專利名稱：一種超細微粉拋光膜的制備方法
技術領域：
本發明涉及一種用于超精密拋光的超細微粉拋光膜的制備方法。
背景技術：
近幾年，隨著信息技術、光學技術的發展，對硬脆性材料，如硅片，光學玻璃等，不僅需求量增大，而且對其質量、精度都提出了很高的要求。對于這些材料的加工，目前普遍使用的是游離磨料研磨拋光。但是，由于研磨液體在放置過程中容易產生沉淀而且隨著磨料粒度的減小，磨料很容易產生團聚現象，這些都會對加工后的工件表面質量產生影響。在加工過程中磨料流體的流動性很大，只能在拋光盤表面停留片刻，因此磨料浪費非常嚴重，研磨效率很低，磨料流體廢液還會嚴重污染環境。為了解決超細磨料的團聚問題，同時為了提高加工效率和減少磨料的浪費，使用固結磨料工具拋光來代替游離磨料研磨拋光已經成為一種趨勢。
本發明基于超細磨料的團聚難題，同時為了提高加工效率和減少磨料的浪費，提出一種基于溶膠凝膠的超細微粉拋光膜的制備方法。
發明內容
本發明的目的是提供一種超細微粉拋光膜的制備方法，其可使超細微粉在結合劑中均勻分布。
本發明的技術方案是這樣的一種超細微粉拋光膜的制備方法，通過下列步驟實現第一步，在常溫常壓下，將超細微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，用攪拌器進行攪拌，使得超細微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，將第一步所得的含有超細微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網格狀結構的紡織物之上并將此紡織物粘貼固定在一拋光基盤上，將涂覆于紡織物之上的含有超細微粉的藻酸鈉鹽溶液進行平整化處理從而得到薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的Ca2+溶液中進行迅速固化并放置幾個小時，從而制備成拋光膜。
上述Ca2+溶液為氯化鈣溶液。
上述超細微粉可以是金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物。
上述超細微粉粒度大約在1-40μm。
上述紡織物為無紡布。
本發明與傳統的超細微粉固結制造方法最大不同之處在于事先將超細微粉放置于藻酸鈉鹽溶液中，經過攪拌，超細微粉可以在溶液中均勻的分散開，然后將含有超細微粉的藻酸鈉鹽溶液涂覆于一種網格狀結構的無紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤上，利用一種抹平裝置進行平整化處理做成薄膜形狀，然后將其放入含Ca2+的溶液中進行迅速固化并放置幾個小時，在拋光膜的制造的過程中，由于凝膠速度很快，整個固化時間約為0.5-1秒，因此不會造成超細微粉的沉積。本發明所提供的方法可從根本上解決超細微粉在固結過程中的團聚問題，從而可以使工件達到納米級的加工精度。
具體實施例方式
本發明一種超細微粉拋光膜的制備方法，通過如下步驟實現第一步，在常溫常壓下，將粒度大約在1-40μm的超細微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，此處的超細微粉可為金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物，用攪拌器進行攪拌，使得超細微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細微粉占此混合溶液的重量百分比的10％；第二步，將第一步所得的含有超細微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網格狀結構的無紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤上，使用一種抹平裝置將涂覆于無紡布之上的含有超細微粉的藻酸鈉鹽溶液進行平整化處理從而做成薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的氯化鈣溶液中進行迅速固化并放置幾個小時，從而制備成拋光膜。
權利要求
1.一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特征在于通過下列步驟實現第一步，在常溫常壓下，將超細微粉放入重量百分比濃度為1-5％的海藻酸鈉溶液中，用攪拌器進行攪拌，使得超細微粉在海藻酸鈉溶液中能夠均勻分散，形成均勻的混合溶液，其中超細微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30％；第二步，將第一步所得的含有超細微粉的海藻酸鈉混合溶液涂覆于一種網格狀結構的紡織物之上并將此紡織物粘貼固定在一拋光基盤上，將涂覆于紡織物之上的含有超細微粉的藻酸鈉鹽溶液進行平整化處理從而得到薄膜；第三步，將第二步所得的涂覆著薄膜的拋光基盤放入重量百分比濃度為0.5-2.0％的Ca2+溶液中進行迅速固化并放置幾個小時，從而制備成拋光膜。
2.根據權利要求1所述的一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述Ca2+溶液為氯化鈣溶液。
3.根據權利要求1所述的一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述超細微粉可以是金剛石、氧化鋁、碳化硅、氧化硅、氧化鐵、氧化鈰中的一種或幾種的混合物。
4.根據權利要求1所述的一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述超細微粉粒度大約在1-40μm。
5.根據權利要求1所述的一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特征在于上述紡織物為無紡布。
全文摘要
本發明公開了一種超細微粉拋光膜的制備方法，其特點在于將超細磨料加入海藻酸鹽溶液中，用攪拌器進行充分攪拌使得超細微粉在藻酸鈉鹽溶液中均勻分布；然后將含有超細微粉的藻酸鈉鹽溶液涂覆于一種網格狀結構的無紡布之上并用雙面膠粘貼在拋光基盤上，利用一種抹平裝置進行平整化處理做成薄膜形狀，然后將其放入含Ca
文檔編號C09G1/02GK1843701SQ200610040168
公開日2006年10月11日 申請日期2006年4月30日 優先權日2006年4月30日
發明者徐西鵬, 劉娟, 于怡青 申請人:華僑大學