技術特征：
技術總結
本發明公開了一種旋轉銀靶材的冷噴涂制備方法。首先將不銹鋼按照客戶要求加工好，然后用棕剛玉進行噴砂粗化。再用碳化鎢合金制作的拉法爾噴管對銀粉進行噴涂，碳化鎢噴管結構如圖1，銀粉為球形粉末，粒度為30?60微米，氮氣氣壓為2?3MPa，氦氣加熱溫度為300?400℃，送粉轉速為6rpm。通過拉法爾噴管對粒子進行加速，將粒子速度提高到800?1000m/s。采用本發明冷噴涂制備銀靶材，具有工藝簡單和組織致密的優點，靶材相對密度可以達到99.9％以上，靶材內部晶粒組織均勻細小，無缺陷組織，且沉積效率高于99％。
技術研發人員：黃偉東
受保護的技術使用者：紹興斯普瑞涂層技術有限公司
技術研發日：2017.07.17
技術公布日：2017.10.20