114，固定框架114被牢固地安裝在腔室內。
[0028]真空蒸發裝置100可包括安裝在腔室內的氣箱(未示出)。真空蒸發裝置100還可包括安裝在氣箱內的驅動單元130。氣箱可被保持在大氣壓狀態，并且驅動單元130可包括具有可變長度的致動器(例如，汽缸131)。具體地，驅動單元130可包括在氣壓或液壓下操作的汽缸131和安裝在汽缸131以線性移動的軸132。在其它實現中，驅動單元130可包括具有可變長度且能夠線性移動其它裝置或對象的任何結構。然而，為了方便起見，基于驅動單元130包括在液壓下操作的汽缸131和軸132的情況進行下面的描述。
[0029]真空蒸發裝置100可包括線性移動部140，線性移動部140隨同驅動單元130移動。真空蒸發裝置100可包括旋轉移動部150，旋轉移動部150隨同線性移動部140旋轉。旋轉移動部150可將線性移動部140的線性運動轉換成旋轉運動。
[0030]線性移動部140可包括移動部141，移動部141隨同驅動單元130線性移動。線性移動部140還可包括與移動部141連接的傳遞部142和與傳遞部142連接的移動塊143。
[0031]移動部141可根據驅動單元130的操作向上和向下線性移動。傳遞部142可將移動部141的運動傳遞至移動塊143。移動塊143可根據從傳遞部142傳遞的移動部141的運動而與移動部141 一起線性移動。
[0032]旋轉移動部150可包括第一旋轉部151，第一旋轉部151與線性移動部140連接以隨著線性移動部140的運動而旋轉。旋轉移動部150還可包括第二旋轉部152，第二旋轉部152與第一旋轉部151和遮板部160連接以將第一旋轉部151的旋轉傳遞至遮板部160。
[0033]第一旋轉部151和第二旋轉部152可具有齒輪形式的外表面。第一旋轉部151和第二旋轉部152可具有正齒輪。移動塊143可具有與正齒輪形狀匹配的齒條。
[0034]真空蒸發裝置100可包括遮板部160，遮板部160與旋轉移動部150連接以樞轉。遮板部160的表面可形成為絲網形。遮板部160的絲網形表面可方便位于其上的如下所述蒸發材料的蒸發，因此防止遮板部160的表面上的蒸發材料掉至源單元。
[0035]遮板部160可包括第一遮板體部161和第二遮板體部162。遮板部160還可包括加固肋163，加固肋163連接第一遮板體部161與第二遮板體部162。
[0036]第一遮板體部161和第二遮板體部162之間可形成預定角度。具體地,第二遮板體部162可垂直于第一遮板體部161以使在遮板部160旋轉時對外部設備的干擾最小化。
[0037]加固肋163可以是多個，并且多個加固肋163可彼此間隔開。加固肋163可形成于第一遮板體部161和第二遮板體部162彼此相交的部分，由此維持形成于第一遮板體部161與第二遮板體部162之間的角度和形狀而不管外部環境如何。
[0038]真空蒸發裝置100可包括固定部170，遮板部160被安裝在固定部170內以樞轉并且線性移動部140與固定部170連接以滑動。第一引導件181可被安裝在固定部170與線性移動部140之間用于引導線性移動部140的運動。第一引導件181可以是線性運動(LM)引導件。第一引導件181可以是多個，多個第一引導件181可連接固定部170與移動塊143以防止移動塊143偏離移動路徑。
[0039]真空蒸發裝置100可包括安裝在線性移動部140內的第一減震部191和被安裝為與線性移動部140間隔開的第二減震部192。第一減震部191和第二減震部192可降低根據遮板部160的旋轉施加至線性移動部140的震動。具體地，第一減震部191和第二減震部192可減少與遮板部160的操作對應的傳遞部142的運動。
[0040]第一減震部191可包括安裝在線性移動部140內的第一固定支架191a。第一固定支架191a可被安裝以固定在傳遞部142上。第一減震部191可包括安裝在第一固定支架191a內的第一減震構件191b。第一減震構件191b可以各種形式形成。例如，第一減震構件191b可包括球形護圈，并且還可包括橡膠、彈簧等。
[0041]第二減震部192可包括第二固定支架192a，第二固定支架192a被安裝為固定在第二減震部192的外部。具體地，第二固定支架192a可被安裝為固定在固定框架114中。第二減震部192可包括安裝在第二固定支架192a內的第二減震構件192b。第二減震構件192b以與第一減震構件191b相同的方式或類似的方式形成，因此不再重復其詳細描述。
[0042]第一減震構件191b可防止線性移動部140在遮板部160的旋轉時過度地移動。例如，當遮板部160打開時，第一減震構件191b可與固定框架114接觸以防止線性移動部140因遮板部160的負載而偏離移運動范圍。當遮板部160關閉時，第二減震構件192b可與傳遞部142接觸以防止線性移動部140因遮板部160的負載而偏離運動范圍。
[0043]真空蒸發裝置100可包括第二引導件182，第二引導件182被安裝在線性移動部140內以引導線性移動部140的運動。第二引導件182可被安裝在固定框架114與傳遞部142之間，并且傳遞部142可沿第二引導件182線性移動。
[0044]對于真空蒸發裝置100的操作，首先，在大氣壓下形成腔室的內部空間，裝載襯底。然后，可將腔室的內部空間保持在真空狀態。
[0045]當腔室的內部空間被保持在真空狀態時，驅動源單元以蒸發材料并且向襯底(未示出)提供蒸發材料。源單元可以是多個，并且蒸發材料的主材料和輔助材料可存儲在多個源單元中。可同時加熱多個源單元。一旦完成源單元的加熱，遮板部160打開源單元以向襯底供應蒸發材料。
[0046]在前面的情況中，驅動單元130可根據預設的控制信號而操作。驅動單元130可操作以線性移動線性移動部140。具體地，驅動單元130可操作以向上和向下移動線性移動部140。為了方便起見，基于當線性移動部140向下移動時遮板部160打開的情況進行下面的描述。
[0047]例如，當驅動單元130的長度減小時，驅動單元130可向下移動移動部141。隨著移動部141向下移動 ，移動部141向下移動傳遞部142并且傳遞部142向下移動移動塊143。具體地，移動塊143可使用如上描述的第一引導件181沿固定部170滑動。
[0048]當移動塊143以這種方式向下移動時，移動塊143可使第一旋轉部151沿順時針方向旋轉。第一旋轉部151可使第二旋轉部152沿逆時針方向旋轉。
[0049]當第二旋轉部152沿逆時針方向旋轉時，連接至第二旋轉部152的遮板部160可樞轉以打開源單元。遮板部160可以預定的速度打開源單元。
[0050]當遮板部160以這種方式旋轉時，如果遮板部160旋轉預定角度或更大，則遮板部160的旋轉速度可因遮板部160的載重而增加。在這種情況下，第二旋轉部152的旋轉速度也可因遮板部160的旋轉速度而增加。第二旋轉部152的旋轉速度的增加可導致第一旋轉部151的旋轉速度的增加，從而向移動部143施加力。
[0051]當力被施加至移動塊143時，連接至移動塊143的傳遞部142和移動部141的下降速度可增加。當第一減震構件191b與固定框架114接觸時,第一減震構件191b可吸收線性移動部140的下降力的一部分。而且，第一減震構件191b可通過降低線性移動部140的下降速度防止遮板部160的旋轉速度增加。
[0052]通過將蒸發材料從源單元提供給襯底，可將蒸發材料蒸發至襯底上。在蒸發材料被完全蒸發至襯底時，遮板部160可保持打開。
[0053]在上述過程完成之后，可檢查蒸發到襯底的蒸發材料的狀態。具體地，在檢查襯底上的蒸發材料的狀態之后，必要時可再次向襯底提供蒸發材料。在這種情況下，可測量蒸發材料的主材料或輔助材料的厚度以關閉或打開供應主材料或輔助材料的源單元，從而校正襯底的蒸發材料的蒸發水平。
[0054]當襯底上的蒸發材料的蒸發水平被校正時，可由遮板部160關閉多個源單元中的至少一個。在這種情況下，驅動單元130可被操作為操作線性移動部140，并且遮板部160可由線性移動部140關閉。
[0055]當驅動單元130的長度增加時，驅動單元130可使移動部141上升。隨著移動部141向上移動，傳遞部142可向上移動。傳遞部142可將移動部141的運動傳遞至移動塊143，從而向上移動移動塊143。移動塊143可通過如上所述的第一引導件181滑動固定部170。
[0056]如此，當移動塊143向上移動時，移動塊143可使第一旋轉部151沿逆時針方向旋轉。根據第一旋轉部151的旋轉，第二旋轉部152可沿順時針方向旋轉。
[0057]隨著第二旋轉部152旋轉，連接至第二旋轉部152的遮板部160可沿特定方向樞轉。遮板部160可旋轉以關閉源單元。
[0058]如果遮板部160以這種方式操作，則當遮板部160在旋轉時經過特定點時，遮板部160的下降速度可增加。當遮板部160的下降速度增加時，遮板部160可增加第二旋轉部152的旋轉速度。第二旋轉部152可增加第一旋轉部151的旋轉速度，并且第一旋轉部151可增加移動塊143的上升速度。
[0059]如果移動塊143的上升速度增加，則線性移動部140可偏離移動路徑或向所連接的其它部件施加震動。在這種狀態下，如果傳遞部142上升至特定水平，則第二減震構件192b與傳遞部142接觸，因此降低傳遞部142的上升速度并且減少施加至其它部件的震動。而且，第二引導件182在傳遞部142的下降或上升過程中引導傳遞部142的下降或上升路徑，由此防止傳遞部142歪曲或偏離下降或上升路徑。
[0060]在真空蒸發裝置100中，如果遮板部160樞轉，則在遮板部160蒸發至源單元的蒸發材料可能偏離。具體地，如果遮板部160關閉源單元或過快地旋轉，蒸發材料可從遮板部160的表面偏離。當蒸發材料從遮板部160的表面偏離并且被引入源單元時，可能干擾源單元的操作。然而，根據實施方式形成于遮板部160的表面上的絲網結構提高蒸發材料與遮板部160的表面之間的吸附力，由此防止或減少發生這種干擾的可能性。
[0061]因此，真空蒸發裝置100通過遮板部160同時加熱蒸發材料的主材料的源單元和蒸發材料的輔助材料的源單元，因此提高了工作效率。而且，在真空蒸發裝置100中，當遮板部160完全打開時，不干擾從源單元噴射的蒸發材料的蒸發角度，從而確保蒸發角度穩定并且具有較大范圍。
[0062]通過概括和回顧，顯示器可包括有機發光二極管，使得有機發光層通過從外部施加的電流發出光，因此實現各種圖像和文字。有機發光二極管可以各種方式形成。例如，發光二極管可使用有機蒸發、激光熱傳遞和絲網印刷形成，其中有機蒸發被頻繁使用，因為以簡單的順序和低成本形成有機發光二極管。
[0063]實施方式提供了一種能夠控制單獨的膜的厚度的真空蒸發裝置。
[0064]盡管已經參考本發明的示例性實施方式具體地顯示和描述了本發明，但是本領域技術人員將理解，可進行形式和細節的各種改變而不背離由權利要求及其等同限定的本發明的精神和范圍。
【權利要求】
1.一種真空蒸發裝置，包括: 驅動單元； 線性移動部，連接至所述驅動單元以線性移動； 旋轉移動部，連接至所述線性移動部以旋轉移動；以及 遮板部，連接至所述旋轉移動部以樞轉。
2.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，其中所述驅動單元為具有可變長度的致動器。
3.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，還包括: 固定部，所述遮板部被安裝在所述固定部中以樞轉并且所述線性移動部連接至所述固定部以滑動。
4.如權利要求3所述的真空蒸發裝置，還包括: 第一引導件，位于所述固定部與所述線性移動部之間以引導所述線性移動部的滑動。
5.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，其中所述線性移動部包括: 移動部，與所述驅動單元連接以線性移動； 傳遞部，與所述移動部連接；以及 移動塊，與所述傳遞部 連接。
6.如權利要求5所述的真空蒸發裝置，其中: 所述旋轉部包括正齒輪；以及 所述移動塊包括齒條，所述齒條隨同所述旋轉部操作。
7.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，其中所述旋轉部包括: 第一旋轉部，與所述線性移動部連接以在所述線性移動部的運動期間旋轉；以及第二旋轉部，與所述第一旋轉部和所述遮板部連接，所述第二旋轉部將所述第一旋轉部的旋轉傳遞至所述遮板部。
8.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，其中所述遮板部的表面是絲網形式。
9.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，其中所述遮板部包括: 第一遮板體部；以及 第二遮板體部，從所述第一遮板體部彎曲。
10.如權利要求9所述的真空蒸發裝置，其中所述遮板部包括: 加固肋，與所述第一遮板體部和所述第二遮板體部連接。
11.如權利要求1所述的真空蒸發裝置，還包括: 第一減震部，位于所述線性移動部中。
12.如權利要求11所述的真空蒸發裝置，其中所述第一減震部包括: 第一固定支架，固定于所述線性移動部中；以及 第一減震構件，位于所述第一固定支架中。
13.如權利要求12所述的真空蒸發裝置，還包括: 第二減震部，與所述線性移動部隔開。
14.如權利要求13所述的真空蒸發裝置，其中所述第二減震部包括: 第二固定支架，固定在所述第二減震部的外部；以及 第二減震構件，位于所述第二固定支架中。
15.如權利要求4所述的真空蒸發裝置，還包括第二引導件，所述第二引導件位于所述線性移 動部中以引導所述線性移動部的運動。
【文檔編號】C23C14/24GK104046944SQ201310463790
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2013年10月8日 優先權日:2013年3月14日
【發明者】李英昱, 韓政洹 申請人:三星顯示有限公司