一種雙面電泳架的制作方法
【專利摘要】本發明涉及雙面GPP保護晶體管芯片生產設備，具體是一種改造后的電泳用雙面電泳架。雙面電泳架包括橫梁、負極板、正極環、托板、定位板、插槽和側板，其中橫梁的兩端水平固定在兩側板的上部內側，兩定位板分別固定在兩側板的上部外側，用于與電泳設備電源連接的插槽固定在其中的一個側板的上端，托板的兩端水平固定在兩側板的下部內側，數個負極板和正極環依次交替固定在托板上。使用雙面電泳架，硅片兩面同時電泳一致性好，避免兩次單面電泳造成的硅片兩面玻璃層厚度不一致的問題，兩面同時電泳不易損壞，由此提高了產品良率及可靠性。
【專利說明】一種雙面電泳架
【技術領域】
[0001]本發明涉及雙面GPP保護晶體管芯片生產設備，具體是一種改造后的電泳用雙面電泳架。
【背景技術】
[0002]目前，半導體行業內生產雙面GPP保護晶體管(二極管、放電管等)芯片兩面都需要進行玻璃鈍化保護，雙面電泳工藝通常采用先電泳一面，再電泳另一面的工藝。現有技術存在問題:1、兩次電泳造成兩面的玻璃層厚度不一致，2、在第二次電泳后，發現第一次電泳面外圍的部分區域玻璃脫落，產生參數不良、良率低及可靠性差等問題。
【發明內容】
[0003]本發明的目的就是為克服現有技術的不足，提供一種雙面電泳架。通過使用重新設計的雙面電泳架進行雙面一次電泳工藝，可以提高產品的良率及可靠性。
[0004]本發明采取的技術方案是:一種雙面電泳架，其特征在于:包括橫梁、負極板、正極環、托板、定位板、插槽和側板，其中橫梁的兩端水平固定在兩側板的上部內側，兩定位板分別固定在兩側板的上部外側，用于與電泳設備電源連接的插槽固定在其中的一個側板的上端，托板的兩端水平固定在兩側板的下部內側，數個負極板和正極環依次交替固定在托板上。
[0005]本發明所產生的有益效果是:使用雙面電泳架，硅片兩面同時電泳一致性好，避免兩次單面電泳造成的硅片兩面玻璃層厚度不一致的問題，兩面同時電泳不易損壞，由此提高了產品良率及可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]圖1是本發明整體結構示意圖；
圖2是圖1中正極環結構側視局部放大圖；
圖3是圖1中負極板結構平面示意圖；
圖4是側托板結構局部放大示意圖；
圖5是中托板結構局部放大意圖；
圖6是兩側側托板和中托板相對位置局部放大不意圖。
【具體實施方式】
[0007]以下結合附圖和實施例對本發明作進一步說明:
參照圖1，一種雙面電泳架包括橫梁1、負極板2、正極環3、托板4、定位板5、插槽6和側板7，其中橫梁I的兩端水平固定在兩側板7的上部內側，兩定位板5分別固定在兩側板7的上部外側，用于與電泳設備電源連接的插槽6固定在其中的一個側板7的上端，托板4的兩端水平固定在兩側板7的下部內側，數個負極板2和正極環3依次交替固定在托板4上。
[0008]參照圖2和圖3，固定在托板4上的負極板2包括加工為一體的負極板體2A和導線連接頭2B ;固定在托板4上的正極環3包括加工為一體的外環3A和內環3B。
[0009]參照圖4、圖5和圖6，本實施例的托板4為分體結構，包括兩側的側托板4A和中托板4B，兩側的側托板4A上分別依次交替設有數個負極板槽4A1和正極環槽4A2，同時在兩側的側托板4A兩端的側面設有安裝孔4A3，中托板4B上依次交替對應設有數個負極板槽4B1和Y型觸點4B2，同時在中托板4B —端的側面設有導線槽4B3，在中托板4B兩端的側面設有安裝孔4B4，中托板4B的兩端水平固定在兩側板7的下部內側，兩側的側托板4A對稱位于中托板4B左右上方，且向內側傾斜并留有間距，分別固定在兩側板7的下部內側，即兩側的側托板4A和中托板4B組成弧形。
[0010]參照圖4和圖6，兩側的側托板4A上的正極環槽4A2設于加固和加高部分,加固和加高部分的高度為2±0.3mm,寬度為10±0.3mm。因為正極環反復插拔，因此對正極環槽進行加高加固。
[0011]本實施例設計尺寸:以4英寸硅片使用雙面電泳架的設計為例:中托板4B與兩側托板4A間距為40±0.3mm，兩側托板4A向內側傾斜角度為45±2° ,負極板體2A圓形部分直徑為105±0.3mm，厚度為1±0.05臟，導線接線頭2B寬度為15±0.3mm，長度為±0.3mm,負極板槽4A1寬度為1.1 ±0.05mm mm,正極環槽4A2寬度為2.1 ±0.05mm,外環外圓直徑為105±0.3mm,環寬(即外表面半徑與內表面半徑之差)為2±0.05mm,厚度為1±0.05mm,內環內圓直徑為98 ± 0.3mm，厚度為0.8±0.05臟，負極板2與正極環3的間距為30 ± 5mm。
[0012]雙面電泳架根據被加工硅片的尺寸進行設計，其中正極環的內環外側的圓直徑比硅片直徑略大，內側的圓的直徑比硅片直徑略小，內環與外環的厚度差小于硅片厚度，保證硅片與正極環接觸良好，同時保護硅片，負極板外徑與正極環外徑相等。托板4結構尺寸則根據負極板和正極環的尺寸進行設計。
[0013]本發明的設計原理及裝配關系如下:固定在一側側板7上端的插槽6與電泳設備的插頭匹配，兩側側板7與橫梁1、定位板5用螺絲連接，電泳設備上的定位柱插入定位板上的孔，使電泳架與電泳設備的位置固定。托板4由兩側托板4A和中托板4B共三塊托板組成，三塊托板組成弧形，并通過兩側托板4A上的安裝孔4A3和中托板4B上的安裝孔4B4與側板7使用螺絲連接，負極板2插入三塊托板(兩側托板4A和中托板4B)構成的弧形的負極板槽中，負極板2的導線連接頭2B穿過中托板4B的負極板槽4B1，在中托板4B下通過導線與插槽6相連。在進行雙面電泳時，將需要電泳的硅片放在正極環3的外環3A和內環3B中間，然后插入兩側托板4A的正極環槽4A2中，同時保證與中托板4B上的Y型觸點4B2良好接觸，將電泳架放入電泳液進行電泳，電泳設備插頭與插槽6連接，通電后，因為硅片與正極環3接觸，硅片與正極環3同時帶正電，相鄰兩側負極板帶負電，可以使電泳液在電場的作用下向硅片運動，沉積在溝槽上，形成玻璃層。
[0014]本發明的負極板、正極環及定位板材質為不銹鋼、其它結構件材料為四氟乙烯。
[0015]以上4英寸硅片雙面一次電泳后的實測數據見下表(玻璃層厚度規范值:20±3um):
【權利要求】
1.一種雙面電泳架，其特征在于:包括橫梁(I)、負極板(2)、正極環(3)、托板(4)、定位板(5)、插槽(6)和側板(7)，其中橫梁(I)的兩端水平固定在兩側板(7)的上部內側，兩定位板(5)分別固定在兩側板(7)的上部外側，用于與電泳設備電源連接的插槽(6)固定在其中的一個側板(7)的上端，托板(4)的兩端水平固定在兩側板(7)的下部內側，數個負極板(2 )和正極環(3 )依次交替固定在托板(4 )上。
2.根據權利要求1所述的一種雙面電泳架，其特征在于:所述固定在托板(4)上的負極板(2)包括加工為一體的負極板體(2A)和導線連接頭(2B);所述固定在托板(4)上的正極環(3)包括加工為一體的外環(3A)和內環(3B)。
3.根據權利要求2所述的一種雙面電泳架，其特征在于:所述的托板(4)為分體結構，包括兩側的側托板(4A)和中托板(4B)，兩側的側托板(4A)上分別依次交替設有數個負極板槽(4A1)和正極環槽(4A2)，同時在兩側的側托板(4A)兩端的側面設有安裝孔(4A3)，中托板(4B)上依次交替對應設有數個負極板槽(4B1)和Y型觸點(4B2)，同時在中托板(4B)一端的側面設有導線槽(4B3)，在中托板(4B)兩端的側面設有安裝孔(4B4)，中托板(4B)的兩端水平固定在兩側板(7)的下部內側，兩側的側托板(4A)對稱位于中托板(4B)左右上方，且向內側傾斜并留有間距，分別固定在兩側板(7)的下部內側，即兩側的側托板(4A)和中托板(4B)組成弧形。
4.根據權利要求3所述的一種雙面電泳架，其特征在于:所述的兩側的側托板(4A)上的正極環槽(4A2)設于加固和加高部分，加固和加高部分的高度為2±0.3mm,寬度為10±0. 3mm。
【文檔編號】C25D13/16GK104178793SQ201410426889
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年8月27日 優先權日:2014年8月27日
【發明者】薄勇, 楊玉聰, 劉玉濤, 安毅力, 王曉捧 申請人:天津中環半導體股份有限公司