一種飛機窗玻璃的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于包括以下步驟：將基片清洗后放入樣品托，然后送入磁控濺射設備；往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，直流電源濺射銦錫靶，在基片上磁控濺射一ITO透明導電膜層；往磁控濺射設備中通入氬氣，直流電源濺射鎢靶，在ITO透明導電膜層上磁控濺射一W2O5層；往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，用射頻電源濺射LiAlO2靶材，在W2O5層上磁控濺射LiAlO2薄膜層；直流電源濺射Ni靶，在LiAlO2薄膜層上磁控濺射NixO層；往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，交流電源濺射銦錫靶，在NixO層上ITO透明導電膜層。本發明的目的提供一種工藝簡單，產品透光率高的飛機窗玻璃的制作方法。
【專利說明】一種飛機窗玻璃的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種飛機窗玻璃的制作方法。
【背景技術】
[0002]現有的飛機窗玻璃，其制作工藝復雜，而且產品的透光率相對較差，不能滿足使用者的需求。
[0003]故此，現有的飛機窗玻璃的制作方法有待于進一步完善。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是為了克服現有技術中的不足之處，提供一種工藝簡單，產品透光率高的飛機窗玻璃的制作方法。。
[0005]為了達到上述目的，本發明采用以下方案:
[0006]一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于包括以下步驟:
[0007]A、將基片清洗后放入樣品托 ，然后送入磁控濺射設備；
[0008]B、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，直流電源濺射銦錫靶，在基片上磁控濺射一 ITO透明導電膜層；
[0009]C、往磁控濺射設備中通入氬氣，直流電源濺射鎢靶，在ITO透明導電膜層上磁控派射一 W2O5層；
[0010]D、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，用射頻電源濺射LiAlO2靶材，在W2O5層上磁控濺射LiAlO2薄膜層；
[0011]E、直流電源濺射Ni靶，在LiAlO2薄膜層上磁控濺射NixO層；
[0012]F、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，交流電源濺射銦錫靶，在NixO層上ITO透明導電膜層。
[0013]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述基片清洗具體包括:將基片放入丙酮中超聲清洗10分鐘后，再用乙醇超聲清洗10分鐘，最后在去離子水中超聲清洗10分鐘。
[0014]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述基片的厚度為15_，所述的基片為玻璃片或透明樹脂片。
[0015]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述ITO透明導電膜層的厚度30~40nm，氬氣與氧氣的體積比為1:1，壓強為0.8Pa，濺射功率3~5KW。
[0016]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述W2O5層的厚度為10~15nm，濺射功率2~3KW。
[0017]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述LiAlO2薄膜厚度為lOOnm，所述氬氣與氧氣的體積比為9:1，濺射功率為700W。
[0018]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述NixO層的厚度為10nm。
[0019]如上所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述ITO透明導電膜層的厚度為80~90nm。
[0020]綜上所述，本發明相對于現有技術其有益效果是:
[0021]本發明工藝簡單，加工方便，本發明飛機窗玻璃初始顏色為透明，當在和WO3層接觸的ITO透明導電膜層上加上-3V的電壓后，由于Li+注入到WO3層中，WO3層變為乳白色，這里鏡片平均透過率為10%以下。當外加電源的極性改變，元件轉變為透明的平均透過率為80%以上。
【具體實施方式】
[0022]下面結合【具體實施方式】對本發明作進一步描述:
[0023]實施例1
[0024]本發明一種飛機窗玻璃的制作方法，包括以下步驟:
[0025]A、將基片清洗后放入樣品托，然后送入磁控濺射設備；其中基片清洗具體包括:將基片放入丙酮中超聲清洗10分鐘后，再用乙醇超聲清洗10分鐘，最后在去離子水中超聲清洗10分鐘；所述基片的厚度為15mm，所述的基片為玻璃片或透明樹脂片；
[0026]B、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，直流電源濺射銦錫靶，在基片上磁控濺射一 ITO透明導電膜層；所述ITO透明導電膜層的厚度30~40nm，氬氣與氧氣的體積比為1:1，即氬氧比為500:500sccm壓強為0.8Pa，濺射功率3KW ；
[0027]C、往磁控濺射設備中通入氬氣，直流電源濺射鎢靶，在ITO透明導電膜層上磁控濺射一 W2O5層；所述W2O5層的厚度為10nm，濺射功率2KW，W2O5層作為陰極電致變色材料。IS氣的流量1000sccm,沉積壓強:0.8Pa ；
[0028]D、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，用射頻電源濺射LiAlO2靶材，在W2O5層上磁控濺射LiAlO2薄膜層；所述LiAlO2薄膜厚度為lOOnm，所述氬氣與氧氣的體積比為9:1，即氬氣90sccm，氧氣lOsccm，調節到沉積氣壓0.8Pa，濺射功率為700W ;該層起到離子導電層的作用。它是在電場作用下通過離子的注入和抽出，實現對太陽光吸收率的調節作用，進而可以調節材料對光的透射、反射、表面熱輻射等性能。
[0029]E、直流電源濺射Ni靶，在LiA102薄膜層上磁控濺射NixO層；所述NixO層的厚度為IOnm ;它起到離子儲存層的作用；
[0030]F、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，保證沉積壓強0.8Pa,將基片加熱到200度以上，濺射功率2.5KW，交流電源濺射銦錫靶，在NixO層上ITO透明導電膜層，所述ITO透明導電膜層的厚度為80nm。
[0031]實施例2
[0032]本發明一種飛機窗玻璃的制作方法，包括以下步驟:
[0033]A、將基片清洗后放入樣品托，然后送入磁控濺射設備；其中基片清洗具體包括:將基片放入丙酮中超聲清洗10分鐘后，再用乙醇超聲清洗10分鐘，最后在去離子水中超聲清洗10分鐘；所述基片的厚度為15mm，所述的基片為玻璃片或透明樹脂片；
[0034]B、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，直流電源濺射銦錫靶，在基片上磁控濺射一 ITO透明導電膜層；所述ITO透明導電膜層的厚度40nm，氬氣與氧氣的體積比為1:l，gp，氬氧比為500:500sccm壓強為0.8Pa，濺射功率5KW ；
[0035]C、往磁控濺射設備中通入氬氣，直流電源濺射鎢靶，在ITO透明導電膜層上磁控濺射一 W2O5層；所述W2O5層的厚度為15nm，濺射功率3KW，W2O5層作為陰極電致變色材料。氬氣的流量1000SCC，沉積壓強:0.8Pa ；
[0036]D、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，用射頻電源濺射LiAlO2靶材，在W2O5層上磁控濺射LiAlO2薄膜層；所述LiAlO2薄膜厚度為lOOnm，所述氬氣與氧氣的體積比為9:1，即氬氣90Sccm，氧氣lOSccm，調節到沉積氣壓0.8Pa，濺射功率為700W ;該層起到離子導電層的作用。它是在電場作用下通過離子的注入和抽出，實現對太陽光吸收率的調節作用，進而可以調節材料對光的透射、反射、表面熱輻射等性能。
[0037]E、直流電源濺射Ni靶，在LiAlO2薄膜層上磁控濺射NixO層；所述NixO層的厚度為IOnm ;它起到離子儲存層的作用；
[0038]F、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，保證沉積壓強0.8Pa,將基片加熱到200度以上，濺射功率2.5KW，交流電源濺射銦錫靶，在NixO層上ITO透明導電膜層，所述ITO透明導電膜層的厚度90nm。
[0039]以上顯示和描述了本發明的基本原理和主要特征以及本發明的優點。本行業的技術人員應該了解，本發明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理，在不脫離本發明精神和范圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發明范圍內。本發明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于包括以下步驟: A、將基片清洗后放入樣品托，然后送入磁控濺射設備； B、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，直流電源濺射銦錫靶，在基片上磁控濺射一ITO透明導電膜層； C、往磁控濺射設備中通入氬氣，直流電源濺射鎢靶，在ITO透明導電膜層上磁控濺射一 W2O5 層； D、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，用射頻電源濺射LiAlO2靶材，在W2O5層上磁控濺射LiAlO2薄膜層； E、直流電源濺射Ni靶，在LiAlO2薄膜層上磁控濺射NixO層； F、往磁控濺射設備中通入氬氣和氧氣，交流電源濺射銦錫靶，在NixO層上ITO透明導電膜層。
2.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述基片清洗具體包括:將基片放入丙酮中超聲清洗10分鐘后，再用乙醇超聲清洗10分鐘，最后在去離子水中超聲清洗10分鐘。
3.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述基片的厚度為15mm，所述的基片為玻璃片或透明樹脂片。
4.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述ITO透明導電膜層的厚度30~40nm，氬氣與氧氣的體積比為1:1，壓強為0.8Pa，濺射功率3~5KW。
5.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述W2O5層的厚度為10~15nm，濺射功率2~3KW。
6.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述LiAlO2薄膜厚度為lOOnm，所述氬氣與氧氣的體積比為9:1，濺射功率為700W。
7.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述NixO層的厚度為 10nm。
8.根據權利要求1所述的一種飛機窗玻璃的制作方法，其特征在于所述ITO透明導電膜層的厚度為80~90nm。
【文檔編號】C23C14/06GK103741103SQ201310718185
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年12月21日 優先權日:2013年12月21日
【發明者】魏佳坤 申請人:揭陽市宏光鍍膜玻璃有限公司