真空鍍膜機擴散泵加熱裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，包括豎置的擴散泵主體，所述擴散泵主體內腔設有平置的鐵質震蕩板，所述鐵質震蕩板側周套有沿鐵質震蕩板周向分布并置于擴散泵主體側壁內的電磁線圈，所述電磁線圈連接至位于擴散泵主體外的電磁加熱控制器，位于鐵質震蕩板上方的擴散泵主體外側壁設有沿擴散泵主體軸向螺旋延伸的冷卻水管，所述冷卻水管連接冷卻裝置。本實用新型供的真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其加熱速度快、效率高、工作穩、操作方便。
【專利說明】真空鍍膜機擴散泵加熱裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及真空鍍膜機擴散泵加熱裝置。
【背景技術】
[0002]擴散泵作為真空系統的主泵已經有幾十年的歷史，傳統的真空鍍膜設備擴散泵加熱是用耗電量比較高的電阻絲通過燒紅來烘烤真空鍋爐(擴散泵)底部，從而加熱里面的導熱油來使真空泵里面的溫度上升來達到設備的工作要求。這種加熱方式使得大部分的熱量散發到空氣中，導致損失大量的熱量，使得工作環境溫度變高。雖然制作成本低廉，但存在著:加熱速度慢、容易斷絲、加熱效能低下，能耗量大等諸多缺點。還有導線接入區域溫度過高觸電區域極易氧化虛接以及人身觸電的的危險。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其加熱速度快、效率高。
[0004]為實現上述目的，本實用新型的技術方案是設計一種真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，包括豎置的擴散泵主體，所述擴散泵主體內腔設有平置的鐵質震蕩板，所述鐵質震蕩板側周套有沿鐵質震蕩板周向分布并置于擴散泵主體側壁內的電磁線圈，所述電磁線圈連接至位于擴散泵主體外的電磁加熱控制器，位于鐵質震蕩板上方的擴散泵主體外側壁設有沿擴散泵主體軸向螺旋延伸的冷卻水管，所述冷卻水管連接冷卻裝置。
[0005]優選的，位于鐵質震蕩板下方的擴散泵主體側壁設有風扇排風口。
[0006]優選的，所述擴散泵主體內腔內還設有用于感應鐵質震蕩板溫度的溫度傳感器，所述溫度傳感器連接至電磁加熱控制器。
[0007]將電磁線圈接入三相電源，讓鐵質震蕩板產生渦電流，從而產生熱量，替代傳統的電阻絲加熱裝置。
[0008]將加熱裝置改用電磁線圈，通過電磁加熱控制器對電磁線圈的功率和溫度進行控制和設定。
[0009]由于電磁產生的熱量比較快，溫度容易控制，解決了傳統電阻絲容易斷的問題。
[0010]本實用新型的優點和有益效果在于:提供一種真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其加熱速度快、效率高、工作穩、操作方便。
[0011]本真空鍍膜機擴散泵加熱裝置采用高效節能的變頻電磁加熱技術，熱效率達95%以上。電磁加熱是由高電流通過高效線盤，產生無數電磁渦流，渦流通過帶磁的金屬，使得金屬器皿自行發熱，從而達到加熱目的。電磁加熱優勢在于:速度快、效率高、工作穩定、安裝和改造簡單(只需要將原電爐盤的三相電源線接入即可)、操作方便。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的示意圖。【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0014]本實用新型具體實施的技術方案是:
[0015]如圖1所示，一種真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，包括豎置的擴散泵主體1，所述擴散泵主體I內腔設有平置的鐵質震蕩板2，所述鐵質震蕩板2側周套有沿鐵質震蕩板2周向分布并置于擴散泵主體I側壁內的電磁線圈3，所述電磁線圈3連接至位于擴散泵主體I外的電磁加熱控制器4，位于鐵質震蕩板2上方的擴散泵主體I外側壁設有沿擴散泵主體I軸向螺旋延伸的冷卻水管5,所述冷卻水管5連接冷卻裝置6。
[0016]位于鐵質震蕩板2下方的擴散泵主體I側壁設有風扇排風口 7。
[0017]所述擴散泵主體I內腔內還設有用于感應鐵質震蕩板2溫度的溫度傳感器，所述溫度傳感器連接至電磁加熱控制器4。
[0018]將電磁線圈3接入三相電源，讓鐵質震蕩板2產生渦電流，從而產生熱量，替代傳統的電阻絲加熱裝置。
[0019]將加熱裝置改用電磁線圈3，通過電磁加熱控制器4對電磁線圈3的功率和溫度進行控制和設定。
[0020]由于電磁產生的熱量比較快，溫度容易控制，解決了傳統電阻絲容易斷的問題。
[0021]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其特征在于，包括豎置的擴散泵主體，所述擴散泵主體內腔設有平置的鐵質震蕩板，所述鐵質震蕩板側周套有沿鐵質震蕩板周向分布并置于擴散泵主體側壁內的電磁線圈，所述電磁線圈連接至位于擴散泵主體外的電磁加熱控制器，位于鐵質震蕩板上方的擴散泵主體外側壁設有沿擴散泵主體軸向螺旋延伸的冷卻水管，所述冷卻水管連接冷卻裝置。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其特征在于，位于鐵質震蕩板下方的擴散泵主體側壁設有風扇排風口。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜機擴散泵加熱裝置，其特征在于，所述擴散泵主體內腔內還設有用于感應鐵質震蕩板溫度的溫度傳感器，所述溫度傳感器連接至電磁加熱控制器。
【文檔編號】C23C14/56GK203530424SQ201320690315
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月5日 優先權日:2013年11月5日
【發明者】李秀富, 蔣偉良 申請人:蘇州翔之盛真空科技有限公司