一種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及泡沫鎳生產領域，特別涉及一種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備。它包括真空室及分別與真空室連接的兩個擴散泵，其特征是：每個擴散泵依次連接一個羅茨泵和一個旋片泵；所述真空室還與第一羅茨泵和第二羅茨泵分別連接，第一羅茨泵和第二羅茨泵又分別與一個滑閥泵連接。本實用新型既能保證設備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的能耗。
【專利說明】一種用于泡沬鎳生產的高效節能型高真空獲取設備
[0001](一)【技術領域】
[0002]本實用新型涉及泡沫鎳生產領域，特別涉及一種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備。
[0003](二)【背景技術】
[0004]泡沫鎳是一種具有海綿狀三維多孔結構的金屬鎳材料，連續泡沫鎳的規模化生產開始于21世紀初，是一種應用領域廣泛的新技術材料。泡沫鎳可用于鎳氫電池、燃料電池的電極材料，汽車催化劑轉換器、催化燃燒、柴油車黑煙凈化器的催化劑載體，可用作過濾器材料，處理流體中磁性粒子的磁流導體，用于儲氫媒介、熱交換媒介。
[0005]泡沫鎳產品的生產流程為模芯導電化處理、電沉積、氧化還原、分切包裝。模芯導電化處理工序產品的質量直接影響到最終泡沫鎳產品的多項物理化學性能，是泡沫鎳生產的關鍵工序。
[0006]模芯導電化處理可采用真空磁控濺射鍍鎳、化學鍍鎳或浸涂導電膠的方法。真空磁控濺射鍍鎳工藝具有產品純度高、無污染，成品阻值均勻等顯著優勢，在泡沫鎳生產中已逐步替代化學鍍鎳和浸涂導電膠工藝。
[0007]用于連續泡沫鎳生產的模芯導電化處理過程的真空磁控濺射過程要在KT1Pa高真空環境下進行，并且通有一定量的氬氣，模芯材料也有一定的放氣量。為了保證生產效率與運行成本符合規模化生產的需求，這就要求真空磁控濺射設備具有將真空度在較短時間內(小于10分鐘)由IO5Pa提升至5X 10°Pa的高效的抽空速率的真空獲取系統，同時又具有順利抽出生產過程中濺射時的氣體釋放、氬氣的通入和模芯材料放氣，保持NX KT1Pa真空度的低能耗真空維持系統。
[0008]目前國內用于泡沫鎳生產的真空鍍設備真空獲取系統普遍采用由滑閥泵、羅茨泵與擴散泵組成，為能夠滿足高效抽空速率的要求滑閥泵、羅茨泵的配置功率很高。一般容積在IOm3的真空室獲取設備配置兩套H-150滑閥泵和ZJP-1200羅茨泵，其功率分別為15kw和llkw。在真空度達到生產要求后繼續用上述設備來維持生產過程真空度。由于體系真空度維持過程對滑閥泵、羅茨泵能力要求顯著降低，造成真空維持過程設備能力嚴重過剩，造成較大能源浪費。
[0009](三)
【發明內容】
[0010]本實用新型為了彌補現有技術的缺陷，提供了一種既能保證設備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的低能耗的用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備。
[0011]本實用新型是通過如下技術方案實現的:
[0012]一種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備，包括真空室及分別與真空室連接的兩個擴散泵，其特征是:每個擴散泵依次連接一個羅茨泵和一個旋片泵；所述真空室還與第一羅茨泵和第二羅茨泵分別連接，第一羅茨泵和第二羅茨泵又分別與一個滑閥泵連接。
[0013]本實用新型的有益效果是:[0014]本實用新型既能保證設備真空體系獲取過程抽空效率，又能降低真空體系維持過程的能耗。
[0015](四)【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0017]圖1為本實用新型的俯視結構示意圖。
[0018]圖中，I真空室，2擴散泵，3羅茨泵，4旋片泵，5第一羅茨泵，6第二羅茨泵，7滑閥栗。
[0019](五)【具體實施方式】
[0020]附圖為本實用新型的具體實施例。如圖1所示，該種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備，包括真空室1，真空室I兩側分別連接一個擴散泵2，每個擴散泵2依次連接一個羅茨泵3和一個旋片泵4 ;真空室I兩側還分別與第一羅茨泵5和第二羅茨泵6連接，第一羅茨泵5和第二羅茨泵6又分別與一個滑閥泵7連接，該處使用的第一羅茨泵5和第二羅茨泵6的型號為ZJP1200，滑閥泵7的型號為H-150。
[0021]設備剛開始運行時，滑閥泵7工作，然后啟動第一羅茨泵5和第二羅茨泵6，這樣可以實現快速抽空；當真空度達到小于5Pa時，排氣量已經很少，這時開啟擴散泵2，關閉滑閥泵7、第一羅茨泵5和第二羅茨泵6，在生產效能不變的情況下實現節能降耗。
[0022]節電效果分析如下:
[0023]原配置生產過程中電機消耗:
[0024](15+11) X2=52 (kw)，每小時耗電 52kwh。
[0025]增加維持系統后生產過程中電機消耗:
[0026]5.2 X 2=10.4 (kw),每小時耗電 8kwh。
[0027]由此可以得出每小時節電量:52-10.4=41.6 (kwh)
[0028]除說明書所述技術特征外，其余技術特征均為本領域技術人員已知技術。
【權利要求】
1.一種用于泡沫鎳生產的高效節能型高真空獲取設備，包括真空室(I)及分別與真空室(I)連接的兩個擴散泵(2)，其特征是:每個擴散泵(2)依次連接一個羅茨泵(3)和一個旋片泵(4);所述真空室(I)還與第一羅茨泵(5)和第二羅茨泵(6)分別連接，第一羅茨泵(5)和第二羅茨泵(6)又分別與一個滑閥泵(7)連接。
【文檔編號】C23C14/56GK203754801SQ201320861669
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年12月25日 優先權日:2013年12月25日
【發明者】畢研文, 王乃用, 劉俊林, 宋小斌, 李偉, 江衍勤, 孟國強, 田利 申請人:菏澤天宇科技開發有限責任公司