一種硅烷類合成尾氣回收裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種尾氣回收裝置，具體涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，屬于環保設備技術領域。
【背景技術】
[0002]在一些合成項目類中，一般都會出現大量的尾氣，且其中大部分為未完全參加反應的原料氣體。如何對這些氣體進行有效的綜合利用，是提高工藝性能和減輕環保壓力的重中之重。
[0003]傳統的對硅烷類合成氣體的綜合利用，主要是有加壓冷凝回收，變壓吸附回收，活性炭吸收，或者兼而有之。雖然在一定程度上解決了環保上的壓力，也能夠回收部分的原料或者中間產品，但存在效率低下、能耗高、環保投入大以及不能徹底解決環保污染等等問題的存在。
[0004]因此，為解決上述技術問題，確有必要提供一種創新的硅烷類合成尾氣回收裝置，以克服現有技術中的所述缺陷。
【實用新型內容】
[0005]為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、成本低、穩定可靠且不會產生新的廢水的硅烷類合成尾氣回收裝置。
[0006]為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為:一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進壓縮尾氣緩沖罐;其中，所述進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動調節閥。
[0007]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置進一步設置為:所述進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一單向截止閥。
[0008]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置還設置為:所述第一冷凝器和尾氣緩沖罐之間的管道與進壓縮尾氣緩沖罐之間連接有一支管，于支管上也設有一自動調節閥。
[0009]與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果:
[0010]1.裝置結構簡單，處理工藝簡單且成本低廉，且穩定性好；
[0011]2.原料氣體循環利用，沒有額外污染物。傳統工藝只能盡量回收，最終還是要依靠尾氣中和吸收裝置來完成回收。在解決尾氣問題的同時又帶來廢水的問題，更有甚者在中間利用活性炭吸附，雖然進一步提高了吸附效果，也帶來了新的固廢污染物；
[0012]3.實用推廣性強。該工藝可推廣至很多項目中，因為大多數合成項目尾氣中的主要成分就是原料和少量物料，在滿足一定條件下均可才用此工藝進行尾氣處理。
[0013]4.效果顯著，治理徹底。本項目最終的的目標能夠達到對尾氣的綜合利用超過99%，不會產生新的工業廢水。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]請參閱說明書附圖1所示，本實用新型為一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其由進氣緩沖罐1、合成爐3、第一冷凝器5、尾氣緩沖罐7、隔膜壓縮機8、第二冷凝器9以及進壓縮尾氣緩沖罐10等幾部分組成。
[0016]其中，所述進氣緩沖罐1、合成爐3、第一冷凝器5、尾氣緩沖罐7、隔膜壓縮機8、第二冷凝器9、進壓縮尾氣緩沖罐10和合成爐3依次通過管道連接。
[0017]所述進氣緩沖罐I和合成爐之3間的管道上設有一自動調節閥2。
[0018]所述進壓縮尾氣緩沖罐10和合成爐3之間的管道上設有一單向截止閥4。
[0019]所述第一冷凝器5和尾氣緩沖罐7之間的管道與進壓縮尾氣緩沖罐10之間連接有一支管11，于支管11上也設有一自動調節閥6。
[0020]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置的工作原理如下:當合成所需要的氯氣(設定流量為60m3/h)通過進氣緩沖罐I緩沖，經過自動調節閥2控制，從而使氯氣進合成爐3的壓力為恒定值(設定0.15MPa)。合成完的尾氣經過第一冷凝器5后的液體即為產品，經底部管道流向儲罐。該反應為一減壓反應，合成效率為96%。合成的尾氣未冷凝尾氣主要包含未反應氯氣和未完全冷凝四氯化硅氣體，尾氣中組分主要為80 %四氯化硅氣體，20 %氯氣。此時尾氣壓力為不超過0.05MPa，流量為6m3/h，尾氣通過第一冷凝器5頂部管道輸送至尾尾氣緩沖罐7。尾氣再經過隔膜壓縮機8壓縮后，壓力提升為氯氣的輸入壓力0.15MPa。該尾氣經過第二冷凝器9的進一步冷凝，其中70 %的四氯化硅將再度被冷凝為液體，并經過第二冷凝器9底部的管道排送至儲罐。未冷凝的氣體輸送至進壓縮尾氣緩沖罐10，此時氣體的壓力為組分為55%四氯化硅氣體，45%氯氣，流量為2.64m3/h。尾氣經過單向截止閥4輸送至合成爐3進氣口，單向截止閥4開啟壓力設置為0.15MPa，保證其壓力不會干擾到合成爐的進氯氣。經過壓縮的尾氣，氯氣可以繼續參與合成爐的反應，四氯化硅則可以對抑制四氯化硅的合成，保證合成爐的反應平穩。由于尾氣總量偏小，壓縮機的壓縮量較大，工藝設置了自動調節補氣裝置。當壓縮量過大時，進壓縮尾氣緩沖罐10壓力低于0.0lMPa時，支管11上的自動調節閥6開啟，將壓縮過的尾氣直接補充至壓縮機前，防止出現負壓。
[0021 ]以上整個工藝能夠保證在正常生產情況下，完全無尾氣排放，在三氯氫硅合成項目中同樣適用本工藝。從根本上徹底解決了，硅烷合成系統中尾氣對環境造成的污染問題。
[0022]以上的【具體實施方式】僅為本創作的較佳實施例，并不用以限制本創作，凡在本創作的精神及原則之內所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本創作的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:包括進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進壓縮尾氣緩沖罐;其中，所述進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動調節閥。2.如權利要求1所述的硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:所述進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一單向截止閥。3.如權利要求1所述的硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:所述第一冷凝器和尾氣緩沖罐之間的管道與進壓縮尾氣緩沖罐之間連接有一支管，于支管上也設有一自動調節閥。
【專利摘要】本實用新型涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進壓縮尾氣緩沖罐；其中，所述進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接；所述進氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動調節閥。本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結構簡單、成本低、穩定可靠且不會產生新的廢水等諸多優點。
【IPC分類】C01B33/107
【公開號】CN205367746
【申請號】CN201521107083
【發明人】羅全安, 何壽林
【申請人】武漢新硅科技潛江有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年12月26日