排風閥支架的制作方法
【專利摘要】本申請公開了一種排風閥支架，呈立方體，具有六個面分別是：前側面、后側面、左側面、右側面、頂面、底面；該排風閥支架的左側面與右側面之間的距離稱為長度，前側面與后側面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度。所述排風閥支架的左側面和右側面，各有一個固定孔。所述排風閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸。一個排風閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風閥支架的底面。本申請排風閥支架具有更加牢固、不易損壞的特點，可延長使用壽命。
【專利說明】排風閥支架
【技術領域】
[0001 ] 本申請涉及一種排風閥的支架，所述排風閥用于控制風道向清洗設備的送風。
【背景技術】
[0002]請參閱圖2，這是半導體制造工廠中的一個清洗設備的工作示意圖。清洗設備24用來清洗盛放娃片(wafer)的晶片舟(wafer cassette)和晶片盒(wafer pod)。排風接口21對外輸出風力，其通過兩條風道22連接該清洗設備24，從而幫助該清洗設備24達到理想的清洗效果。在每條風道22與該清洗設備24的連接處都設有排風控制閥(簡稱排風閥)及其支架23。
[0003]現有的排風閥支架，其結構單薄、細小、容易斷裂。一旦排風閥支架斷裂后，排風閥的閥門就無法打開，這會導致清洗設備24無法將晶片舟和晶片盒清洗干凈，造成品質事故。
實用新型內容
[0004]本申請所要解決的技術問題是提供一種不易損壞的排風閥支架，延長其使用壽命O
[0005]為解決上述技術問題，本申請排風閥支架呈立方體，具有六個面分別是:前側面、后側面、左側面、右側面、頂面、底面；該排風閥支架的左側面與右側面之間的距離稱為長度，前側面與后側面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度；
[0006]所述排風閥支架的左側面和右側面，各有一個固定孔；
[0007]所述排風閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸；
[0008]一個排風閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風閥支架的底面。
[0009]進一步地，所述排風閥支架的長度為厚度的5倍以上，且長度為高度的10倍以上。
[0010]進一步地，所述固定孔位于整個排風閥支架的厚度方向的中心位置。
[0011]進一步地，所述凹槽位于整個排風閥支架的長度方向的中心位置。
[0012]進一步地，第一凹槽底面緊鄰整個排風閥支架的后側面，第二凹槽底面緊鄰整個排風閥支架的前側面；或相反。
[0013]進一步地，第二凹槽底面的最低點與整個排風閥支架的底面之間的距離為整個排風閥支架的高度的一半。
[0014]進一步地，第一凹槽底面在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸小于第二凹槽底面在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸；或等于；或大于。
[0015]進一步地，所述排風閥連接孔同時貫穿第一凹槽底面和第二凹槽底面；或僅貫穿第一凹槽底面；或僅貫穿第二凹槽底面。
[0016]進一步地,所述排風閥支架由PTFE材料制作。[0017]本申請排風閥支架具有更加牢固、不易損壞的特點，從而延長了使用壽命。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖la、圖lb、圖1c分別是本申請排風閥支架的前視圖、俯視圖、左視圖(符合正六面投影視圖的含義)；
[0019]圖2是排風閥及其支架與清洗設備的連接關系示意圖。
[0020]圖中附圖標記說明:
[0021]11為固定孔；12為凹槽；12a為第一凹槽底面；12b為第二凹槽底面；13為排風閥連接孔；21為排風接口 ；22為風道；23為排風閥及支架；24為清洗設備。
【具體實施方式】
[0022]請參閱圖la、圖1b和圖lc，本申請排風閥支架大致呈立方體，具有六個面分別是:前側面、后側面、左側面、右側面、頂面、底面。該排風閥支架的左側面與右側面之間的距離稱為長度，前側面與后側面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度。本申請排風閥支架的長度大于厚度(5倍以上)，且長度遠大于高度(10倍以上)。
[0023]在本申請排風閥支架的左側面和右側面，各有一個固定孔11，用于采用插銷、螺栓等方式固定整個排風閥支架。優選地，固定孔11位于整個排風閥支架的厚度方向的中心位置。
[0024]在本申請排風閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽12。該凹槽12在整個排風閥支架的厚度方向上前后貫通，即貫穿了前側面和后側面。優選地，該凹槽12位于整個排風閥支架的長度方向的中心位置。
[0025]該凹槽12的底面在整個排風閥支架的厚度方向上分為兩部分12a、12b。第一凹槽底面12a呈水平狀，第二凹槽底面12b以第一凹槽底面12a為最高點呈斜坡向下延伸。圖1b和圖1c示意性地將第一凹槽底面12a繪制為緊鄰整個排風閥支架的后側面，將第二凹槽底面12b繪制為緊鄰整個排風閥支架的前側面。在其它的實施例中，這種緊鄰關系也可是相反的。優選地，第二凹槽底面12b的最低點與整個排風閥支架的底面之間的距離大致為整個排風閥支架的高度的一半。
[0026]一個排風閥連接孔13自上而下地貫穿該凹槽12的底面與整個排風閥支架的底面。本申請排風閥支架在使用時，排風閥的軸就安裝在該排風閥連接孔13中。
[0027]為了不影響排風閥的閥門的正常開啟與關閉，第二凹槽底面12b在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸、斜面的傾斜角度等，都應適應排風閥的閥門的形狀和啟閉狀態。圖1b和圖1c示意性地將第一凹槽底面12a在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸繪制為小于第二凹槽底面12b在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸，并且將該排風閥連接孔13繪制為同時貫穿第一凹槽底面12a和第二凹槽底面12b。在其他的實施例中，這種尺寸關系、貫穿關系也可是不同的。
[0028]優選地,本申請排風閥支架由PTFE材料(聚四氟乙烯,Polytetrafluoroethylene )制作。
[0029]實驗顯示，采用本申請排風閥支架以后，截止到本申請的申請日已持續正常使用近4年，未發生損壞。[0030]以上僅為本申請的優選實施例，并不用于限定本申請。對于本領域的技術人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本申請的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種排風閥支架，其特征是，所述排風閥支架呈立方體，具有六個面分別是:前側面、后側面、左側面、右側面、頂面、底面；該排風閥支架的左側面與右側面之間的距離稱為長度，前側面與后側面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度； 所述排風閥支架的左側面和右側面，各有一個固定孔； 所述排風閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸； 一個排風閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風閥支架的底面。
2.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，所述排風閥支架的長度為厚度的5倍以上，且長度為高度的10倍以上。
3.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，所述固定孔位于整個排風閥支架的厚度方向的中心位置。
4.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，所述凹槽位于整個排風閥支架的長度方向的中心位置。
5.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，第一凹槽底面緊鄰整個排風閥支架的后側面，第二凹槽底面緊鄰整個排風閥支架的前側面；或相反。
6.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，第二凹槽底面的最低點與整個排風閥支架的底面之間的距離為整個排風閥支架的高度的一半。
7.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，第一凹槽底面在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸小于第二凹槽底面在整個排風閥支架的厚度方向上的尺寸；或等于；或大于。
8.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，所述排風閥連接孔同時貫穿第一凹槽底面和第二凹槽底面；或僅貫穿第一凹槽底面；或僅貫穿第二凹槽底面。
9.根據權利要求1所述的排風閥支架，其特征是，所述排風閥支架由PTFE材料制作。
【文檔編號】F16K51/00GK203453612SQ201320422454
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年7月16日 優先權日:2013年7月16日
【發明者】吳雅雪, 周利明 申請人:上海華虹宏力半導體制造有限公司