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一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法

文檔序號:5138539閱讀:485來源:國知局
一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法
【專利摘要】一種硅片線切割用水基切削液,由下列重量份的原料制成:環烷酸鈉2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200;本發明切削液的表面張力低,極大提高切削液對磨料的潤濕性,提高了磨料的分散性,避免磨料團聚結成塊對硅片帶來損壞;冷卻和潤滑性能好,加工精度高,有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率達到98%,而且切割線使用壽命長;對硅片無腐蝕且可在硅片表面形成保護膜,使硅片更容易被清洗。
【專利說明】一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及切削液領域,尤其涉及一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法。
【背景技術】
[0002]切削液應具備良好的冷卻性能、潤滑性能、防銹性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀釋特點。目前切削液可分為兩類,油溶性切削液和水溶性切削液。一般油溶性切削液潤滑性能好,但冷卻性能差,且含有大量有機物,污染環境。一些水溶性切削液雖然冷卻性能好,又存在潤滑性和防銹效果差的問題,因此研發兼具潤滑性、冷卻性、防銹性、易清洗、無毒、無味、對人體無侵蝕、對設備不腐蝕、對環境不污染的切削液就顯得很重要。

【發明內容】

[0003]本發明的目的在于提供一種硅片線切割用水基切削液及其制備方法,該切削液潤滑性好,表面張力低、提高硅片成品率。
[0004]本發明的技術方案如下:
[0005]一種硅片線切割用水基切削液,其特征在于由下列重量份的原料制成:環烷酸鈉
2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、納米氮化鋁0.1-0.2、碳酸氫銨2-3、乙醇胺1-2、羧甲基殼聚糖2-3、二乙二醇 丁醚1-2、丙二醇5-8、桃膠2-3、硅酸鈉1_2、尿素3_4、過硫酸銨1-2、水20-24 ;制備方法是將過硫酸銨溶于水后,再加入其它剩余物料,攪拌10-15分鐘,加熱至70-80°C,攪拌反應1-2小時,即得。
[0006]所述硅片線切割用水基切削液的制備方法,其特征在于包括以下步驟:將水、環烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合,加熱至40-50°C ;加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑,在1000-1200轉/分攪拌下繼續加熱到70-80°C,攪拌10-15分鐘;加入其他剩余成分,繼續攪拌15-20分鐘,即得。
[0007]本發明的有益效果
[0008]本發明切削液的表面張力低,極大提高切削液對磨料的潤濕性,提高了磨料的分散性,避免磨料團聚結成塊對硅片帶來損壞;冷卻和潤滑性能好,加工精度高,有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率達到98%,而且切割線使用壽命長;對硅片無腐蝕且可在硅片表面形成保護膜,使硅片更容易被清洗。
【具體實施方式】
[0009]一種硅片線切割用水基切削液,由下列重量份(公斤)的原料制成:環烷酸鈉2.5、壬基酚聚氧乙烯醚2.5、油酸二乙醇胺1.5、脂肪酸甘油酯4.5、月桂醇硫酸鈉1.5、礦物油16、石油磺酸鈉2.5、油酸1.5、助劑7、水200 ;所述的助劑由下列重量份(公斤)的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯3、納米氮化鋁0.1、碳酸氫銨3、乙醇胺1、羧甲基殼聚糖2、二乙二醇丁醚1、丙二醇8、桃膠3、硅酸鈉1、尿素4、過硫酸銨2、水20 ;制備方法是將過硫酸銨溶于水后,再加入其它剩余物料,攪拌10-15分鐘,加熱至70-80°C,攪拌反應1-2小時,即得。
[0010]所述硅片線切割用水基切削液的制備方法,包括以下步驟:將水、環烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合,加熱至45°C ;加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑,在1100轉/分攪拌下繼續加熱到75°C,攪拌13分鐘;加入其他剩余成分,繼續攪拌18分鐘,即得。
[0011]該實施例得到的硅片線切割用水基切削液試驗數據如下:
[0012]
【權利要求】
1.一種硅片線切割用水基切削液,其特征在于由下列重量份的原料制成:環烷酸鈉2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸鈉1-2、礦物油15-18、石油磺酸鈉2-3、油酸1-2、助劑6-8、水200 ;所述的助劑由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯2-3、納米氮化鋁0.1-0.2、碳酸氫銨2-3、乙醇胺1-2、羧甲基殼聚糖2-3、二乙二醇丁醚1-2、丙二醇5-8、桃膠2-3、硅酸鈉1_2、尿素3_4、過硫酸銨1-2、水20-24 ;制備方法是將過硫酸銨溶于水后,再加入其它剩余物料,攪拌10-15分鐘,加熱至70-80°C,攪拌反應1-2小時,即得。
2.根據權利要求1所述硅片線切割用水基切削液的制備方法,其特征在于包括以下步驟:將水、環烷酸鈉、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸鈉、石油磺酸鈉混合,加熱至40-50°C ;加入脂肪酸甘油酯、礦物油、油酸、助劑,在1000-1200轉/分攪拌下繼續加熱到70-80°C,攪拌10-15分鐘; 加入其他剩余成分,繼續攪拌15-20分鐘,即得。
【文檔編號】C10N30/06GK103725390SQ201310653501
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年12月6日 優先權日:2013年12月6日
【發明者】張萬寶 申請人:當涂縣金龍機械廠
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