專利名稱：物品保管設備以及物品保管方法
技術領域：
本發明涉及一種物品保管設備以及利用這種物品保管設備的物品保管方法，該物品保管設備具備:收納收容基板的運送容器的多個收納部，相對于上述多個收納部運送上述運送容器的運送裝置，相對于上述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑，以及將由上述惰性氣體供給路徑供給到上述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的上述運送容器的內部排放的排放部,上述多個收納部被區分成多個區域,上述惰性氣體供給路徑具備:將惰性氣體向上述多個區域的每一個供給的區域用供給部分，和將由上述區域用供給部分供給到上述區域的惰性氣體向該區域中的上述多個收納部的每一個分支供給的收納部用供給部分。
背景技術：
在日本國特開2010-182747號公報(專利文獻I)中公開了上述這種物品保管設備的一例。裝備在專利文獻I的物品保管設備上的帶潔凈功能的物品保管架具備多個收納收容半導體晶片的FOUP等運送容器的收納部，通過惰性氣體供給路徑向該收納部的每一個供給例如氮氣或氬氣等惰性氣體，并通過排放部將該惰性氣體向運送容器的內部排放。在上述專利文獻I中，在將運送容器收納在收納部中后，從排放部向運送容器的內部排放惰性氣體，將不利于基板的氧氣或水蒸氣等從運送容器內排出，使收納在收納部中的運送容器為內部被惰性氣體充滿的狀態。這樣一來，抑制了產生收容在運送容器中的基板的氧化等不良情況。但是，在上述專利文獻I的物品保管設備中，即使在由于區域用供給部分的破損或設在區域用部件部分與收納部用供給部分的連接部位的流量調整閥等儀器的故障，不再能夠向收納部恰當地供給惰性氣體的情況下，運送容器收納在該收納部中的狀態也繼續。因此，在不再能夠向收納部恰當地供給惰性氣體的情況下，由于外氣向運送容器內流入等而運送容器內的環境惡化，存在運送容器內的基板上產生不良情況的可能性。
發明內容
鑒于上述背景，希望實現即使在不再能夠向收納部恰當地供給惰性氣體的情況下，也能夠將收納在該收納部中的運送容器內的基板上產生不良情況的事態防患于未然的物品保管設備。本發明所涉及的物品保管設備具備:收納收容基板的運送容器的多個收納部，相對于上述多個收納部運送上述運送容器的運送裝置，向上述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑，將由上述惰性氣體供給路徑供給到上述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的上述運送容器的內部排放的排放部，其中，上述多個收納部被區分成多個區域，上述惰性氣體供給路徑具備:將惰性氣體向上述多個區域的每一個供給的區域用供給部分，和將由上述區域用供給部分供給到上述區域的惰性氣體向該區域中的上述多個收納部的每一個分支供給的收納部用供給部分，設有使多個上述收納部用供給部分中的兩個以上的上述收納部用供給部分彼此連通的旁通部分，和能夠切換成上述旁通部分的惰性氣體能夠流通的打開狀態或上述旁通部分的惰性氣體不能夠流通的關閉狀態的旁通用切換閥。根據上述結構，通過將旁通用切換閥切換成打開狀態，能夠使惰性氣體在相互連通的多個收納部用供給部分彼此之間流通。因此，在因區域用供給部分的破損或設在區域用供給部分與收納部用供給部分的連接部位的流量調整閥等儀器的故障而發生了向收納部供給的惰性氣體比適當供給量減少的事態，或者惰性氣體完全不向收納部供給的事態的情況下，通過將旁通用切換閥切換成打開狀態，能夠使惰性氣體從恰當地供給了惰性氣體的區域的收納部用供給部分經由旁通部分向未恰當地供給惰性氣體的區域的收納部用供給部分流動。其結果，能夠抑制收納在收納部中的運送容器的基板上產生不良情況。本發明所涉及的物品保管設備的技術特征也能夠適用于物品保管方法，本發明也能夠將這種方法作為權利的對象。在該物品保管方法中，也能夠得到上述物品保管設備的所涉及的作用和效果。S卩，本發明所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管設備，該物品保管設備具備:收納收容基板的運送容器的多個收納部，相對于上述多個收納部運送上述運送容器的運送裝置，向上述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑，以及將由上述惰性氣體供給路徑供給到上述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的上述運送容器的內部排放的排放部，其中，上述多個收納部被區分成多個區域，上述惰性氣體供給路徑具備:將惰性氣體向上述多個區域的每一個供給的區域用供給部分，和將由上述區域用供給部分供給到上述區域的惰性氣體向該區域中的上述多個收納部的每一個分支供給的收納部用供給部分，在上述物品保管設備上設有:使多個上述收納部用供給部分中的兩個以上的上述收納部用供給部分彼此連通的旁通部分，能夠切換成上述旁通部分的惰性氣體能夠流通的打開狀態或上述旁通部分的惰性氣體不能夠流通的關閉狀態的旁通用切換閥，檢測惰性氣體相對于上述多個區域的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置，檢測上述旁通用切換閥的切換狀態的切換狀態檢測裝置，以及基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息進行是否恰當地供給了惰性氣體的判定的供給狀態判定的控制裝置，上述物品保管方法包括由上述控制裝置執行的以下的工序:將通過上述供給狀態判定而判定為未恰當地供給惰性氣體的上述區域作為對象區域，收納部管理工序，基于上述切換狀態檢測裝置的檢測信息，以設在與上述對象區域的上述收納部用供給部分連通的上述旁通部分的上述旁通用切換閥處于上述關閉狀態為條件，將屬于該對象區域的上述收納部作為禁止運送容器的收納的禁止收納部進行管理。以下，對本發明的優選實施方式的例子進行說明。在本發明所涉及的物品保管設備的實施方式中，優選地是，上述旁通部分設成將上述多個收納部用供給部分中的兩個作為一組，使成組的兩個上述收納部用供給部分彼此連通。根據上述結構，與將旁通部分設成使三個以上的收納部用供給部分彼此連通的情況相比，能夠謀求旁通部分的結構簡單化。在本發明所涉及的物品保管設備的實施方式中，優選地是，設有沿上下方向以及左右方向排列地設有上述收納部的保管架，上述旁通部分設成使在上下方向或者左右方向上鄰接的上述區域的上述收納部用供給部分彼此連通。根據上述結構，與將旁通部分設成使在上下方向或者左右方向上分離的區域的收納部用供給部分彼此連通的情況相比，能夠縮短旁通部分的長度。在本發明所涉及的物品保管設備的實施方式中，優選地是，設有:檢測惰性氣體相對于上述多個區域的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置，檢測上述旁通用切換閥的切換狀態的切換狀態檢測裝置，以及基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息進行是否恰當地供給了惰性氣體的判定的供給狀態判定的控制裝置，將通過上述供給狀態判定而判定為未恰當地供給惰性氣體的上述區域作為對象區域，上述控制裝置構成為，基于上述切換狀態檢測裝置的檢測信息，以設在與上述對象區域的上述收納部用供給部分連通的上述旁通部分的上述旁通用切換閥處于上述關閉狀態為條件，將屬于該對象區域的上述收納部作為禁止運送容器的收納的禁止收納部進行管理。根據上述結構，在因惰性氣體供給路徑的破損或設在惰性氣體供給路徑的中途的壓力調整閥等儀器的故障而產生了向區域供給的惰性氣體比適當供給量減少的事態，或者惰性氣體完全不向區域供給的事態的情況下，由區域用供給狀態檢測裝置檢測出相對于該區域(以下稱為“對象區域”)未恰當地供給惰性氣體。并且在設在與對象區域的收納部用供給部分連通的旁通部分的旁通用切換閥處于關閉狀態的情況下，屬于該對象區域的收納部被作為禁止收納部進行管理。因此，例如在將運送容器向收納部中收納之際，通過避免選擇未恰當地供給惰性氣體的收納部、而選擇能夠恰當地供給惰性氣體的收納部作為收納對象的收納部，能夠將向收納在該收納部中的運送容器內供給惰性氣體,將收容在運送容器中的基板上產生不良情況的事態防患于未然。而且，在將設在與對象區域的收納部用供給部分連通的旁通部分的旁通用切換閥切換成打開狀態的情況下，能夠從旁通部分相對于該對象區域供給惰性氣體。在這種情況下，由于旁通用切換閥不是處于關閉狀態，所以屬于該對象區域的收納部不被作為禁止收納部進行管理。因此，例如在將運送容器向收納部中收納之際，能夠將運送容器向屬于對象區域、從旁通部分被供給惰性氣體的收納部中收納，能夠有效利用收納部。在本發明所涉及的物品保管設備的實施方式中，優選地是，上述控制裝置構成為，基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息執行退避用運送處理，將收納在因惰性氣體的供給狀態的變化而切換成上述禁止收納部的上述收納部中的上述運送容器向未被作為上述禁止收納部進行管理的上述收納部運送。根據上述結構，即使在不再能夠相對于收納部恰當地供給惰性氣體的情況下，由于能夠將收納在該收納部中的運送容器向能夠恰當地供給惰性氣體的收納部運送，所以能夠將在該運送容器內的基板上產生不良情況的事態防患于未然。在本發明所涉及的物品保管方法的實施方式中，優選地是，作為由上述控制裝置執行的工序，還包括退避用運送處理工序，基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息，將收納在因惰性氣體的供給狀態的變化而切換成上述禁止收納部的上述收納部中的上述運送容器向不被作為上述禁止收納部進行管理的上述收納部運送。
圖1是物品保管設備的縱向剖視圖； 圖2是表示相同設備的一部分的縱剖主視 圖3是收納部的立體 圖4是載置著容器的狀態下的收納部的主視 圖5是未載置容器的狀態下的收納部的主視 圖6是表示惰性氣體向區域的供給方式的附 圖7是表示惰性氣體向收納部的供給方式的附 圖8是控制框 圖9是表示控制裝置進行的收納部的管理狀態的一例的附 圖10是表示控制裝置進行的收納部的管理狀態的另一例的附 圖11是表示控制裝置進行的收納部的管理狀態的另一例的附 圖12是表示旁通用切換閥處于關閉狀態的情況下的惰性氣體的供給狀態的附 圖13是表示旁通用切換閥處于打開狀態的情況下的惰性氣體的供給狀態的附 圖14是流程圖。附圖標記說明:
IOS:收納部，IO1:排放噴嘴(排放部)，20:塔式起重機(運送裝置)，40:質量流控制器(流通調整裝置、流通異常檢測裝置)，50:運送容器，60:氮氣供給路徑(惰性氣體供給路徑)，62:區域用供給部分，63:收納部用供給部分，67:壓力調整用閥(壓力調整裝置)，68:壓力檢測傳感器(壓力檢測裝置)，69:收納部用閥(流量調整裝置)，70:流量調整用閥(流通調整裝置)，72:旁通部分，73:旁通用切換閥，90:切換狀態檢測傳感器(切換狀態檢測裝置)，A:10擴展模塊(中轉裝置)，CH:區域，H:控制裝置，P:可編程邏輯控制器(中轉異常檢測裝置)，S:供給狀態檢測裝置，S1:區域用供給狀態檢測裝置，S2:收納部用供給狀態檢測裝置，W:基板。
具體實施例方式基于附圖對將本發明適用于帶潔凈功能的物品保管設備上的情況下的實施方式進行說明。(整體結構)
物品保管設備如圖1以及圖2所示由自動倉庫構成，該自動倉庫具備沿上下方向以及左右方向排列地設有收納部IOS的保管架10，和作為運送裝置的塔式起重機20，該收納部IOS收納以密閉狀態收容基板W的運送容器50 (以下簡稱為容器50)，該塔式起重機20相對于多個收納部IOS以及入出庫輸送機CV運送容器50。另外,在本實施方式中，基板W是半導體晶片，收容該半導體晶片的前開式標準容器(FOUP:Front Opening Unified Pod)是保管對象的容器50。(容器50的結構)
如圖4所不,容器50具備殼體51和裝卸自如的蓋體(未圖不)，該殼體51具備用于取出和放入基板W的開口，該蓋體關閉殼體51的開口。如圖1、圖2以及圖4所示，在殼體51的上表面形成有被升降式的運送車D把持的上凸緣52，在殼體51的底部，如后所述設有用于注入作為惰性氣體的氮氣的供氣口 50i以及排氣口 50ο。雖然省略了圖示，但在供氣口 50i處設有注入側開閉閥，在排氣口 50ο處設有排出側開閉閥。S卩，容器50在收容著基板W的狀態下被蓋體關閉開口，同時供氣口 50i以及排氣口 50ο各自的開閉閥為關閉狀態，從而以密閉狀態收容基板W。注入側開閉閥被彈簧等施力部件向關閉方向施力，若向供氣口 50i供給的氮氣的排放壓力為高出大氣壓設定值的設定開閥壓力以上，則在其壓力的作用下操作而打開。而且，排出側開閉閥被彈簧等施力部件向關閉方向施力，若容器50內部的壓力為高出大氣壓設定值的設定開閥壓力以上，則在其壓力的作用下操作而打開。(塔式起重機20的結構)
如圖1所示，塔式起重機20具備:能夠沿著設在保管架10的前面一側的地面部上的行駛軌道行駛移動的行駛臺車21，立設在該行駛臺車21上的立柱22，設在立柱22的上端并與未圖示的上部導軌卡合的上部框23，以及能夠以被上述立柱22引導的狀態升降移動的升降臺24。在升降臺24上裝備有相對于收納部IOS或入出庫的輸送機CV移載容器50的移載裝置25。并且塔式起重機20構成為，通過行駛臺車21的行駛移動、升降臺24的升降移動以及移載裝置25的移載動作,執行將入出庫輸送機CV上的容器50向收納部IOS運送的入庫作業、將收納部IOS的容器50向入出庫輸送機CV上運送的出庫作業、以及將收納部IOS的容器50向其它的收納部IOS運送的退避作業。(收納部IOS的結構)
如圖2所示，在保管架10上，沿上下方向排列地設有多行(在本例中為8行)收納部10S，沿左右方向排列地設有多列(在本例中為9列，圖2中僅圖示了 4列)收納部10S。在保管架10整體72個部位設有收納部10S。并且如圖6所示，區分成將由沿上下方向排列地設置的4行收納部10S、和沿左右方向排列地設置的3列收納部IOS構成的合計12個部位的收納部IOS作為一個區域CH，72個部位的收納部IOS屬于6個區域CH中的某一個。這樣，設在保管架10上的多個收納部IOS被區分成多個區域CH。如圖3所示，在多個收納部IOS的每一個上裝備有載置支撐容器50的載置支撐部IOa,收納部IOS以將容器50載置支撐在載置支撐部IOa上的狀態收納該容器50。而且，在載置支撐部IOa上設有三個定位突起IOb和兩個重載傳感器10z，三個定位突起IOb用于與形成在容器50的底面部上的被卡合部(未圖示)卡合而將該容器50定位在規定位置，兩個重載傳感器IOz檢測容器50是否載置在載置支撐部IOa上(即容器50是否收納在收納部IOS中)。而且，如圖3以及圖5所示，在載置支撐部IOa上設有作為排放部的排放噴嘴IOi和排出用透氣體10ο，該排放噴嘴IOi向收納在收納部IOS中的容器50的內部供給作為惰性氣體的氮氣，該排出用透氣體IOo使從容器50的內部排出的氣體流通。如圖4所示，排放噴嘴IOi設在容器50載置在載置支撐部IOa上的規定位置的狀態下與裝備在其容器50的底面部的供氣口 50i嵌合的部位。而且，排出用透氣體IOo設在容器50載置在載置支撐部IOa上的規定位置的狀態下與裝備在其容器50的底面部的排氣口 50ο嵌合的部位。即，若容器50收納在收納部IOS中并載置在載置支撐部IOa上，則該容器50被定位突起IOb定位在規定位置，排放噴嘴IOi以嵌合狀態與供氣口 50i相連，并且排出用透氣體IOo以嵌合狀態與排氣口 50ο相連。并且通過在容器50載置支撐在載置支撐部IOa上的狀態下，從排放噴嘴IOi排放壓力比大氣壓高出設定值以上的氮氣，氮氣從容器50的供氣口 50i注入容器50的內部，容器內的氣體從容器50的排氣口 50ο向外部排出。(氮氣的供給結構)
如圖6以及圖7所示，在物品保管設備上安裝有向多個收納部IOS供給氮氣的作為惰性氣體供給路徑的氮氣供給路徑60。接著對該氮氣供給路徑60進行說明。另外，圖6是表示相對于每一個區域CH供給氮氣的結構的附圖，圖7是表示相對于收納部IOS的每一個供給氮氣的結構的附圖。另外，在圖7中僅表示了沿上下方向排列的兩個區域CH。如圖6以及圖7所示，氮氣供給路徑60具備:主供給部分61，將由主供給部分61供給的氮氣向多個區域CH的每一個分支供給的區域用供給部分62，以及將由區域用供給部分62供給到區域CH的氮氣向該區域CH中的多個收納部IOS的每一個分支供給的收納部用供給部分63。如圖6所示，區域用供給部分62具備:與主供給部分61相連的上游區域用供給部62a，和從上游區域用供給部62a分支的多個下游區域用供給部62b。在上游區域用供給部62a連接有數量與區域CH相同的6路徑的下游區域用供給部62b。另外，上游區域用供給部62a為與主供給部分61相同的配管尺寸，下游區域用供給部62b為比上游區域用供給部62a細的配管尺寸。收納部用供給部分63設有數量與區域CH相同的6路徑，如圖7所示，收納部用供給部分63分別具備:與區域用供給部分62相連的上游收納部用供給部63a，從上游收納部用供給部63a分支的中游收納部用供給部63b，以及從中游收納部用供給部63b分支的下游收納部用供給部63c。在上游收納部用供給部63a連接有與區域CH中的收納部IOS的行數相同的4路徑的中游收納部用供給部63b，在中游收納部用供給部63b連接有與區域CH中的收納部IOS的列數相同的3路徑的下游收納部用供給部63c。另外，上游收納部用供給部63a以及中游收納部用供給部63b為與下游區域用供給部62b相同的配管尺寸，下游收納部用供給部63c為比上游收納部用供給部63a以及中游收納部用供給部63b細的配管尺寸。如圖6所示，在主供給部分61與區域用供給部分62的連接部位設有主閥65，能夠切換成氮氣能夠從主供給部分61向區域用供給部分62流通的打開狀態或不能夠流通的關閉狀態。通過操作該主閥65，能夠以保管架10的單位切換成供給氮氣的狀態或不供給氮氣的狀態。如圖6以及圖7所示，在區域用供給部分62與多個收納部用供給部分63的連接部位的每一部位設有區域用閥66，作為壓力調整裝置的壓力調整用閥67，以及作為壓力檢測裝置的壓力檢測傳感器68，區域用閥66能夠切換成氮氣能夠從區域用供給部分62向收納部用供給部分63流通的打開狀態或不能夠流通的關閉狀態，壓力調整用閥67通過調整從區域用供給部分62向收納部用供給部分63流通的氮氣的流通量而調整收納部用供給部分63的氮氣的壓力，壓力檢測傳感器68檢測收納部用供給部分63的氮氣的壓力。通過操作區域用閥66，能夠以區域CH的單位切換成供給氮氣的狀態或不供給氮氣的狀態。
如圖7所示，在收納部用供給部分63與排放噴嘴IOi的連接部位設有收納部用閥69和質量流控制器40，收納部用閥69能夠切換成氮氣能夠從收納部用供給部分63向排放噴嘴IOi流通的打開狀態或不能夠流通的關閉狀態。通過操作收納部用閥69，能夠以收納部IOS的單位切換成供給氮氣的狀態或不供給氮氣的狀態。在質量流控制器40上，如圖7中僅由附圖標記所示，裝備有流量調整用閥70和流量檢測傳感器71，流量調整用閥70調整從收納部用供給部分63向排放噴嘴IOi供給的氮氣的流通量，流量檢測傳感器70檢測從收納部用供給部分63向排放噴嘴IOi流通的氮氣的流量。即，質量流控制器40 (流量調整用閥70)相當于調整向排放噴嘴IOi供給的氮氣的流量的流通調整裝置。如圖7所示，在本實施方式中，將多個收納部用供給部分63中的兩個作為一組，以使成組的兩個收納部用供給部分63彼此連通的方式設有旁通部分72。另外，在圖6中省略了旁通部分72。該旁通部分72在本實施方式中設成使屬于在上下方向上鄰接的兩個區域CH的收納部用供給部分63彼此連通，相對于6個區域CH合計設有3路徑。而且，在旁通部分72上設有旁通用切換閥73，能夠切換成旁通部分72的氮氣能夠流通的打開狀態或者旁通分72的氮氣不能夠流通的關閉狀態。旁通用切換閥73基本上切換成關閉狀態。因此，以下只要沒有特別說明，則旁通用切換閥73的狀態為關閉狀態。另外，旁通部分72為與上游收納部用供給部63a相同的配管尺寸。(控制結構)
如圖8所示，控制裝置H構成為對保管架10上的容器50的在庫狀態等進行管理，同時基于來自圖外的上位控制器的入庫指令以及出庫指令控制塔式起重機20的動作。若加以說明，則當控制裝置H從上位控制器接受入庫指令時，基于在庫狀態執行選擇未收納容器50的空的收納部IOS中的一個作為收納對象的收納部10S，控制塔式起重機20的動作而將容器50從入出庫輸送機CV向收納對象的收納部IOS運送的入庫運送處理。而且，當控制裝置H從上位控制器接受出庫指令時，基于在庫狀態執行控制塔式起重機20的動作而將出庫對象的容器50從收納該容器50的收納部IOS向入出庫輸送機CV上運送的出庫運送處理。控制裝置H構成為向可編程邏輯控制器P發送表示氮氣的供給量或供給氮氣的收納部IOS的供給信息，控制區域用閥66，收納部用閥69以及流量調整用閥70 (質量流控制器40)的動作。接著，對控制該區域用閥66，收納部用閥69以及流量調整用閥70的動作的控制結構進行說明。壓力調整用閥67以及旁通用切換閥73在本實施方式中被手動操作。在控制裝置H上通過通信線路能夠通信地連接有可編程邏輯控制器P和IO擴展模塊A。在可編程邏輯控制器P上連接有6區域量的質量流控制器40。在本實施方式中，由于12臺質量流控制器40屬于一個區域CH，所以合計有72臺質量流控制器40與可編程邏輯控制器P相連。IO擴展模塊A是分別與多個區域CH相對應地設置的，設有與區域CH的數量相同的6臺。在IO擴展模塊A上連接有屬于對應的區域CH的重載傳感器ΙΟζ，壓力檢測傳感器68，以及多支管74。重載傳感器IOz如上所述相對于各收納部IOS設有兩個，相對于一個區域CH設有24個。這24個重載傳感器IOz與IO擴展模塊A相連。而且，壓力檢測傳感器68以及多支管74是與多個區域CH的每一個相對應地設置的，一個壓力檢測傳感器68和一個多支管74與IO擴展模塊A相連。另外，多支管74構成為能夠對屬于對應的區域CH的一個區域用閥66和12個收納部用閥69進行切換。并且可編程邏輯控制器P構成為基于來自控制裝置H的供給信息而經由IO擴展模塊A向多支管74發送指令信息。多支管74基于指令信息而動作，相對于氮氣的供給對象的收納部IOS供給氮氣。S卩，控制裝置H經由IO擴展模塊A執行控制多支管74的動作以及控制收納部用閥69的切換的流量調整工序。而且，可編程邏輯控制器P構成為基于來自控制裝置H的供給信息向質量流控制器40發送指令信息。質量流控制器40使流量調整用閥70動作，調整從排放噴嘴IOi排放的氮氣的流量而使其成為與指令信息相對應的流量。在因流量調整用閥70發生異常等流量檢測傳感器71檢測的流量達不到與指令信息相對應的流量的狀態持續了設定時間的情況下，質量流控制器40向可編程邏輯控制器P輸出流通異常信號。該流通異常信號從可編程邏輯控制器P向控制裝置H發送。另外，質量流控制器40相當于檢測流量調整用閥70 (質量流控制器40)的異常的流通異常檢測裝置，也相當于檢測氮氣相對于多個收納部IOS的每一個的供給狀態的收納部用供給狀態檢測裝置S2，以及檢測氮氣相對于多個收納部IOS的供給狀態的供給狀態檢測裝置S。IO擴展模塊A構成為相對于來自可編程邏輯控制器P的指令信息輸出應答信號。在從IO擴展模塊A沒有相對于指令信息的應答信號的情況下，可編程邏輯控制器P向控制裝置H發送IO異常信號。另外，可編程邏輯控制器P相當于檢測IO擴展模塊A的異常的中轉異常檢測裝置，也相當于檢測氮氣相對于多個區域CH的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置SI，以及檢測氮氣相對于多個收納部IOS的供給狀態的供給狀態檢測裝置S。多支管74構成為相對于來自可編程邏輯控制器P的指令信息輸出應答信號。在從多支管74沒有相對于指令信息的應答信號的情況下，可編程邏輯控制器P向控制裝置H發送流量異常信號。另外，流量調整裝置由多支管74和收納部用閥69構成，IO擴展模塊A相當于中轉控制裝置H與屬于區域CH的多個流量調整裝置的通信的中轉裝置。壓力檢測傳感器68構成為向可編程邏輯控制器P輸出檢測信息。在壓力檢測傳感器68檢測出的壓力相對于與指令信息相對應的壓力偏離設定壓力以上的情況下、即相對于被壓力調整用閥67調整后的壓力，由壓力檢測傳感器68檢測出異常的壓力的情況下，可編程邏輯控制器P相對于控制裝置H發送壓力異常信號。另外，壓力檢測傳感器68相當于檢測氮氣相對于多個區域CH的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置SI，以及檢測氮氣相對于多個收納部IOS的供給狀態的供給狀態檢測裝置S。控制裝置H基于供給狀態檢測裝置S的檢測信息執行收納部管理工序。在收納部管理工序中，進行判定是否恰當地供給了氮氣的判定的供給狀態判定，區別出判定為未恰當地供給氮氣的收納部IOS的禁止收納部，和除此之外的收納部IOS的許可收納部，對多個收納部進行管理。即，控制裝置H區別出恰當地供給了氮氣的許可收納部和未恰當地供給氮氣的禁止收納部，對多個收納部IOS進行管理。并且在容器50收納在因氮氣的供給狀態的變化而從許可收納部切換成禁止收納部的收納部IOS中的情況下，控制裝置H執行退避用運送處理工序。在退避用運送處理工序中，執行將收納在因氮氣供給狀態的變化而從許可收納部切換成禁止收納部的收納部IOS中的容器50向被作為許可收納部進行管理的收納部IOS運送的退避用運送處理。對控制裝置H進行的多個收納部IOS的管理加以說明。另外，圖9表示氮氣恰當地向屬于區域CH的所有收納部IOS供給的區域CH，圖10表示氮氣未恰當地向屬于區域CH的所有收納部IOS供給的區域CH，圖11例示了氮氣未恰當地向屬于區域CH的一部分的收納部IOS供給的區域CH。在圖10以及圖11中，在發生了故障的儀器(圖10中為壓力調整用閥67)以及被作為禁止收納部進行管理的收納部IOS上標注了剖面線。在相對于被壓力調整用閥67調整后的壓力，由壓力檢測傳感器68檢測出異常的壓力，從可編程邏輯控制器P發送了壓力異常信號的情況下，控制裝置H將屬于與該檢測出異常的壓力的區域用供給部分62相對應的區域CH的收納部IOS全部作為禁止收納進行管理(參照圖10)。即，作為供給狀態判定，控制裝置H進行基于壓力檢測傳感器68的檢測信息，相對于被壓力調整用閥67調整后的壓力，是否由壓力檢測傳感器68檢測出異常的壓力的判定。控制裝置H將從可編程邏輯控制器P發送了壓力異常信號為條件，判定為由壓力檢測傳感器68檢測出異常的壓力，將與該壓力檢測傳感器68相對應的區域CH判定為未恰當地供給氮氣的區域CH。控制裝置H將屬于判定為未恰當地供給氮氣的該區域CH (以下稱為“對象區域”)的收納部IOS全部判定為未恰當地供給氮氣的收納部10S，作為禁止收納部進行管理。在檢測出IO擴展模塊A的異常，從可編程邏輯控制器P發送了 IO異常信號的情況下，控制裝置H將屬于與該IO擴展模塊A相對應的區域的收納部IOS全部作為禁止收納部進行管理。即，作為供給狀態判定，控制裝置H進行基于可編程邏輯控制器P的檢測信息，是否由可編程邏輯控制器P檢測出IO擴展模塊A的異常的判定。控制裝置H以從可編程邏輯控制器P發送了 IO異常信號為條件，判定檢測出IO擴展模塊A異常，將與該IO擴展模塊A相對應的區域CH判定為對象區域。控制裝置H將屬于該對象區域的收納部IOS全部判定為未恰當地供給氮氣的收納部10S，作為禁止收納部進行管理。控制裝置H構成為，在檢測出多支管74的異常，從可編程邏輯控制器P發送了流量異常信號的情況下，將屬于與該多支管74相對應的區域CH的收納部IOS全部作為禁止收納部進行管理。即，作為供給狀態判定，控制裝置H進行基于可編程邏輯控制器P的檢測信息，是否由可編程邏輯控制器P檢測出多支管74的異常的判定。控制裝置H以從可編程邏輯控制器P發送了流量異常信號為條件，判定為檢測出多支管74的異常，將與該多支管74相對應的區域CH判定為對象區域。控制裝置H將屬于該對象區域的收納部IOS全部判定為未恰當地供給氮氣的收納部10S，作為禁止收納部進行管理。控制裝置H構成為，在檢測出質量流控制器40的異常，從可編程邏輯控制器P發送了流通異常信號的情況下，將經由該質量流控制器40被供給氮氣的收納部IOS作為禁止收納部進行管理(參照圖11)。即，作為供給狀態判定，控制裝置H進行基于質量流控制器40的檢測信息，是否由質量流控制器40檢測出流量調整用閥70的異常的判定。控制裝置H以從可編程邏輯控制器P發送了流通異常信號為條件，判定為檢測出流量調整用閥70(質量流控制器40)的異常。控制裝置H將經由該質量流控制器10被供給氮氣的收納部IOS判定為未恰當地供給氮氣的收納部10S，作為禁止收納部進行管理。這樣，控制裝置H構成為，將屬于基于區域用供給狀態檢測裝置SI的檢測信息判定為未恰當地供給氮氣的區域CH (對象區域)的收納部IOS全部作為禁止收納部進行管理，同時將基于收納部用供給狀態檢測裝置S2的檢測信息判定為未恰當地供給氮氣的收納部IOS作為禁止收納部進行管理。并且控制裝置H構成為將未被作為禁止收納部進行管理的收納部IOS作為許可收納部進行管理。接著，對由控制裝置H執行的退避用運送處理進行說明。如圖14所示，控制裝置H構成為，當由供給狀態檢測裝置S檢測出惰性氣體相對于多個收納部IOS的某一個的供給狀態變化時(步驟# 01 是”)，基于該變化對收納部IOS的管理狀態進行切換(步驟# 02:)。即，控制裝置H構成為，當針對作為許可收納部進行管理的收納部IOS發送了壓力異常信號、流通異常信號、流量異常信號以及IO異常信號中的某一種異常信號時，將該收納部IOS的管理狀態切換成禁止收納部，當針對作為禁止收納部進行管理的收納部IOS也發送了某一種異常信號時，將該收納部IOS的管理狀態切換成許可收納部。并且在基于在庫狀態，容器50收納在因氮氣的供給狀態的變化而管理狀態從許可收納部切換成禁止收納部的收納部IOS中的情況下，控制裝置H執行退避用運送處理，將該容器50向被作為許可收納部進行管理的收納部IOS運送(步驟# 03)。另外，針對被作為禁止收納部進行管理的收納部10S，在執行入庫運送處理時不選擇為運入對象的收納部10S，不將容器50收納在被作為禁止收納部進行管理的收納部IOS中。具體地說，例如圖9所示，在屬于區域CH的收納部IOS全部被作為許可收納部進行管理的情況下、因壓力調整用閥67產生故障而由壓力檢測傳感器68檢測出異常的壓力、向控制裝置H發送了壓力異常信號的情況如圖10所示，成為屬于該區域CH的收納部IOS全部被作為禁止收納部進行管理的狀態。在這種情況下，收納在屬于該區域CH的收納部IOS中的容器50全部向在其它的區域CH中被作為容許收納部進行管理的收納部IOS運送。這樣，由于通過執行退避用運送處理，將容器50向被作為許可收納部進行管理的收納部IOS運送，惰性氣體恰當地向該收納部IOS供給，所以能夠向容器50內供給惰性氣體。因此，即使在惰性氣體不再能夠恰當地相對于收納部IOS供給的情況下，也能夠將收納在該收納部IOS中的容器50內的基板W上產生不良情況的事態防患于未然。并且在本實施方式中，通過退避用運送處理，在將收納在屬于區域CH的收納部IOS中的容器50全部向其它的區域CH運送之際，存在由收納部用供給狀態檢測裝置S2檢測出未恰當地供給氮氣的收納部10S、和由收納部用供給狀態檢測裝置S2檢測出恰當地供給了氮氣的收納部IOS的情況下，優先將收納在前者的收納部IOS中的容器50向被作為許可收納部進行管理的收納部IOS運送。在此，前者的收納部IOS是通過基于收納部用供給狀態檢測裝置S2的檢測信息的供給狀態判定而判定為未恰當地供給氮氣的收納部10S，后者的收納部IOS是除此之外的收納部10S。控制裝置H構成為控制監視器75的動作，使表示多個收納部IOS的管理狀態或產生了異常的儀器的信息顯示在監視器75上。如上所述，在本實施方式中，使成組的兩個收納部用供給部分63彼此連通地設有旁通部分72，在監視器75上顯示退避用運送處理結束后旁通用切換閥73的操作順序等引導顯示。作業者能夠根據監視器75的顯示內容和氮氣供給路徑60的狀態以及設在其中途的儀器的狀態進行判斷而手動操作旁通用切換閥73。如圖12以及圖13所示，設有作為切換狀態檢測裝置的切換狀態檢測傳感器90，檢測旁通用切換閥73的切換狀態。并且控制裝置H構成為基于切換狀態檢測傳感器90的檢測信息，以設在與對象區域的收納部用供給部分63連通的旁通部分72的旁通用切換閥73處于關閉狀態為條件，將屬于該對象區域的收納部IOS作為禁止收納部進行管理。在此，對象區域如上所述是通過區域用供給狀態檢測裝置SI的檢測信息的供給狀態判定而判定為未恰當地供給氮氣的區域CH。即，控制裝置H構成為基于區域用供給狀態檢測裝置SI的檢測信息和切換狀態檢測傳感器90的檢測信息將屬于特定的區域CH的收納部IOS作為禁止收納部進行管理。在此，特定的區域CH是未恰當地供給氮氣的區域CH，并且是與該區域CH的收納部用供給部分63連通的旁通部分72處于氮氣不能夠流通的狀態的區域CH。S卩，例如圖12所示，在由于與上側的區域CH相對應的壓力調整用閥67產生故障而向控制裝置H發送了壓力異常信號的情況下，屬于該區域CH的收納部IOS全部被作為禁止收納部進行管理。若在這種狀態下將設在與上側的區域CH相連的旁通部分72的旁通用切換閥73切換操作成打開狀態，則能夠如圖13所示，從由旁通部分72連接的下側的區域CH相對于上側的區域CH供給氮氣。通過旁通用切換閥73被操作而打開，上側的區域CH不再是上述特定的區域CH，屬于上側的區域CH的收納部IOS的管理狀態從禁止收納部切換成許可收納部。因此，能夠在容器運入處理中選作收納對象的收納部IOS而收納容器50，并且在其它的收納部IOS的管理狀態被切換成禁止收納部的情況下，也能夠接受收納在該收納部IOS中的容器50。另外，控制裝置H也可以構成為在基于區域用供給狀態檢測裝置SI的檢測信息和切換狀態檢測傳感器90的檢測信息而旁通用切換閥73被操作打開的情況下控制區域用閥66的動作，將屬于未恰當地供給氮氣的區域CH(對象區域)的區域用閥66切換成關閉狀態。這樣，在將旁通用切換閥73切換成關閉狀態的狀態下，能夠以區域CH的單位分別調整向收納部IOS供給的氮氣的流量。通過這樣構成，并且在因氮氣供給路徑60的破損或儀器等的故障而發生了向收納部IOS供給的惰性氣體比適當供給量減少的事態，或者惰性氣體完全不向收納部IOS供給的事態的情況下，通過將旁通用切換閥73切換成打開狀態，能夠使惰性氣體從恰當地供給了氮氣的區域CH的收納部用供給部分63向未恰當地供給氮氣的區域CH的收納部用供給部分63流動。[其它實施方式]
(I)在上述實施方式中，將旁通部分72設成使設在上下方向上鄰接的區域CH的收納部用供給部分63彼此連通，但也可以將旁通部分72設成使在左右方向上鄰接的區域CH的收納部用供給部分63彼此連通。而且，還可以將旁通部分72設成使在上下方向或左右方向上分離(其間夾有其它的區域CH)的區域CH的收納部用供給部分63彼此連通。(2)在上述實施方式中，將旁通部分72設成將多個收納部用供給部分63中的兩個作為一組，使成組的兩個收納部用供給部分63彼此連通，但也可以將旁通部分72設成將多個收納部用供給部分63中的三個以上或者全部作為一組，使成組的三個以上或者全部的收納部用供給部分63彼此連通。(3)在上述實施方式中，作為檢測旁通用切換閥73的切換狀態的切換狀態檢測裝置設有切換狀態檢測傳感器90，控制裝置H構成為基于切換狀態檢測裝置的檢測信息判別旁通部分72是能夠流通惰性氣體的狀態還是不能夠流通惰性氣體的狀態。作為這種切換狀態檢測裝置，也可以取代傳感器(例如開閉傳感器等)而使用間接地檢測旁通用切換閥73的開閉狀態的裝置。例如，作為切換狀態檢測裝置設置在操作旁通用切換閥73時作業者進行輸入操作的裝置，該輸入裝置可以是基于作業者的輸入操作檢測旁通用切換閥73的開閉狀態，其檢測信息向控制裝置H發送的結構。即，在這種結構中，控制裝置H基于來自該輸入裝置的輸入信息判別旁通部分72是能夠流通惰性氣體的狀態還是不能夠流通惰性氣體的狀態。(4)在上述實施方式中，例示了基板W為半導體晶片，運送容器50為FOUP的結構，但并不僅限于這種結構，例如也可以是基板W為標線片，運送容器50為標線片容器。而且，惰性氣體為氮氣，但也可以使用氮氣以外的氬氣等相對于所收容的基板W的反應性低的各種氣體作為惰性氣體。
權利要求
1.一種物品保管設備，具備:收納收容基板的運送容器的多個收納部，相對于上述多個收納部運送上述運送容器的運送裝置，向上述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑，將由上述惰性氣體供給路徑供給到上述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的上述運送容器的內部排放的排放部， 在此，上述多個收納部被區分成多個區域， 上述惰性氣體供給路徑具備:將惰性氣體向上述多個區域的每一個供給的區域用供給部分，和將由上述區域用供給部分供給到上述區域的惰性氣體向該區域中的上述多個收納部的每一個分支供給的收納部用供給部分， 上述物品保管設備的特征在于， 設有使多個上述收納部用供給部分中的兩個以上的上述收納部用供給部分彼此連通的旁通部分，和能夠切換成上述旁通部分的惰性氣體能夠流通的打開狀態或上述旁通部分的惰性氣體不能夠流通的關閉狀態的旁通用切換閥。
2.如權利要求1所述的物品保管設備，其特征在于， 上述旁通部分設成將上述多個收納部用供給部分中的兩個作為一組，使成組的兩個上述收納部用供給部分彼此連通。
3.如權利要求1或2所述的物品保管設備，其特征在于， 設有沿上下方向以及左右方向排列地設有上述收納部的保管架， 上述旁通部分設成使在上下方向或者左右方向上鄰接的上述區域的上述收納部用供給部分彼此連通。
4.如權利要求1或2所述的物品保管設備，其特征在于， 設有:檢測惰性氣體相對于上述多個區域的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置，檢測上述旁通用切換閥的切換狀態的切換狀態檢測裝置，以及基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息進行是否恰當地供給了惰性氣體的判定的供給狀態判定的控制裝置，將通過上述供給狀態判定而判定為未恰當地供給惰性氣體的上述區域作為對象區域，上述控制裝置構成為，基于上述切換狀態檢測裝置的檢測信息，以設在與上述對象區域的上述收納部用供給部分連通的上述旁通部分的上述旁通用切換閥處于上述關閉狀態為條件，將屬于該對象區域的上述收納部作為禁止運送容器的收納的禁止收納部進行管理。
5.如權利要求4所述的物品保管設備，其特征在于， 上述控制裝置構成為，基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息執行退避用運送處理，將收納在因惰性氣體的供給狀態的變化而切換成上述禁止收納部的上述收納部中的上述運送容器向未被作為上述禁止收納部進行管理的上述收納部運送。
6.一種利用物品保管設備的物品保管方法， 上述物品保管設備具備:收納收容基板的運送容器的多個收納部，相對于上述多個收納部運送上述運送容器的運送裝置，向上述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑，以及將由上述惰性氣體供給路徑供給到上述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的上述運送容器的內部排放的排放部， 上述多個收納部被區分成多個區域，上述惰性氣體供給路徑具備:將惰性氣體向上述多個區域的每一個供給的區域用供給部分，和將由上述區域用供給部分供給到上述區域的惰性氣體向該區域中的上述多個收納部的每一個分支供給的收納部用供給部分， 在上述物品保管設備上設有:使多個上述收納部用供給部分中的兩個以上的上述收納部用供給部分彼此連通的旁通部分，能夠切換成上述旁通部分的惰性氣體能夠流通的打開狀態或上述旁通部分的惰性氣體不能夠流通的關閉狀態的旁通用切換閥，檢測惰性氣體相對于上述多個區域的每一個的供給狀態的區域用供給狀態檢測裝置，檢測上述旁通用切換閥的切換狀態的切換狀態檢測裝置，以及基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息進行是否恰當地供供給了惰性氣體的判定的供給狀態判定的控制裝置， 上述物品保管方法包括由上述控制裝置執行的以下的工序: 將通過上述供給狀態判定而判定為未恰當地供給惰性氣體的上述區域作為對象區域，收納部管理工序，基于上述切換狀態檢測裝置的檢測信息，以設在與上述對象區域的上述收納部用供給部分連通的上述旁通部分的上述旁通用切換閥處于上述關閉狀態為條件，將屬于該對象區域的上述收納部作為禁止運送容器的收納的禁止收納部進行管理。
7.如權利要求6所述的物品保管方法，其特征在于，作為由上述控制裝置執行的工序，還包括退避用運送處理工序，基于上述區域用供給狀態檢測裝置的檢測信息，將收納在因惰性氣體的供給狀態的變化而切換成上述禁止收納部的上述收納部中的上述運送容器向不被作為上述禁止收納部進行管理的上述收納部運送。
全文摘要
本發明的物品保管設備具備收納基板的運送容器的多個收納部，和向多個收納部供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑。多個收納部被區分成多個區域。惰性氣體供給路徑具備向區域供給惰性氣體的區域用供給部分，和將由區域用供給部分供給到區域的惰性氣體向該區域中的多個收納部分支供給的收納部用供給部分。在物品保管設備上設有使兩個以上的收納部用供給部分彼此連通的旁通部分，和能夠切換成旁通部分的惰性氣體能夠流通的打開狀態或旁通部分的惰性氣體不能夠流通的關閉狀態的旁通用切換閥。
文檔編號B65G1/137GK103171854SQ20121056396
公開日2013年6月26日 申請日期2012年12月24日 優先權日2011年12月26日
發明者大塚洋, 高原正裕, 上田俊人 申請人:株式會社大福