技術總結
本發明公開了一種提高ZnO透明導電薄膜附著力的方法，包括以下步驟：以摻有Ga2O3和Al2O3粉末的ZnO陶瓷靶為靶材，室溫下在有機聚合物襯底上沉積一層ZnO透明導電薄膜；利用射頻磁控濺射技術，將MgO均勻濺射在有機聚合物襯底和ZnO薄膜之間，形成鍍膜B；以納米二氧化鈦和碳納米管的混合溶膠為原料在鍍膜B的表面進行涂膜處理，高溫干燥后形成鍍膜C。本發明提出的一種提高ZnO透明導電薄膜附著力的方法，在保證ZnO透明導電薄膜原有透光率和導電性的同時有效的增高了有機聚合物襯底的表面致密度和光滑度，減少了有機聚合物襯底和ZnO薄膜的失配缺陷，其操作簡單，設備簡單，成本低，制備的透明導電膜附著性能較好，使用壽命長，可得廣泛應用。
技術研發人員：龔麗;劉云珍
受保護的技術使用者：長沙理工大學
文檔號碼：201611180038
技術研發日：2016.12.19
技術公布日：2017.05.31