節流裝置制造方法

節流裝置制造方法
【專利摘要】一種節流裝置，包含一閥門組件、一驅動組件及一檢測模塊。該閥門組件包含一流道件、一通孔及一蝴蝶閥，該蝴蝶閥包含一轉軸，該檢測模塊包含一與該轉軸套接且連動的第二套筒、一設置于該第二套筒的第一檢測組件及一與該第一檢測組件配合的第二檢測組件。該第二套筒包含一供該轉軸插入的第二軸孔、至少一與該第二軸孔連通的第二定位孔及至少一對應插入該第二定位孔以抵頂該轉軸使該轉軸與該第二套筒連動的第二定位件。據此，僅需將該第二定位件松開，即可方便的調校該第一與該第二檢測組件的正確相對位置，以利判讀該通孔為開通或關閉。
【專利說明】節流裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種節流閥，尤其涉及一種容易拆裝的節流裝置。

【背景技術】
[0002]在半導體工藝中，例如于長晶或是蝕刻的程序，對于工藝設備其腔體壓力的管控，往往是長晶品質或是蝕刻效果的成敗關鍵。因此，為了進行壓力的調整和控制，在工藝設備中，最常使用的配件，莫過于設置于管路中，以管控流入該工藝設備的腔體的氣體流速的節流閥。
[0003]一般常見的節流閥，例如在中國臺灣發明專利公告第530137號所提及的蝴蝶閥，主要由一閥體、一旋轉閥門以及一轉軸所構成，該閥體中具有一供一流體流入的流體導管，該轉軸設置于該流體導管內，該旋轉閥門則以該轉軸為軸心作旋轉。當提供轉矩使該轉軸轉動時，旋轉閥門將隨著該轉軸轉動，故可以改變旋轉閥門的位置，進而控制流體的流速。
[0004]并且，為了能精準控制該流量的流速，會將該轉軸與一步進馬達連接，只要輸入適當的電流，該步進馬達便會帶動該轉軸，以調節該旋轉閥門的旋轉角度，有效控制該蝴蝶閥的傳導度，進而管控該流體的流速，控制該工藝設備的腔體內的壓力。至于該旋轉閥門的旋轉角度，必須通過一檢測器進行檢測，才能夠作為操作該步進馬達驅動該旋轉閥門的依據。該檢測器為藉由判讀一連接于該轉軸上并隨該轉軸連動的連動件的位置，間接判斷該旋轉閥門的該旋轉角度。
[0005]然而，在現有技術中，該節流閥與該步進馬達之間，為通過一傳動皮帶傳遞一動力，該傳動皮帶因該步進馬達的轉動，帶動一固定該轉軸的定位結構，而驅動該旋轉閥門。由于在長期使用下，該傳動皮帶與該定位結構之間容易因滑動而使得既定的該轉動角度位置偏移，連帶令檢測該連動件以判讀該旋轉閥門的旋轉角度的該檢測器造成誤判，而必需對該檢測器與連動件的位置進行調校，但是由于該連動件與該轉軸之間為固定，無法容易的拆解以進行調校，使得該節流閥具有調校不方便的問題。再者，該傳動皮帶亦容易受到外界灰塵污染以及磨耗，必須定期的清理保養或是更換，但是該定位結構與該轉軸之間亦為固定，同樣有無法容易拆解的問題。
實用新型內容
[0006]本實用新型的主要目的，在于解決現有的節流閥，由于連動件與轉軸之間難以拆解，造成檢測器與連動件之間的位置不便調校，易產生檢測錯誤的問題。
[0007]為達上述目的，本實用新型提供一種節流裝置，其包含有:
[0008]一閥門組件，該閥門組件包含有一流道件、一供一流體通過并設于該流道件的通孔以及一設置于該通孔以控制該通孔為開通或關閉的蝴蝶閥，該蝴蝶閥包含一穿設該流道件且向外延伸的轉軸；
[0009]一與該閥門組件相接的驅動組件，該驅動組件包含一與該轉軸套接的第一套筒、一與該第一套筒嚙合的齒輪組以及一與該齒輪組嚙合的驅動單元；以及
[0010]一檢測該蝴蝶閥為開通或關閉該通孔的檢測模塊，該檢測模塊包含一與該轉軸套接而與該轉軸連動的第二套筒、一設置于該第二套筒的第一檢測組件以及一相對該第二套筒設置且與該第一檢測組件配合的第二檢測組件；
[0011]其中，該第二套筒包含一供該轉軸插入的第二軸孔、至少一與該第二軸孔連通的第二定位孔以及至少一對應插入該第二定位孔以抵頂該轉軸使該第二套筒與該轉軸連動的第二定位件。
[0012]上述的節流裝置，其中該第一套筒包含一供該轉軸插入的第一軸孔、至少一與該第一軸孔連通的第一定位孔以及至少一對應插入該第一定位孔以抵頂該轉軸而將該轉軸固定于該第一軸孔內以使該轉軸與該第一套筒連動的第一定位件。
[0013]上述的節流裝置，其中該驅動組件更包含一與該流道件連接并罩覆該齒輪組的防塵殼體。
[0014]上述的節流裝置，其中該第二檢測組件相對該第一檢測組件固定于一平臺，令該第一檢測組件得隨該第二套筒轉動而具有一相對該第二檢測組件的旋轉行程。
[0015]上述的節流裝置，其中該第一檢測組件包含至少一固定于該第二套筒且與該第二套筒連動的光遮片，該第二檢測組件包含至少一相對該光遮片固定于一平臺的光檢測單元，該光遮片與該光檢測單元相互配合，且該光遮片得隨該第二套筒轉動而具有一相對該光檢測單元的旋轉行程。
[0016]上述的節流裝置，其中該第一套筒具有一外環齒面，該齒輪組包含一與該驅動單兀哨合的蝸桿以及一哨合于該蝸桿與該第一套筒之間的降速齒輪，該降速齒輪包含一與該蝸桿嚙合的第一環齒以及一與該外環齒面嚙合并與該第一環齒層疊的第二環齒。
[0017]上述的節流裝置，其中該第二環齒具有大于該第一環齒的一直徑以及一齒隙。
[0018]上述的節流裝置，其中該驅動單元包含一馬達、一套接于該馬達的傳動齒輪以及一與該馬達相鄰設置的散熱件。
[0019]上述的節流裝置，其中該蝴蝶閥包含至少一與該轉軸連接以封閉該通孔的葉片。
[0020]如此一來，本實用新型至少具有以下優點:
[0021]1.本實用新型藉由在該檢測模塊的該第二套筒設置該第二軸孔、該第二定位孔以及該第二定位件，一但該齒輪組發生錯位(即其中一齒輪脫離正確的轉動位置)，由于該第一檢測組件通過該第二套筒而與該第一套筒和該轉軸連動，又該第二檢測組件為固定，此時，該第二檢測組件將誤判該蝴蝶閥為關閉，但實際上并未完全關閉。發生前述問題時，使用者得藉由該第二定位件的插入與否，決定該第二套筒及其上的該第一檢測組件與該轉軸連動與否，以調校該第一檢測組件相對該轉軸而處于一正確的位置，藉此補償該齒輪組錯位造成的轉動誤差。
[0022]2.此外，本實用新型可于該第一套筒設置該第一軸孔、該第一定位孔以及該第一定位件，使得該轉軸可以藉由該第一定位件的拆除而容易與該驅動組件之間分離，方便使用者對該齒輪組進行清潔保養或更換耗材。
[0023]3.本實用新型以該齒輪組取代現有所使用的該皮帶，避免該皮帶容易磨耗的問題。
[0024]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1，為本實用新型一實施例的外觀立體示意圖；
[0026]圖2，為本實用新型一實施例的結構分解示意圖；
[0027]圖3，為本實用新型一實施例驅動組件與蝴蝶閥的接合示意圖；
[0028]圖4，為本實用新型一實施例檢測模塊與蝴蝶閥的接合示意圖。

【具體實施方式】
[0029]有關本實用新型的詳細說明及技術內容，現就配合【專利附圖】

【附圖說明】如下:
[0030]請搭配參閱圖1、圖2及圖3所示，圖1為本實用新型一實施例的外觀立體示意圖，圖2為本實用新型一實施例的結構分解示意圖，圖3為本實用新型一實施例驅動組件與蝴蝶閥的接合示意圖，如圖所示，本實用新型為一種節流裝置，包含有一閥門組件10以及一驅動組件20。該閥門組件10包含有一流道件11、一通孔12以及一蝴蝶閥13。該通孔12設于該流道件11以供一流體通過，該流體在此可為一氣體，該蝴蝶閥13設置于該通孔12以控制該通孔12為開通或關閉，該蝴蝶閥13包含一轉軸131以及至少一與該轉軸131連接的葉片132，該轉軸131穿設該流道件11且向外延伸，該葉片132在此為兩片，分別連接于該轉軸131上朝該轉軸131相反的兩側延伸，該葉片132的外輪廓與該通孔12的截面形狀相對應，使該葉片132得以隨著該轉軸131的轉動而開通或關閉該通孔12。
[0031]該驅動組件20包含一第一套筒21、一齒輪組22以及一驅動單元23，該第一套筒21與該轉軸131連接，其具有一外環齒面214，該第一套筒21包含有一第一軸孔211、至少一第一定位孔212以及至少一第一定位件213,該第一軸孔211供該轉軸131插入,該第一定位孔212在此以兩個為舉例，分別與該第一軸孔211連通，而該第一定位件213亦為兩個，分別對應插入該第一定位孔212以抵頂插入該第一軸孔211的該轉軸131，而將該轉軸131固定于該第一軸孔211內，在本實施例中，該第一定位孔212可為一螺孔,該第一定位件213可為一對應該螺孔的螺絲，較佳為采用一止付螺絲，但并不以此為限制。
[0032]該齒輪組22與該第一套筒21嚙合，包含有一蝸桿221以及一降速齒輪222，該蝸桿221 —端與該驅動單元23嚙合，相對的另一端與該降速齒輪222嚙合，該蝸桿221的該兩端具有相異的齒面，令該降速齒輪222具有一慢于該驅動單元23的轉速。該降速齒輪222設置于該蝸桿221與該第一套筒21之間,包含有一第一環齒222a以及一與該第一環齒222a疊置的第二環齒222b，該第一環齒222a與該蝸桿221嚙合，該第二環齒222b與該第一套筒21的該外環齒面214嚙合，在本實例中，該第二環齒222b具有大于該第一環齒222a的一直徑以及一齒隙，如此，通過該降速齒輪222的降速，該第一套筒21即具一慢于該降速齒輪222的轉速，而能緩慢的帶動該轉軸131，精準的調整該蝴蝶閥13的一轉動位置。另夕卜，在本實施例中，該驅動組件20更可包含一防塵殼體24，該防塵殼體24連接于該流道件11與該齒輪組22之間，在此為通過至少一組對應的螺絲與螺孔鎖合，與該流道件11連接，該防塵殼體24罩覆該齒輪組22，以減少該齒輪組22受到外界的一灰塵污染。
[0033]該驅動單元23與該齒輪組22嚙合，在本實例中，該驅動單元23包含一馬達231、一傳動齒輪231a以及一散熱件232，該馬達231的一傳動端套接有該傳動齒輪231a，傳動齒輪231a與該蝸桿221嚙合，藉以驅動該蝸桿221，該散熱件232與該馬達231為相鄰設置，以對運轉中的該馬達231進行散熱。
[0034]再請搭配參閱圖4所示，為本實用新型一實施例檢測模塊與蝴蝶閥的接合示意圖，該驅動組件20更包含一檢測模塊25,該檢測模塊25包含一第二套筒251、一第一檢測組件252以及一第二檢測組件253，該第二套筒251與該轉軸131套接而與該轉軸131連動，包含有一第二軸孔251a、至少一第二定位孔251b以及至少一第二定位件251c，該第二軸孔251a供該轉軸131插入，該第二定位孔251b在此以兩個為舉例，分別與該第二軸孔251a連通,而該第二定位件251c亦為兩個,分別對應插入該第二定位孔251b以抵頂插入該第二軸孔251a的該轉軸131，使該第二套筒251與該轉軸131連動，在本實施例中，該第二定位孔251b可為一螺孔，該第二定位件251c可為一對應該螺孔的螺絲，較佳為采用一止付螺絲，但并不以此為限制。
[0035]該第一檢測組件252為設置于該第二套筒251上，該第二檢測組件253相對該第一檢測組件252固定于一平臺，如此一來，該第一檢測組件252得隨該第二套筒251轉動而具有一相對該第二檢測組件253的旋轉行程，于本實用新型中，該第一檢測組件252與該第二檢測組件253為一組相互配合的位置感測器，即利用兩者的配合，檢測該第一檢測組件252相對該第二檢測組件253的位置，可利用光、電、磁、機械或其他類似的原理。在本實施例中，該第一檢測組件252包含至少一光遮片252，該第二檢測組件253包含至少一光檢測單元253，該光遮片252為固定于該第二套筒251上且隨著該第二套筒251的轉動而連動，該光檢測單元253為對應該光遮片252設置，在此為相對該光遮片252固定于一平臺。如此，當該轉軸131轉動時，將帶動固定于該第二套筒251上的該光遮片252轉動，該光檢測單元253因該光遮片252的位置改變使得所測得的一光量產生變化，藉此檢測該轉軸131的轉動位置，以判斷該蝴蝶閥13為處于開通或是阻擋該通孔12的位置。
[0036]進一步來說，于本實用新型中，該光遮片252相對該轉軸131具有一當該第二定位件251c插入該第二定位孔251b的固定位置，以及一當該第二定位件251c脫離該第二定位孔251b的調校位置，于該固定位置時，該光遮片252隨該轉軸131同軸連動，而可供使用者操作該節流裝置的啟閉；然于該調校位置時，該光遮片252將不隨該轉軸131同軸連動，此時可供使用者調整該光遮片252相對該轉軸131的轉動位置，以達檢測校準的目的。此外，當該節流裝置需要進行清潔保養時，只需將該流道件11與該防塵殼體24分離，再進一步將該第一套筒21及該第二套筒251上分別固定該轉軸131的該第一定位件213以及該第二定位件251c拆除，即可容易的將該閥門組件10與該驅動組件20分離，取下該防塵殼體24，進行對該齒輪組22的清潔保養。而當該齒輪組22與該第一套筒21之間的嚙合因松動，而使得該蝴蝶閥13的一既定角度位置偏移時，僅需將該第二套筒251上的該第二定位件251c松開，即可容易的相對該轉軸131轉動該第二套筒251，調整對該光遮片252與該光檢測單元253之間的一對位，使該檢測模塊25能正確判讀該蝴蝶閥13的該轉動位置。
[0037]綜上所述，由于本實用新型藉由設置該齒輪組、該第一套筒、該防塵殼體以及該檢測模塊，至少具有下列優點:
[0038]1.本實用新型于該第二套筒設置該第二軸孔、該第二定位孔以及該第二定位件，若該齒輪組發生錯位(即其中一齒輪脫離正確的轉動位置)，由于該第一檢測組件通過該第二套筒而與該第一套筒和該轉軸連動，使得該第一檢測組件與該第二檢測組件將誤判該蝴蝶閥的作動，例如:該第一檢測組件與該第二檢測組件檢測該蝴蝶閥為關閉，但該蝴蝶閥實際上并未完全關閉的狀況時，使用者得藉由該第二定位件的插入與否，決定該第二套筒及其上的該第一檢測組件是否與該轉軸連動或脫離，以調校該第一檢測組件與該第二檢測組件相對該轉軸處于一正確的位置，以補償該齒輪組錯位造成的轉動誤差。
[0039]2.本實用新型使用該齒輪組進行傳動，不僅避免現有使用一皮帶進行傳動容易磨耗以及滑動的問題，還利用該蝸桿搭配該降速齒輪，以降低該驅動單元對于該轉軸的驅動速度，能更精準的調整該蝴蝶閥的轉動位置。
[0040]3.該齒輪組在該防塵殼體的罩覆之下，可減少受到外界的該灰塵污染，并且可防止異物進入該齒輪組中而干擾其作動。
[0041]4.本實用新型只需將該流道件與該防塵殼體分離，再把該第一套筒與該第二套筒上的該第一定位件與該第二定位件拆除，即可容易的將該閥門組件與該驅動組件分離，對該齒輪組進行清潔保養或更換耗材。
[0042]當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據本實用新型作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬于本實用新型所附的權利要求的保護范圍。
【權利要求】
1.一種節流裝置，其特征在于，包含有: 一閥門組件，該閥門組件包含有一流道件、一供一流體通過并設于該流道件的通孔以及一設置于該通孔以控制該通孔為開通或關閉的蝴蝶閥，該蝴蝶閥包含一穿設該流道件且向外延伸的轉軸； 一與該閥門組件相接的驅動組件，該驅動組件包含一與該轉軸套接的第一套筒、一與該第一套筒嚙合的齒輪組以及一與該齒輪組嚙合的驅動單元；以及 一檢測該蝴蝶閥為開通或關閉該通孔的檢測模塊，該檢測模塊包含一與該轉軸套接而與該轉軸連動的第二套筒、一設置于該第二套筒的第一檢測組件以及一相對該第二套筒設置且與該第一檢測組件配合的第二檢測組件； 其中，該第二套筒包含一供該轉軸插入的第二軸孔、至少一與該第二軸孔連通的第二定位孔以及至少一對應插入該第二定位孔以抵頂該轉軸使該第二套筒與該轉軸連動的第二定位件。
2.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該第一套筒包含一供該轉軸插入的第一軸孔、至少一與該第一軸孔連通的第一定位孔以及至少一對應插入該第一定位孔以抵頂該轉軸而將該轉軸固定于該第一軸孔內以使該轉軸與該第一套筒連動的第一定位件。
3.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該驅動組件更包含一與該流道件連接并罩覆該齒輪組的防塵殼體。
4.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該第二檢測組件相對該第一檢測組件固定于一平臺，令該第一檢測組件得隨該第二套筒轉動而具有一相對該第二檢測組件的旋轉行程。
5.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該第一檢測組件包含至少一固定于該第二套筒且與該第二套筒連動的光遮片，該第二檢測組件包含至少一相對該光遮片固定于一平臺的光檢測單元，該光遮片與該光檢測單元相互配合，且該光遮片得隨該第二套筒轉動而具有一相對該光檢測單元的旋轉行程。
6.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該第一套筒具有一外環齒面，該齒輪組包含一與該驅動單元嚙合的蝸桿以及一嚙合于該蝸桿與該第一套筒之間的降速齒輪，該降速齒輪包含一與該蝸桿哨合的第一環齒以及一與該外環齒面哨合并與該第一環齒層疊的第二環齒。
7.根據權利要求6所述的節流裝置，其特征在于，該第二環齒具有大于該第一環齒的一直徑以及一齒隙。
8.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該驅動單元包含一馬達、一套接于該馬達的傳動齒輪以及一與該馬達相鄰設置的散熱件。
9.根據權利要求1所述的節流裝置，其特征在于，該蝴蝶閥包含至少一與該轉軸連接以封閉該通孔的葉片。
【文檔編號】F16K1/22GK203926834SQ201420197606
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月22日 優先權日:2014年4月22日
【發明者】羅文志, 鄧翔明 申請人:微芯科技有限公司