技術總結
本發明公開了一種氮化硅陶瓷微小部件生產制造技術，包括以下步驟：準備生產用材料：陶瓷主粉、燒結助劑、異質粒子、脫泡劑、去離子水、粘結劑；將異質粒子混入去離子水中，加入脫泡劑制成均勻漿料混入陶瓷主粉，攪拌均勻后烘干，然后粉碎成粉末A；利用粉末A加入粘結劑，采用“滾元宵”法制得所需工件，并利用“塑浴”的陶瓷素坯封裝法對其進行封裝；加入燒結助劑，采用先高后低保溫措施對工件進行燒結處理。本發明采取如晶粒細化，微米增韌納米補強以及先高后低燒結保溫法等綜合措施提高了氮化硅陶瓷的性能指標。以所謂“塑浴封裝法”解決了復雜形狀素坯的封裝問題而且極大地提高了微小工件封裝的生產效率。
技術研發人員：劉玉亭
受保護的技術使用者：張海波
文檔號碼：201710009608
技術研發日：2017.01.06
技術公布日：2017.05.10