專利名稱：超凈高純電子級過氧化氫提純設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種提純超凈高純過氧化氫的設備。該設備生產的超凈高 純過氧化氫適用于電子工業硅晶片的清洗。
技術背景過氧化氫廣泛應用于多個領域，具有漂白、氧化、消毒、殺菌等多種功效。 超凈高純過氧化氫在大規模集成電路和光伏行業用做清洗劑，主要用于芯片和 硅園片的清洗和蝕刻。過氧化氫的純度和潔凈度對電子產品的成品率、電性能 及可靠性有著十分重要影響。目前過氧化氫采用蒽醌法制備，用該種方法獲得 的過氧化氫溶液含有諸多的無機離子或化合物雜質，因此過氧化氫溶液需經提 純處理，以除去雜質，達到要求的高純度，尤其在電子工業，需要極高純度的 過氧化氫溶液。目前提純過氧化氫主要采用樹脂吸附法，該方法生產流程復雜， 能源消耗大，產量低，設備占地面積大。應用冷卻塔內的循環水進行冷卻，受 環境溫度影響大，而過氧化氫的不穩定性隨著溫度的升高成幾何倍地增長，因 此難以保證其穩定性，容易促使其分解。傳統的離子交換過氧化氫設備全為有 機玻璃裝置，靠手工控制操作，出現意外全靠人工處理，處理不當即玻璃四濺， 造成人員傷亡和財產損失，既不安全又不環保。 實用新型內容為了克服現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種節能環保，生 產高穩定性、高純度、高產量過氧化氫提純設備。本發明是通過以下技術方案來實現的超凈高純電子級過氧化氫提純設備， 包括原料槽、中間罐、吸附柱、交換柱、成品槽、廢液槽以及泵、閥和連接管， 其中原料槽出口與泵連接，泵與吸附柱進口連接，吸附柱的出口與中間罐入口 連接，中間罐的出口與冷凝器入口連接，冷凝器的出口與吸附柱入口連接，吸 附柱出口與成品槽入口連接，廢液槽的入口與吸附柱以及交換柱的出口連接， 其特征在于還包括純水槽和冷泵，其中純水槽的出口與吸附柱以及交換柱的入 口連接，冷泵與冷凝器連接。前述超凈高純電子級過氧化氫提純設備，其特征在于采用PVDF材質，除原 料槽、成品槽以及中間罐外系統其他部分集中于不銹鋼箱體中。前述超凈高純電子級過氧化氫提純設備，其特征在于采用自動化控制系統， 該自動化控制系統采用自動報警系統。本實用新型的有益效果是本實用新型能有效除去過氧化氫中的有機離子 和雜質顆粒，提供可用于電子工業的超凈高純過氧化氫。因采用冷卻泵代替傳 統的循環水制冷技術，能嚴格控制冷卻溫度，既提高生產的安全性，又減少循 環水的用量，節省水資料，達到節能環保。全程電腦控制，采用自動化控制設 備操作系統，保證過氧化氫的高穩定性。自動控制系統采用自動報警系統，有效避免事故的發生，采用新型的PVDF材質，提高了生產的安全性。
圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
下面將結合附圖，詳細說明本實用新型的具體實施方式
超凈高純電子級過氧化氫提純設備，包括原料槽l、吸附柱2、中間罐3、交換柱4、成品槽5、廢液槽6、純水槽7、冷泵8以及泵、閥和連接管，原料 槽l出口與泵連接，泵與吸附柱2進口連接，吸附柱的出口與中間罐3入口連 接，中間罐的出口與冷凝器9入口連接，冷凝器的出口與吸附柱2入口連接， 吸附柱出口與成品槽5入口連接，廢液槽6的入口與吸附柱2以及交換柱4的 出口連接，其中純水槽7的出口與吸附柱以及交換柱的入口連接，冷泵8與冷 凝器9連接。原料槽1用來盛放工業級過氧化氫，吸附柱2用于除去有機碳雜 質，經過離子交換柱4的過氧化氫進入成品槽中，裝置運行時冷凝器管程中進 的是過氧化氫，而殼程中進的是自來水，與冷凝器相連的冷泵將自來水溫降至 l(TC，使流經冷凝器中的過氧化氫在經過離子交換柱之前先將溫度降至35"C以 下，大大增加了過氧化氫的穩定性，不合格產品將自動進入廢液槽。本實用新 型采用PVDF (聚偏氟乙烯)材質，除具有良好的耐化學腐蝕性、耐高溫性、耐 氧化性、耐候性、耐射線輻射性能外，還具有壓電性、介電性、熱電性等特殊
性能，采用該材質制造的離子交換柱及相關管路，可以避免成品的二次污染。PVDF樹脂交換柱承受的壓力最大可以達到lMPa。本實用新型全程電腦控制，采用自動化控制設備操作系統，保證了產品質 量的穩定，且自動控制系統采用自動報警系統，避免事故的發生。手動和自動 兩套應急處理系統， 一旦壓力或溫度過高，電腦將從源頭做起，自動切斷過氧 化氫進料泵，同時打開應急純水泵，用純水冷卻、稀釋和置換過氧化氫，如電 腦失控，操作工人也可以手動切斷進料泵。如果過氧化氫反應過于劇烈，自動、 人工都來不及反應，交換柱頂的爆破片將在內壓力達到交換柱最大承受值的一 半即0. 45-0. 55MPa時，自動打開泄爆。PVDF材質也可以保證柱體破裂而非四散 飛濺，而系統除原料、成品槽以及中間罐外全部集中于不銹鋼箱體中，該箱體 在保證系統高度集成的同時， 一旦發生意外也會擋住所有可能產生的碎屑，最 大程度地保證人員的生命財產安全。以上已以較佳實施例公開了本實用新型，然其并非用以限制本實用新型， 凡采用等同替換或者等效變換方式所獲得的技術方案，均落在本實用新型的保 護范圍之內。
權利要求1、超凈高純電子級過氧化氫提純設備，包括原料槽、中間罐、吸附柱、交換柱、成品槽、廢液槽以及泵、閥和連接管，其中原料槽出口與泵連接，泵與吸附柱進口連接，吸附柱的出口與中間罐入口連接，中間罐的出口與冷凝器入口連接，冷凝器的出口與吸附柱入口連接，吸附柱出口與成品槽入口連接，廢液槽的入口與吸附柱以及交換柱的出口連接，其特征在于還包括純水槽和冷泵，其中純水槽的出口與吸附柱以及交換柱的入口連接，冷泵與冷凝器連接。
2、 根據權利要求1所述的超凈高純電子級過氧化氫提純設備，其特征在于 采用PVDF材質，除原料槽、成品槽以及中間罐外系統其他部分集中于不銹鋼箱 體中。
3、 根據權利要求l所述的超凈高純電子級過氧化氫提純設備，其特征在于 采用自動化控制系統，該自動化控制系統采用自動報警系統。
專利摘要本實用新型涉及一種超凈高純電子級過氧化氫的提純設備，主要包括原料槽、中間罐、吸附柱、交換柱、成品槽、純水槽及冷泵，其中原料槽出口與泵連接，泵與吸附柱進口連接，吸附柱的出口與中間罐連接，冷凝器與中間罐及吸附柱連接，吸附柱與成品槽連接，純水槽的出口與吸附柱以及交換柱的入口連接，冷泵連接在冷凝器兩端。本實用新型采用冷卻泵代替傳統的循環水制冷技術，能嚴格控制冷卻溫度，節能環保，保證過氧化氫的高穩定性，全程電腦控制，采用新型的PVDF(聚偏氟乙烯)材質以及自動化控制設備操作系統，有效避免事故的發生，使用安全。
文檔編號C01B15/00GK201214627SQ20082003371
公開日2009年4月1日 申請日期2008年4月1日 優先權日2008年4月1日
發明者嚴增源, 鳴 劉, 袁燕萍, 趙云翰 申請人:蘇州市晶協高新電子材料有限公司