曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法
【專利摘要】曲率可變反射鏡具有以曲率可變的方式構成并且在反射鏡反射面側對激光進行反射的反射鏡母材(2X)，反射鏡母材(2X)使用彈簧材料銅合金而形成，彈簧材料銅合金使用磷青銅、洋白銅、鉻銅、鋯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有Ni(鎳)、Sn(錫)、Si(硅)、Mg(鎂)、Zn(鋅)、Mn(錳)、Pb(鉛)、Fe(鐵)以及Al(鋁)中的至少1種而成的合金中的任意一種而構成。
【專利說明】曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種對激光進行反射的曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法。
【背景技術】
[0002]激光加工機是將從激光振蕩器射出的激光在曲率可變反射鏡、激光反射用反射鏡等上反射，而向被加工物照射的裝置。目前，對于構成曲率可變反射鏡等的反射鏡母材，由于熱傳導性良好而使用無氧銅。這種反射鏡母材如果產生變形，則無法得到所希望的光束直徑，因此，需要防止變形的產生的反射鏡母材。
[0003]例如，在專利文獻I中記載的形狀可變反射鏡，將形狀可變反射鏡和支撐體連結的支撐彈簧的材料使用磷青銅等金屬材料，由此，防止彈性部件的異常變形的產生。
[0004]專利文獻1:日本特開2003 - 262803號公報
【發明內容】
[0005]但是，上述現有的技術，只是支撐彈簧的材料使用磷青銅，因此，曲率可變反射鏡的針對反射鏡塑性變形的壽命較短。因此，如果通過反復的屈曲而向曲率可變反射鏡作用反復的應力，則存在會在曲率可變反射鏡的反射鏡母材上產生永久變形而在短期內必須更換反射鏡母材的問題。
[0006]本發明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于得到一種針對反射鏡塑性變形具有高壽命的曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法。
[0007]為了解決上述的課題，并實現目的，本發明的特征在于，具有以曲率可變的方式構成并且在反射鏡反射面側對激光進行反射的反射鏡母材，所述反射鏡母材使用彈簧材料銅合金形成，所述彈簧材料銅合金是磷青銅、洋白銅、鉻銅、鋯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有N1、Sn、S1、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe、Al中的至少I種而成的合金中的任意一種。
[0008]發明的效果
[0009]本發明所涉及的曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡具有下述效果，即，針對反射鏡的塑性變形具有高壽命。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1是表示實施方式I所涉及的激光加工機的大致結構的圖。
[0011]圖2是表示實施方式I所涉及的具有曲率可變反射鏡的曲率可變單元的圖。
[0012]圖3是表示實施方式I所涉及的曲率可變反射鏡的結構的圖。
[0013]圖4-1是用于說明曲率可變反射鏡的曲率變化和焦點位置的變化的關系的圖⑴。
[0014]圖4-2是用于說明曲率可變反射鏡的曲率變化和焦點位置的變化的關系的圖⑵。
[0015]圖5是表示曲率可變反射鏡的其它結構例的圖。
[0016]圖6是表示實施方式2所涉及的具有曲率可變反射鏡的曲率可變單元的圖。
【具體實施方式】
[0017]下面，基于附圖，對本發明的實施方式所涉及的曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法進行詳細說明。此外，本發明不限定于這些實施方式。
[0018]實施方式I
[0019]圖1是表示實施方式I所涉及的激光加工機的大致結構的圖。激光加工機100包含激光振蕩器(激光輸出部)31、PR (Partial Reflect1n)反射鏡32、轉向反射鏡2A、2B、曲率可變反射鏡2X、加工透鏡37而構成。此外，在圖1中，省略了后述的曲率可變單元10的結構。
[0020]激光振蕩器31是使CO2激光等激光(光束)振蕩的裝置，當進行激光加工時，一邊使激光輸出進行各種變化一邊將激光射出。PR反射鏡(部分反射鏡)32使激光振蕩器31射出的激光發生部分反射，而向轉向反射鏡2A引導。
[0021]轉向反射鏡(光束角度變化用反射鏡)2A、2B是光束角度變化用的反射鏡。轉向反射鏡2A使從PR反射鏡32發送來的激光的光束角度改變而向轉向反射鏡2B引導。轉向反射鏡2B使從轉向反射鏡2A發送來的激光的光束角度偏轉，而向曲率可變反射鏡2X發送。
[0022]曲率可變反射鏡2X是構成為使反射鏡的曲率可變，并且在反射鏡反射面側對激光進行反射的反射鏡。曲率可變反射鏡2X使從轉向反射鏡2B發送來的激光的光束角度、光束直徑等改變，而向加工透鏡37發送。曲率可變反射鏡2X通過使反射鏡的曲率變化，而使光束直徑、焦點深度等發生變化。本實施方式的曲率可變反射鏡2X，其反射鏡母材使用彈簧材料銅合金而形成。
[0023]加工透鏡37將從曲率可變反射鏡2X發送來的激光聚光為較小的光斑直徑，而向被加工物30照射。被加工物30載置在未圖示的加工臺上，在該加工臺上進行激光加工。
[0024]此外，激光加工機100可以是對板金等板狀部件進行切斷的激光加工機，也可以是在印刷基板等上進行開孔加工的激光加工機。另外，激光加工機100可以進行2維的激光加工，也可以進行3維的激光加工。
[0025]圖2是表示實施方式I所涉及的具有曲率可變反射鏡的曲率可變單元的圖。在圖2中，表示了曲率可變單元10的剖面圖。曲率可變單元10是使曲率可變反射鏡2X的曲率變化的單元，該曲率可變反射鏡2X使用大致圓板狀的部件而形成。
[0026]曲率可變單元10具有傳感器3、內側反射鏡支撐體4、外側反射鏡支撐體5、致動器6、流體流入口 7、流體送出口 8、上游側流體配管15、下游側流體配管9A。內側反射鏡支撐體4、外側反射鏡支撐體5分別使用有底圓筒狀部件而構成。其中，流體流入口 7、流體送出口 8、上游側流體配管15、下游側流體配管9A作為向曲率可變反射鏡2X噴射流體的流體噴射機構起作用。
[0027]內側反射鏡支撐體4具有支撐部21，該支撐部21位于構成有底圓筒狀部件的側壁面的上表面部側。支撐部21在曲率可變反射鏡2X的底面部中的外周部處與曲率可變反射鏡2X接觸。
[0028]另外，外側反射鏡支撐體5的內壁面構成為比內側反射鏡支撐體4的外壁面大。外側反射鏡支撐體5以將內側反射鏡支撐體4包圍的方式配置在內側反射鏡支撐體4的外偵U。外側反射鏡支撐體5具有板狀的環狀部件，該環狀部件以與側壁面垂直的方式，與有底圓筒狀部件的上表面部側接合。而且，在環狀部件的底面側設置有按壓部22。按壓部22在曲率可變反射鏡2X的上表面部中的外周部處與曲率可變反射鏡2X接觸。支撐部21、按壓部22構成為，使支撐部21在與按壓部22相比的曲率可變反射鏡2X的外周側與曲率可變反射鏡2X接觸。
[0029]通過這種結構，曲率可變反射鏡2X被內側反射鏡支撐體4和外側反射鏡支撐體5夾持。具體地說，曲率可變反射鏡2X的底面側的外周部與內側反射鏡支撐體4的支撐部21抵接，上表面側的外周部與外側反射鏡支撐體5的按壓部22抵接。
[0030]致動器6使內側反射鏡支撐體4在與曲率可變反射鏡2X的主表面的垂直的方向上移動。當使曲率可變反射鏡2X的曲率變化時，致動器6使內側反射鏡支撐體4向曲率可變反射鏡2X側移動。由此，曲率可變反射鏡2X的底面被支撐部21推起，并且曲率可變反射鏡2X的上表面被按壓部22壓住。其結果，曲率可變反射鏡2X變形為凹狀(碗狀)，曲率發生變化。此外，在曲率可變單元10中，也可以使曲率可變反射鏡2X變形為凸狀。
[0031]傳感器3配置在曲率可變反射鏡2X的底面部側，檢測曲率可變反射鏡2X的曲率。在曲率可變單元10中，在底面部側設置有流體流入口 7。流體流入口 7使向曲率可變反射鏡2X的底面部側噴射的冷卻用空氣等氣體向曲率可變單元10內流入。
[0032]上游側流體配管15是使從流體流入口 7流入的氣體向下游側流體配管9A側流動的例如I根配管。在曲率可變單元10中，配置I根至多根下游側流體配管9A，各下游側流體配管9A與上游側流體配管15連接。下游側流體配管9A是將從上游側流體配管15吹送來的氣體向流體送出口 8側吹送的配管。
[0033]上游側流體配管15以及下游側流體配管9A貫穿內側反射鏡支撐體4的底面以及外側反射鏡支撐體5的底面，并延伸至曲率可變反射鏡2X的底側。上游側流體配管15以及下游側流體配管9A在相對于曲率可變反射鏡2X的主表面大致垂直的方向上延伸設置。此外，上游側流體配管15以及下游側流體配管9A的形狀、路徑、配置位置可以是任何形狀、任何路徑、任何配置位置。
[0034]流體送出口 8將從下游側流體配管9A吹送來的氣體向曲率可變反射鏡2X的底面噴出。本實施方式的下游側流體配管9A、流體送出口 8配置在能夠向曲率可變反射鏡2X的外周部附近噴出氣體的位置處(曲率可變反射鏡2X的外周部附近)。換言之，下游側流體配管9A、流體送出口 8配置為，不將氣體向曲率可變反射鏡2X的中心部區域吹送，而是將氣體向曲率可變反射鏡2X的外周部區域吹送。
[0035]從流體流入口 7流入的氣體，從流體流入口 7向上游側流體配管15吹送，經由上游側流體配管15以及下游側流體配管9A，從流體送出口 8送出。由此，從流體送出口 8送出的氣體向曲率可變反射鏡2X的底面部側中的外周部附近噴射。向曲率可變反射鏡2X的底面部噴射的氣體從設置在曲率可變單元10的側面部側的排出口 12排出。此外，排出口12也可以設置在曲率可變單元10的底面部側。
[0036]圖3是表示實施方式I所涉及的曲率可變反射鏡的結構的圖。在圖3中，表示了曲率可變反射鏡2X的斜視圖。曲率可變反射鏡2X使用大致圓板狀的反射鏡母材而構成，在反射鏡反射面側形成有圓形區域的反射膜I。反射膜I的中心與反射鏡母材的反射鏡反射面的中心大致相同。形成反射膜I的區域可以是比反射鏡反射面小的區域，也可以是與反射鏡反射面相同的區域。
[0037]在本實施方式中，作為曲率可變反射鏡2X(反射鏡母材)，通過使用具有0.2%屈服強度，并且應力松弛特性優異的彈簧材料銅合金，實現針對反射鏡塑性變形的高壽命化。彈簧材料銅合金例如是磷青銅、洋白銅、鉻銅、鋯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有 Ni (鎳)、Sn (錫)、Si (硅)、Mg (鎂)、Zn (鋅)、Mn (錳)、Pb (鉛)、Fe (鐵)、Al (鋁)等中的I種?多種而成的合金中的任意一種。
[0038]如上所述，在本實施方式中，對于曲率可變反射鏡2X的反射鏡母材使用磷青銅等彈簧材料銅合金，因此，可以得到針對由重復應力導致的塑性變形的良好耐久性。
[0039]通常，大輸出激光用反射鏡母材優選以抑制溫度上升的方式構成。因此，在本實施方式中，對反射膜I使用電介質多層膜。曲率可變反射鏡2X通過利用電介質多層膜對激光進行增反射，從而抑制由于激光的輸入熱量導致的溫度上升。由此，即使在銅合金的熱傳導率較低的情況下，也能夠抑制曲率可變反射鏡2X的溫度上升。
[0040]另外，在本實施方式中，為了能夠有效地去除反射鏡溫度，從反射鏡反射面的背面側(曲率可變反射鏡2X的底面側)噴出氣體，因此，能夠抑制曲率可變反射鏡2X的溫度上升。
[0041]此外，為了抑制曲率可變反射鏡2X的溫度上升，可以實施設置反射膜I和從反射鏡反射面的背面側噴出氣體這兩個方案，也可以實施其中的任意一個。
[0042]例如，在朝向曲率可變反射鏡2X的中心部噴射氣體的情況下，能夠得到較大的冷卻效果，但曲率可變反射鏡2X的溫度分布不均勻。具體地說，作為反射鏡溫度的分布，以曲率可變反射鏡2X的中心部是中溫、在中心部與外周部之間是高溫、外周部是低溫的方式，形成不均勻的溫度分布。因此，曲率可變反射鏡2X的反射鏡曲面從所希望的曲面偏離，對激光的特性造成影響。
[0043]另一方面，在本實施方式中，從反射鏡反射面的背面側向背面側的外周部附近噴射氣體，因此，能夠在保持由于激光的照射而產生的曲率可變反射鏡2X的溫度分布的狀態下，降低曲率可變反射鏡2X的反射鏡溫度。具體地說，作為反射鏡溫度的分布，以曲率可變反射鏡2X的中心部是高溫、在中心部與外周部之間是中溫、外周部是低溫的方式，形成均勻的溫度分布。
[0044]此外，在向曲率可變反射鏡2X射入的激光的輸出較低的情況下，可以省略反射膜I的形成，而僅對反射鏡反射面蒸鍍金。在這種情況下，對于反射鏡反射面，在反射膜I的位置處形成有金的薄膜。
[0045]另外，曲率可變反射鏡2X可以通過使曲率變化，而使向被加工物30照射的激光的焦點位置變化。在這里，說明曲率可變反射鏡2X的曲率變化和焦點位置的變化的關系。
[0046]圖4-1以及圖4-2是用于說明曲率可變反射鏡的曲率變化和焦點位置的變化的關系的圖。圖4-1表示曲率可變反射鏡2X是凸面的情況，圖4-2表示曲率可變反射鏡2X是凹面的情況。
[0047]如圖4-1所示，經由凸面的曲率可變反射鏡2X而向被加工物30照射的激光，與平行光的激光向被加工物30照射的情況相比，焦點位置變長。另外，如果激光在凸面的曲率可變反射鏡2X上反射,則與反射之前相比，反射之后的激光的光束直徑變大。
[0048]另一方面，如圖4-2所示，經由凹面的曲率可變反射鏡2X而向被加工物30照射的激光，與平行光的激光向被加工物30照射的情況相比，焦點位置變短。另外，如果激光在凹面的曲率可變反射鏡2X上反射，則與反射之前相比，反射之后的激光的光束直徑變小。
[0049]如上所述，能夠通過使曲率可變反射鏡2X的曲率變化，從而與使加工透鏡37的位置變化的情況相同地，使向被加工物30照射的激光的焦點位置變化。另外，能夠通過使曲率可變反射鏡2X的曲率變化，從而與反射之前相比，使反射之后的激光的光束直徑變化。
[0050]曲率可變反射鏡等通常的光學部件，為了使光的特性不變化，對反射鏡反射面要求較高的表面精度。另外，為了通過低載荷使曲率可變反射鏡彎曲而得到所希望的曲率，使曲率可變反射鏡的厚度較薄的方式是有利的。在將磷青銅等彈簧材料銅合金應用于曲率可變反射鏡的情況下，有時由于材料制造時產生的殘留應力和反射鏡厚度較薄，難于得到所希望的表面精度。在這種情況下，成品率和生產率顯著惡化。
[0051]因此，在本實施方式中，當制造曲率可變反射鏡2X時，通過對反射鏡材料進行退火處理，而進行殘留應力的釋放。作為用于確保成品率和生產率的殘留應力釋放程度的判斷基準，能夠通過硬度判斷。在本實施方式中，通過對反射鏡母材料進行退火處理，從而使反射鏡材料軟化至洛氏硬度(B尺度)小于或等于HRB80。而且，將軟化至小于或等于HRB80的反射鏡材料作為反射鏡母材的材料而使用。由此，反射鏡材料的切削變容易，因此，能夠容易地制造曲率可變反射鏡2X。
[0052]如上所述，在本實施方式中，使用磷青銅等彈簧材料銅合金構成曲率可變反射鏡2X。而且，考慮到反射鏡材料的熱傳導率，優選通過在反射鏡反射面上施加電介質多層膜(反射膜I)而進行激光的增反射。另外，根據反射鏡材料的熱傳導率，優選通過向反射鏡反射面的背面側噴射流體而抑制反射鏡溫度上升。
[0053]如上所述，由于曲率可變反射鏡2X的反射鏡母材使用了具有0.2%屈服強度、應力松弛特性優異的彈簧材料銅合金，所以，即使因反復彎曲而向曲率可變反射鏡2X作用重復應力，也不容易在曲率可變反射鏡2X上產生永久變形。另外，在反射鏡反射面上形成有電介質多層膜，該電介質多層膜對于激光具有比金更高的反射率，因此，能夠有效地抑制曲率可變反射鏡2X的溫度上升。
[0054]另外，由于使用支撐部21和按壓部22而使曲率可變反射鏡2X的曲率變化，所以，即使在反射鏡厚度較厚的情況下，也能夠使曲率可變反射鏡2X的曲率變化為所希望的值。因此，作為曲率可變反射鏡2X，即使射入高輸出激光，也能夠抑制熱變形。
[0055]此外，曲率可變反射鏡2X不限定于大致圓板狀，可以是任何形狀。例如，可以由具有多邊形主表面的板狀部件、橢圓板狀部件形成曲率可變反射鏡2X。另外，可以在曲率可變反射鏡2X的底面側或者反射鏡內設置中空區域。
[0056]圖5是表示曲率可變反射鏡的其它結構例的圖。曲率可變反射鏡2Y具有在反射鏡母材的底面側或者反射鏡內設置的中空區域的結構。曲率可變單元10能夠通過向曲率可變反射鏡Ti的中空區域噴出?流入氣體、液體等流體，從而抑制曲率可變反射鏡Ti的溫度上升。另外，曲率可變反射鏡2Y構成為，能夠通過向中空區域流入流體而使反射鏡曲率變化。曲率可變反射鏡Ti利用向中空區域流入的流體的流體壓力的變化，使反射鏡反射面變形為凸面或者凹面而使曲率發生變化。
[0057]此外，用于使曲率可變反射鏡2X的反射鏡曲率可變的曲率可變單元10的結構不限定于通過圖2等所說明的結構。例如，內側反射鏡支撐體4、外側反射鏡支撐體5、支撐部
21、按壓部22的結構、驅動方式的形式可以是任何結構、驅動方式。
[0058]另外，曲率可變反射鏡2X的反射鏡表面的曲率形狀可以是球面、非球面中的任意一個。另外，曲率可變反射鏡2X的應用范圍不限定于激光加工機，可以應用于任何裝置。
[0059]另外，也可以對轉向反射鏡2A、2B應用曲率可變反射鏡2X。另外，也可以不向曲率可變反射鏡2X形成電介質多層膜。另外，可以省略向曲率可變反射鏡2X的氣體噴射的冷卻。另外，對于氣體的噴射方向、氣體向曲率可變反射鏡2X噴射的區域，可以是任何方向、任何區域。
[0060]如上所述，根據實施方式1，由于使曲率可變反射鏡2X的反射鏡母材為磷青銅等彈簧材料銅合金，所以，能夠針對曲率可變反射鏡2X的塑性變形而實現高壽命化。
[0061]另外，由于向反射鏡反射面的背面側的外周部附近噴射氣體，所以，能夠維持反射鏡面內的溫度分布，并且抑制反射鏡溫度的上升。另外，由于通過對反射鏡材料進行退火處理，從而使反射鏡材料軟化至小于或等于HRB80，所以，能夠容易地制造曲率可變反射鏡2X。另外，由于在反射鏡反射面上形成電介質多層膜(反射膜I)，所以能夠進行激光的增反射，其結果，能夠抑制反射鏡溫度的上升。
[0062]實施方式2
[0063]下面，使用圖6說明本發明的實施方式2。在實施方式2中，將曲率可變單元的下游側流體配管傾斜地配置，由此，從傾斜方向向曲率可變反射鏡2X噴射氣體。
[0064]圖6是表示實施方式2所涉及的具有曲率可變反射鏡的曲率可變單元的圖。在圖6中，表示了曲率可變單元11的剖面圖。此外，對圖6的各結構要素中實現與圖2所示的實施方式I的曲率可變單元10相同功能的結構要素標注相同標號，并省略重復說明。
[0065]曲率可變單元11具有傳感器3、內側反射鏡支撐體4、外側反射鏡支撐體5、致動器
6、流體流入口 7、流體送出口 8、上游側流體配管15、下游側流體配管9B。換言之，曲率可變單元11與曲率可變單元10相比，取代下游側流體配管9A而具有下游側流體配管9B。其中，流體流入口 7、流體送出口 8、上游側流體配管15、下游側流體配管9B作為向曲率可變反射鏡2X噴射流體的流體噴射機構而起作用。
[0066]本實施方式的上游側流體配管15，使從流體流入口 7流入的氣體向下游側流體配管9B流動。在曲率可變單元11中配置有I個至多個下游側流體配管9B，各下游側流體配管9B與上游側流體配管15連接。
[0067]下游側流體配管9B、流體送出口 8配置在能夠向曲率可變反射鏡2X的外周部附近噴出氣體的位置。另外，本實施方式的下游側流體配管9B配置為，朝向相對于曲率可變反射鏡2X的主表面(與反射鏡反射面側相反一側的表面即背面)的軸方向發生傾斜的方向。具體地說，下游側流體配管9B在從內側反射鏡支撐體4的軸中心朝向內側反射鏡支撐體4的外周部方向的方向上延伸設置。換言之，下游側流體配管9B以使氣體在從反射鏡背面的內周部側朝向外周部側的方向上流動的方式，使配管的軸方向傾斜。由此，下游側流體配管9B的軸向與曲率可變反射鏡2X的主表面的垂直方向成為非平行狀態。
[0068]從流體流入口 7流入的氣體，從流體流入口 7向上游側流體配管15吹送，經由上游側流體配管15以及下游側流體配管9A從流體送出口 8送出。由此，從流體送出口 8送出的氣體在從曲率可變反射鏡2X的底面部側中的內周部側朝向外周部側的方向上流動，同時向外周部側噴射。換言之，作為流體噴射機構，將流體從傾斜方向向反射鏡母材的主表面噴射，以使得流體在從反射鏡背面的內周部側朝向外周部側的方向上流動。
[0069]如上所述，根據實施方式2，由于將流體從傾斜方向向曲率可變反射鏡2X的主表面噴射，以使得流體在從反射鏡背面的內周部側朝向外周部側的方向上流動，所以，氣體不會向曲率可變反射鏡2X的中心部噴射。由此，能夠在保持由于激光的照射而產生的曲率可變反射鏡2X的溫度分布的狀態下，降低曲率可變反射鏡2X的反射鏡溫度。
[0070]工業實用性
[0071]如上所述，本發明所涉及的曲率可變反射鏡、曲率可變單元以及曲率可變反射鏡的制造方法，適用于激光的照射。
[0072]標號的說明
[0073]I反射膜
[0074]2X、2Y曲率可變反射鏡
[0075]4內側反射鏡支撐體
[0076]5外側反射鏡支撐體
[0077]6致動器
[0078]8流體送出口
[0079]9Α、9Β下游側流體配管
[0080]10、11曲率可變單元
[0081]12 排出口
[0082]100激光加工機
【權利要求】
1.一種曲率可變反射鏡，其特征在于， 具有反射鏡母材，該反射鏡母材以曲率可變的方式構成，并且在反射鏡反射面側對激光進行反射， 所述反射鏡母材使用彈簧材料銅合金而形成， 所述彈簧材料銅合金是磷青銅、洋白銅、鉻銅、鋯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有N1、Sn、S1、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少I種而成的合金中的任意一種。
2.根據權利要求1所述的曲率可變反射鏡，其特征在于， 所述反射鏡母材通過進行退火，從而軟化至洛氏硬度小于或等于HRB80而形成。
3.根據權利要求1或2所述的曲率可變反射鏡，其特征在于， 在所述反射鏡母材的反射鏡反射面側，形成有電介質多層膜。
4.一種曲率可變單元，其特征在于，具有: 曲率可變反射鏡，該曲率可變反射鏡具有反射鏡母材，該反射鏡母材以曲率可變的方式構成，并且在反射鏡反射面側對激光進行反射；以及 流體噴射機構，其從與所述反射鏡反射面側相反一側的表面即反射鏡背面側向所述反射鏡母材噴射流體， 所述反射鏡母材使用彈簧材料銅合金而形成， 所述彈簧材料銅合金是磷青銅、洋白銅、鉻銅、鋯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有N1、Sn、S1、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少I種而成的合金中的任意一種。
5.根據權利要求4所述的曲率可變單元，其特征在于， 所述流體噴射機構向所述反射鏡背面的外周部噴射所述流體。
6.根據權利要求5所述的曲率可變單元，其特征在于， 所述流體噴射機構從傾斜方向向所述反射鏡背面噴射所述流體，以使得所述流體在從所述反射鏡背面的內周部側朝向外周部側的方向上流動。
7.—種曲率可變反射鏡的制造方法，其特征在于， 包含對反射鏡母材的材料進行退火的退火步驟，該反射鏡母材以曲率可變的方式構成，并且使用彈簧材料銅合金而形成，在反射鏡反射面側對激光進行反射，該彈簧材料銅合金是磷青銅、洋白銅、鉻銅、錯銅、鈦銅合金、銅-鎳合金、或者在銅中添加有N1、Sn、S1、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少I種而成的合金中的任意一種， 當進行所述退火時，以將所述反射鏡母材軟化至洛氏硬度小于或等于HRB80的方式進行退火。
【文檔編號】B81B3/00GK104204870SQ201280071918
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2012年3月29日 優先權日:2012年3月29日
【發明者】西尾彰倫, 石塚智彥 申請人:三菱電機株式會社