帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置制造方法
【專利摘要】本發明涉及能夠將電源直接施加于作為電解去毛刺對象物的帶狀部件，能夠提高去毛刺效率的帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置。該帶狀部件的電解去毛刺方法：使刷子狀電極與以浸漬在處理槽內部的化學溶液中的狀態把持于環狀輸送帶而進行輸送的帶狀零部件帶狀部件接觸而定位，從刷子狀電極直接施加電源，從而帶狀部件成為陰極，另外的不溶性導電體電極成為陽極，通過在兩者之間施加電源，從帶狀部件的表面剝離毛刺。該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括：把持于環狀輸送帶而進行輸送的帶狀部件；以與所述帶狀部件接觸而帶狀部件成為陰極的方式設置的刷子狀電極；以在通電時成為陽極的方式設置在與所述帶狀部件彼此分開的位置的另外的不溶性導電體電極。
【專利說明】帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及帶狀部件的電解去毛刺技術，特別是涉及能夠將電源直接施加于電解去毛刺對象物即半導體組件(package)等的帶狀部件,能夠提高去毛刺效率的帶狀部件的電解去毛刺方法和裝置。
【背景技術】
[0002]通常，在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封過程后，對電鍍過程前欲進行電鍍過程的部位和在電鍍過程后進行了電鍍過程的部位進行用于去除毛刺(Flash)的去毛刺(Deflash)過程。
[0003]在以往這樣的去毛刺過程中，大致依次執行以下工序:使帶狀部件浸潰在化學溶液中一定時間的浸潰工序；對帶狀部件的表面進行沖洗的沖洗工序；在使沖洗后的帶狀部件浸潰的狀態下進行電解去毛刺而剝離.除去毛刺的電解去毛刺工序；對帶狀部件的表面再次進行沖洗的沖洗工序；用于去除剩余的毛刺的噴水工序。
[0004]即依次進行浸潰工序、沖洗工序、電解去毛刺工序、沖洗工序和噴水工序，但在這樣的以往方式的去毛刺過程中的電解去毛刺工序中，執行如下所述的工序:在將沖洗后的帶狀部件浸潰到例如氫氧化鉀溶液的化學溶液的狀態下，將沖洗后的帶狀部件把持于通常由導體構成的環狀輸送帶來進行輸送的半導體組件構成為，對環狀輸送帶施加電源，經由這樣的環狀輸送帶而對半導體組件施加電源，由此，在半導體組件成為陰極、鈦和鉬等不溶性金屬成為陽極的狀態下，施加電源，一邊從半導體組件的芯片搭載部位和引線框架的表面產生氫氣一邊對形成在半導體組件的表面的毛刺進行剝離。
[0005]不過，這樣的以往的電解去毛刺工序方式在實際上應用于多種形態的帶狀部件的情況下，經由環狀輸送帶而對去毛刺對象物即半導體組件施加電源，由此，產生如下問題。
[0006]第一，對連續地移動的導電性金屬彈性體的環狀輸送帶施加電源，因此，工作中產生火花，對環狀輸送帶的表面帶來損傷，縮短環狀輸送帶的使用壽命，由此，產生了不經濟的問題。
[0007]第二，在作為用于去毛刺工序的對象物的帶狀部件的情況下，在材料的內部存在不導電的陶瓷等物質時，產生如下問題:即使經由環狀輸送帶施加電源，也無法對作為去毛刺對象物的帶狀部件在整個部位上均勻地進行去毛刺工序，只以通電的部位為中心局部地進行。
[0008]第三，不直接對作為用于去毛刺工序的對象物的帶狀部件施加電源，而是暫且經由環狀輸送帶對作為去毛刺對象物的帶狀部件間接地施加電源，由此所產生的不合理的問題是，無法干凈地剝離毛刺而造成產品的不合格率變高，結果，為了使這樣的不合格率降低，也只能反復多次進行去毛刺作業直到達到去毛刺工序所要求的品質，所以產生作業上的效率不高的情況，不僅生產率降低，而且帶來制造成本的上升的問題。
【發明內容】
[0009]本發明是為了解決這樣的以往的問題而研究開發的，具有如下目的。
[0010]本發明的目的在于，能夠對作為用于去毛刺工序的對象物的帶狀部件直接施加電源，能夠干凈地剝離毛刺，在降低產品的不合格率的同時，容易達到去毛刺工序所要求的品質，不僅提高生產率，也使制造成本降低，提高產品的競爭力。
[0011]本發明的另一目的在于，在作為用于去毛刺工序的對象物的帶狀部件的情況下，在材料的內部存在不導電的陶瓷等物質時，對作為去毛刺對象物的帶狀部件的整個部位均勻且順暢地進行去毛刺工序。
[0012]本發明的另一目的在于，即使不對如現存的那樣連續地移動的導電性金屬彈性體的環狀輸送帶施加電源，也能夠對作為去毛刺對象物的帶狀部件直接施加電源，不對工作中環狀輸送帶產生不良影響，通過延長環狀輸送帶的使用壽命而便宜靈活地應用。
[0013]本發明為了達到上述目的，提供一種帶狀部件的電解去毛刺方法，其是在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件的密封部和引線部的毛刺而進行的電解去毛刺方法，其特征在于，如下所述這樣執行工序:使刷子狀電極與以浸潰在處理槽內部的化學溶液的狀態把持于環狀輸送帶而進行輸送的帶狀部件接觸而進行定位；通過從刷子狀電極直接施加電源，使所述帶狀部件成為陰極，使浸潰在所述處理槽內部的化學溶液中的另外的不溶性導電體電極成為陽極；通過在所述陰極的刷子狀電極與所述陽極的不溶性導電體電極之間施加電源，從以把持于環狀輸送帶的狀態進行輸送的帶狀部件的表面剝離毛刺。
[0014]另外，提供一種帶狀部件的電解去毛刺裝置，其是在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置，其特征在于，該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括:以浸潰在處理槽內部的化學溶液中的狀態把持于環狀輸送帶而進行輸送的帶狀部件；以與所述帶狀部件接觸而使所述帶狀部件成為陰極的方式設置的刷子狀電極；浸潰在所述處理槽內部的化學溶液中并以在通電時成為陽極的方式設置在與所述帶狀部件彼此分開的位置的另外的不溶性導電體電極。
[0015]采用本發明，能夠對作為用于電解去毛刺工序的對象物的帶狀部件直接施加電源，干凈地進行毛刺的剝離，降低產品的不合格率并容易達到電解去毛刺工序所要求的品質，不僅提高生產率，也降低制造成本，從而能夠提高產品的競爭力，另外，作為用于電解去毛刺工序的對象物的帶狀部件的情況下，在材料的內部存在不導電的陶瓷等物質時，也能夠對作為電解去毛刺對象物的帶狀部件在整個部位均勻且順暢地進行電解去毛刺工序。另外，即使不對如現存的那樣連續地移動的導電性金屬彈性體的環狀輸送帶施加電源，也能夠對作為電解去毛刺對象物的帶狀部件直接施加電源，不對工作中環狀輸送帶產生不良影響，使環狀輸送帶的使用壽命延長，從而能夠便宜靈活地運用。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是表示本發明的優選實施例的局部省略的主視圖。
[0017]圖2是圖1的俯視例示圖。
[0018]圖3是圖1的側視例示圖。
[0019]圖4是以本發明中使用的刷子電極單元為中心表示的放大主視圖。[0020]圖5是圖4的俯視圖。[0021]圖6是圖4的側視圖。
[0022]圖7是作為本發明的變形例而與圖1相對應地表示的主視圖。
[0023]圖8是作為本發明的另一變形例而與圖1相對應地表示的主視圖。
[0024]圖9是圖7或者圖8的側視圖。
[0025]圖10是作為本發明的又一變形例而與圖1相對應地表示的主視圖。
[0026]圖11是圖10的側視圖。
[0027]圖12是作為本發明的再一變形例而與圖1相對應地表示的主視圖。
[0028]附圖標記
[0029]1、帶狀部件
[0030]2、處理槽
[0031]3、化學溶液
[0032]4、環狀輸送帶
[0033]5、刷子狀電極
[0034]6、刷子電極單元
[0035]7、不溶性導電體電極
[0036]8、固定構造體
[0037]9、支承框架
[0038]50、端子臺
[0039]52、連結孔
[0040]54、墊圈
[0041]56、連結件
[0042]60、刷子電極
[0043]60a、電線
[0044]62、端子
[0045]62a、電線
[0046]62b、設置孔
[0047]62c、彎曲部
【具體實施方式】
[0048]下面，參照附圖對本發明進行更具體且詳細地說明。
[0049]如圖所示，本發明所涉及的帶狀部件的電解去毛刺裝置的適用例，在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件I的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置中，包括:以浸潰于處理槽2內部的化學溶液3的狀態把持于環狀輸送帶4來進行輸送的帶狀部件I ;以與帶狀部件I接觸而帶狀部件I成為陰極的方式設置的刷子狀電極5 ;浸潰于所述處理槽2內部的化學溶液3并以在通電時成為陽極的方式設置在與所述帶狀部件I彼此分開的位置的另外的不溶性導電體電極7。
[0050]此時，所述刷子狀電極5由單一的刷子電極單元6構成，或者以將多個刷子電極單元6集合的形態構成。作為上述構成的共同點，所述刷子電極單元6是將刷子電極60和固定于所述刷子電極60的端子62彼此結合而構成的。
[0051]另外，所述刷子電極60構成為，將多根電線60a集束，一側以所述端子62的電線固定部62a圍繞的狀態而彼此集合地固定，作為另一側的所述一側的相對側以自由端形態延伸地構成，從而在設置后，所述刷子電極60與所述帶狀部件I的表面彼此接觸而能夠連接電源。所述端子62構成為，在與所述電線固定部62a分開的位置設置有設置孔62b，以使所述端子62與端子臺50能夠連結固定，在所述電線固定部62a和所述設置孔62b之間設置有彎曲部62c以使電線60a具有設置角度。
[0052]此時，所述端子臺50通過設置在處理槽2的相鄰位置的固定構造體8和支承框架9固定設置。
[0053]此時，所述電線60a具有不與化學溶液3反應的耐腐蝕性，使用不銹鋼材料來形成為能夠與帶狀部件I彼此彈性接觸的方式。另外，優選所述電線60a構成為，所輸送的帶狀部件I和所述電線60a以沉積于化學溶液3的狀態彈性地彼此加圧.接觸而通電，并且也能夠維持在帶狀部件I的表面不產生劃痕那樣柔和的狀態，實際上進行了長時間實驗的結果，為了滿足上述較多條件，優選所述電線60a的數量為50根~70根，最優選所述電線60a的直徑為0.05mm以下。
[0054]另外，將所述刷子電極單元6設置在端子臺50上的方式如下所述:例如，使預先形成于端子臺50上的連結孔52與所述端子62的設置孔62b在彼此一致的狀態下，利用墊圈54和連結件56彼此連結固定即可，優選所述彎曲部62c構成為，如圖1所示的那樣從正面觀察時，電線60a與由環狀輸送帶4進行輸送的帶狀部件I的水平輸送方向呈銳角，并且如圖3所示的那樣從側面觀察時，電線60a呈鈍角傾斜而彎曲的形態以便充分地長達帶狀部件I的表面。
[0055]另外，所述刷子狀電極5以在端子臺50上設置并集合多個刷子電極單元6的形態構成的情況下，如圖1至圖3所例示那樣，各個刷子電極單元6構成為，選擇具有電線60a的長度相同的刷子電極60的刷子電極單元6，或者如圖7至圖11所例示那樣構成為，選擇具有電線60a的長度不同的刷子電極60的刷子電極單元6，在用于執行電解去毛刺工序的帶狀部件I的表面的整個部位均勻地進行電連接，另外，優選在帶狀部件I的表面的較多的部位同時進行電連接。
[0056]另外，欲進行電解去毛刺工序的帶狀部件I的形態具有多種多樣的構造，出于根據以非絕緣狀態與引線框架進行連接的形態，或者以絕緣狀態進行連接的形態等多樣的形態而適當地靈活運用的目的，如所述那樣能夠將電線60a的長度構成為相同或者互不相同。
[0057]特別是，能夠如圖7至圖12所例示那樣選擇具有電線60a的長度不同的刷子電極60的刷子電極單元6，，但是也能夠使其配置順序不同地構成為，例如圖7所例示那樣，使電線60a從最短的形態到最長的形態反復地配置；或者如圖8所例示那樣，使電線60a從最短的形態經由最長的形態之后，再次反復以短的形態配置；或者如圖10和圖11所示那樣，使電線60a以短的形態和長的形態反復配置；或者如圖12所示那樣，使電線60a以短的形態和長的形態雜亂地配置。
[0058]即由于這樣欲進行電解去毛刺工序的帶狀部件I的多樣的形態使電線60a的長度不同而以多種多樣的形態配置，或者以即使電線60a的長度相同，也能夠使電線60a的設置數量和設置間隔等多樣地配置的方式多樣地變更而靈活運用，這樣的多樣的變更內容也包含在本發明的基本思想中，結果，屬于后述的權利要求書的范疇是顯而易見的。
[0059]下面，基于本發明的帶狀部件的電解去毛刺方法更詳細地說明如上述那樣構成的本發明的帶狀部件的電解去毛刺裝置的工作過程。
[0060]即作為本發明的帶狀部件的電解去毛刺方法，在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件I的密封部和引線部的毛刺而進行的電解去毛刺方法中，如下所述這樣執行帶狀部件的電解去毛刺方法:使刷子狀電極5與以浸潰在處理槽2內部的化學溶液3中的狀態把持于環狀輸送帶4而進行輸送的帶狀部件I接觸而定位，從刷子狀電極5直接施加電源，從而帶狀部件I成為陰極，浸潰在所述處理槽2內部的化學溶液3的另外的不溶性導電體電極7成為陽極，通過在所述陰極的刷子狀電極5與所述陽極的不溶性導電體電極7之間施加電源，從以把持在環狀輸送帶4的狀態進行輸送的帶狀部件I的表面剝離毛刺。
[0061]下面，分階段地更詳細地說明帶狀部件I的電解去毛刺工序。
[0062]準各工序 [0063]其為在進行電解去毛刺工序之前的準備工序，首先，預先將化學溶液3填充到處理槽2的內部至一定水位，加載并定位欲進行電解去毛刺工序的帶狀部件1，使其以浸潰在化學溶液3的狀態把持于環狀輸送帶4而進行輸送，使刷子狀電極5與帶狀部件I接觸而進行定位，另外，以浸潰在所述處理槽2內部的化學溶液3的狀態配置另外的不溶性導電體電極7。
[0064]電解去毛刺工序
[0065]如所述那樣在準備工序中進行用于電解去毛刺的準備時，開始工作而進行環狀輸送帶4的輸送工作，也對刷子狀電極5和不溶性導電體電極7分別施加電源，從而進行電解去毛刺工序，此時，如下所述這樣執行去毛刺工序:刷子狀電極5與以浸潰在處理槽2內部的化學溶液3的狀態把持于環狀輸送帶4而進行輸送的帶狀部件I的表面接觸，從刷子狀電極5直接施加電源，從而帶狀部件I成為陰極，浸潰在所述處理槽2內部的化學溶液3的另外的不溶性導電體電極7成為陽極，對所述陰極的刷子狀電極5與所述陽極的不溶性導電體電極7之間的化學溶液3施加電源的同時對形成在以把持于所述環狀輸送帶4的狀態進行輸送的帶狀部件I的表面的毛刺進行剝離。
[0066]此時，在以對帶狀部件I的表面直接施加電源的方式構成刷子狀電極5的各刷子電極單元6中，刷子電極60的多根電線60a直接與帶狀部件I的表面接觸，帶狀部件I被環狀輸送帶4輸送的同時刷子電極60的多根電線60a與帶狀部件I的整個表面部位均勻地彈性抵接而進行通電，特別是，刷子電極60的電線60a中的與帶狀部件I的表面抵接的部分也以沉積在化學溶液中的狀態同維持被沉積在化學溶液3中的狀態的帶狀部件I的表面接觸，電源的通電更順暢。帶狀部件I的形態具有多樣的構造，無論是以絕緣狀態與引線框架進行連接還是以非絕緣狀態與引線框架進行連接，能夠進行順暢的電連接，有效地進行對帶狀部件I的表面剝離毛刺的電解去毛刺工作。
[0067]當然，如所述那樣進行電解去毛刺工序之后，能夠依次進行處于待機中的接下來必須的處理工序。[0068]因而，采用本發明，能夠對作為用于電解去毛刺工序的對象物的帶狀部件I直接施加電源，干凈地進行毛刺的剝離，在降低產品的不合格率的同時容易達到電解去毛刺工序所要求的品質，不僅提高生產率，也降低制造成本，從而能夠提高產品的競爭力，另外，作為用于電解去毛刺工序的對象物的帶狀部件I的情況下，在材料的內部存在不導電的陶瓷等物質時，也能夠對作為電解去毛刺對象物的帶狀部件I的整個部位均勻且順暢地進行電解去毛刺工序。另外，即使不對如現存的那樣連續地移動的導電性金屬彈性體的環狀輸送帶4施加電源，也能夠對作為電解去毛刺對象物的帶狀部件I直接施加電源，不對工作中環狀輸送帶4產生不良影響，使環狀輸送帶4的`使用壽命延長，從而能夠便宜靈活地運用。
【權利要求】
1.一種帶狀部件的電解去毛刺方法，該帶狀部件的電解去毛刺方法是在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件(I)的密封部和引線部的毛刺而進行的電解去毛刺方法，其特征在于， 如下所述這樣的執行工序: 使刷子狀電極(5)與以浸潰在處理槽(2)內部的化學溶液(3)的狀態把持于環狀輸送帶(4)而進行輸送的帶狀部件(I)接觸而進行定位； 通過從刷子狀電極(5 )直接施加電源，使所述帶狀部件(I)成為陰極，使浸潰在所述處理槽(2)內部的化學溶液(3)中的另外的不溶性導電體電極(7)成為陽極； 通過在所述陰極的刷子狀電極(5)與所述陽極的不溶性導電體電極(7)之間施加電源，從以把持于環狀輸送帶(4)的狀態進行輸送的帶狀部件(I)的表面剝離毛刺。
2.一種帶狀部件的電解去毛刺裝置，該帶狀部件的電解去毛刺裝置是在半導體的制造工序中的利用樹脂成形進行的密封工序后為了于電鍍工序的前后剝離被殘留在帶狀部件(I)的密封部和引線部的毛刺的電解去毛刺裝置，其特征在于， 該帶狀部件的電解去毛刺裝置包括: 以浸潰在處理槽(2)內部的化學溶液(3)中的狀態把持于環狀輸送帶(4)而進行輸送的帶狀部件(I); 以與所述帶狀部件(I)接觸而使所述帶狀部件(I)成為陰極的方式設置的刷子狀電極(5)；· 浸潰在所述處理槽(2)內部的化學溶液(3)中并以在通電時成為陽極的方式設置在與所述帶狀部件(I)彼此分開的位置的另外的不溶性導電體電極(7)。
3.根據權利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)包括刷子電極單元(6)， 所述刷子電極單元(6)是將刷子電極(60)和固定于所述刷子電極(60)的端子(62)彼此結合而構成的。
4.根據權利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子電極(60)構成為，將多根電線(60a)集束，以一側通過所述端子(62)的電線固定部(62a)以圍繞的狀態彼此集合并固定，作為另一側的所述一側的相對側構成為以自由端形態延伸，所述刷子電極(60)能夠與所述帶狀部件(I)的表面彼此接觸而進行電源的連接。
5.根據權利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述端子(62)構成為，在與所述電線固定部(62a)分開的位置設有設置孔(62b)，使所述端子(62)能夠與端子臺(50)連結固定， 在所述電線固定部(62a)與所述設置孔(62b)之間設置有彎曲部(62c)，使電線(60a)具有設置角度。
6.根據權利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述電線(60a)具有與化學溶液(3)不反應的耐腐蝕性，使用不銹鋼材料形成為與所述帶狀部件(I)彼此彈性接觸的方式。
7.根據權利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 構成所述刷子電極(60)的電線(60a)的數量為50根~70根。
8.根據權利要求4所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 構成所述刷子電極(60)的所述電線(60a)的直徑為0.05mm以下。
9.根據權利要求3所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子電極單元(6)設置于端子臺(50)， 所述端子臺(50)的連結孔(52)和所述端子(62)的設置孔(62b)在彼此一致的狀態下，利用墊圈(54)和連結件(56)彼此連結固定地構成。
10.根據權利要求5所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述彎曲部(62c)構成為，在從正面觀察時，電線(60a)與由環狀輸送帶(4)進行輸送的帶狀部件(I)的水平輸送方向呈銳角。
11.根據權利要求5所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述彎曲部(62c)構成為，從側面觀察時，電線(60a)呈以鈍角傾斜并彎曲的形態以便充分地長達帶狀部件(I)的表面。
12.根據權利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)以在端子臺(50)上設置并集合多個刷子電極單元(6)的形態構成， 所述各個刷子電極單元(6)分別選擇具有電線(60a)的長度彼此相同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)而構成。
13.根據權利要求2所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 所述刷子狀電極(5)以在端子臺(50)上設置并集合多個刷子電極單元(6)的形態構成， 所述各個刷子電極單元(6)分別選擇具有電線(60a)的長度不同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)而構成。
14.根據權利要求13所述的帶狀部件的電解去毛刺裝置，其特征在于， 選擇具有使所述電線(60a)的長度不同的刷子電極(60)的刷子電極單元(6)并使配置順序不同地構成。
【文檔編號】C25F7/00GK103572361SQ201210361262
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年9月25日 優先權日:2012年7月26日
【發明者】鄭載松, 崔棋烈, 田駿培 申請人:亞斯杰特股份有限公司