1.一種新型液封提拉法晶體生長裝置,包括爐體(5),設置在爐體(5)內的石墨坩堝(11)、石墨堝托(7)、石英坩堝(8)、石英堝托(9),所述石墨堝托(7)設置在石墨坩堝(11)外,所述石英坩堝(8)設置在石墨坩堝(11)內,所述石英堝托(9)設置在石英坩堝(8)下方,設置在爐體(5)頂部插進石英坩堝(8)的籽晶軸(6)、設置在石墨堝托(7)外的液封流體導入裝置(10),其特征在于:還包括至少一個溫度感測器(13)、液體厚度感測器(14)、微控制器(15)、顯示與控制終端(16),所述溫度感測器(13)和液體厚度感測器(14)設置在石英坩堝(8)內,并與所述微控制器(15)電連接,微控制器(15)與所述顯示與控制終端(16)電連接,溫度感測器(13)和液體厚度感測器(14)將獲得的信號傳輸給微控制器(15),微控制器(15)將信號處理后傳輸給顯示與控制終端(16)。
2.如權利要求1所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述溫度感測器(13)為DS18B20數位溫度感測器。
3.如權利要求1或2所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述溫度感測器(13)為3個,分別設置在靠近所述籽晶軸(6)下端的籽晶(6a)處、靠近所述石英坩堝(8)內壁處、所述籽晶(6a)與石英坩堝(8)內壁之間。
4.如權利要求3所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述溫度感測器(13)設置在石英坩堝(8)內的液封流體與原料熔融液體的液體界面處。
5.如權利要求1所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述液體厚度感測器(14)為HC-SR04超聲波感測器。
6.如權利要求1或5所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述液體厚度感測器(14)設置在石英坩堝(8)內的液封流體的上方。
7.如權利要求1所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:所述微控制器(15)為Arduino UNO控制器。
8.如權利要求1所述的新型液封提拉法晶體生長裝置,其特征在于:還包括坩堝軸(1)、電極(2)、加熱器(3)、多層石墨保溫罩(4)、導線接板(12),所述坩堝軸(1)穿過爐體(5)底部伸入爐體(5)內與石墨堝托(7)的底部相連,起到轉動石墨堝托(7)、石墨坩堝(11)、石英堝托(9)、石英坩堝(8)的作用,所述加熱器(3)與電極(2)相連,設置在電極(2)與石墨堝托(7)之間,所述多層石墨保溫罩(4)設置在爐體(5)內壁上,所述導線接板(12)與電極(2)相連。