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一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置的制作方法

文檔序號:11836579閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,包括反應釜本體、轉軸、生長液盛放槽、攪拌裝置、底座、溫度感應器,其特征在于,所述反應釜本體的頂部設置有開口,并在開口上安裝有液封蓋,所述的轉軸貫穿過液封蓋設置于反應釜本體內部,并在轉軸前端設置設置有夾持件,所述的夾持件設置于生長液盛放槽內部,生長液盛放槽通過若干支桿連接在反應釜本體的內壁,所述的反應釜本體內底部通過支撐座連接有攪拌裝置,所述的攪拌裝置上設置有加熱絲,在反應釜本體外底部設置有底座,所述的反應釜本體內腔內設置有溫度感應器。

2.如權利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的反應釜本體外底部設置有若干橫向的凸塊,所述的底座上設置有若干凹槽,所述的凸塊與凹槽相互卡合連接。

3.如權利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的支桿與生長液盛放槽螺栓連接。

4.如權利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述反應釜本體的外側壁設置有控制開關。

5.如權利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的夾持件與轉軸前端鉸接連接。

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