專利名稱：探測裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種探測裝置(probing apparatus)，更詳細地說，是指一種能夠探測來自布置在絕緣基板上的被測器件的微信號的探測裝置，該絕緣基板布置有多個彼此間隔的器件。
背景技術：
液晶顯示器產品包括在玻璃基板上形成多個透明電極(transparentelectrodes)圖樣，并且，如果必要的話，進一步包括在玻璃基板上形成電路元件，諸如晶體管、二極管、電阻和電容等。為了提高生產率，在同一個玻璃基板的預定圖樣中布置了多個液晶顯示器塊。借助于照相平版印刷術技術或者類似技術，通過單一過程執行多個液晶顯示器塊的形成。例如，采用有一條邊長超過1m的正方形或矩形玻璃基板。在此玻璃基板的預定圖樣中總共可布置100個或者更多的液晶顯示器塊，每個塊的一條邊長為幾cm。
其上裝置有液晶顯示器元件的玻璃基板的檢驗，由探測裝置和測試儀在生產過程中或制成之后的合適時刻進行。在這種情況下，可以采用類似于一種集成電路傳統測量方法來檢查形成在玻璃基板上器件的特性。更明確地，玻璃基板上的器件測量需要一種探測裝置和一種連接于此探測裝置的合適的測量裝置。這種探測裝置包括用于支撐并可將玻璃基板移至任意位置的臺架、用于向玻璃基板上每個顯示元件的測量端子輸入測量信號或從測量端子接收輸出測量信號的接觸式或非接觸式探測器，以及用于連接探測器和測量單元的連接端口。
探測裝置執行的測量在簡單情況下包括內部開路或者內部短路的布線圖樣測試(開路-短路測試)，或者復雜情況下包括有關晶體管工作特性的測試和液晶顯示器開啟操作的測試。例如，日本專利早期公開(Laid-open)號No.11-65475公開一種探測裝置，該探測裝置使用支撐顯示器面板的XY臺架并通過探測器測量顯示面板的特性。
玻璃基板上器件的特性測量，特別是液晶顯示器上晶體管特性測量，或者是為每個像素電路中的ITO(氧化銦錫)電極提供電位的像素保持電容測量，是弱電流測量。所以，如果有大的內部(或外部)噪聲出現，就不能保證足夠的測量精度，因此，包括臺架和探測器的空間都采用屏蔽。
然而，當采用大型玻璃基板以在其上形成如上所述的多個器件時，需要大的屏蔽空間來覆蓋移動范圍或覆蓋除玻璃基板整個面積之外的臺架移動范圍。例如，當玻璃基板是邊長為1m的正方形基板時，臺架在X方向和Y方向都額外需要1m的移動范圍。總體上看，需要的屏蔽面積等于邊長為2m的正方形面積。
如前所述，按照傳統技術，用于布置有多個器件的大型玻璃基板的探測裝置需要更大的屏蔽設備，結果是，探測裝置的大小和成本不可避免地會增加。
實用新型內容考慮到上述問題，本實用新型的一個優點在于提供一種探測裝置，此探測裝置能探測來自基板上器件的微信號而不要求大型屏蔽設備。
首先詳細說明本實用新型的原理。
本實用新型所述的探測裝置包括用于支撐絕緣基板的臺架和用于測量玻璃基板上被測器件特性的探測器，絕緣基板上布置有多個空間彼此間隔的器件，探測器用于向玻璃基板上的被測器件的測量端子輸入測量信號或從測量端子輸出測量信號以測量被測器件的特性。一般地，探測裝置會遭受對被測器件的微信號測量有負面作用的不同類型的噪聲，噪聲可粗略地分為3類來自相鄰器件的噪聲，來自探測裝置的噪聲，和來自待測器件上面的背景或空間噪聲。
來自相鄰器件到待測器件的噪聲取決于被測器件相對于相鄰器件的側面面積，同時，來自上面的背景噪聲取決于布置在絕緣基板上被測器件的頂面面積。一般地，被測器件的頂面與被測器件的側面相比足夠大，因此，來自相鄰器件的噪聲與背景噪聲相比很小，以至于可以忽略。
例如，液晶顯示器使用一種其上布置有晶體管、像素和布線圖樣的玻璃基板。對于SOI(絕緣體上硅技術)，使用了在其上形成半導體元件的絕緣基板。根據液晶顯示器的不同，玻璃基板上的器件厚度在幾μm的量級，因此，器件厚度與器件矩形頂面的一個邊長相比很小。器件矩形頂面的一個邊長在幾mm或者幾十mm的量級。
作為例子，假設器件放置在玻璃基板上并且彼此相隔5mm的間隙，每個器件3μm厚，并且其頂面大小為50mm×40mm，被測器件相對相鄰器件的側面面積為3μm×(被測器件的周長)＝3μm×180mm，同時，被測器件的頂面面積為50mm×40mm。顯然，被測器件的頂面面積與被測器件相對相鄰器件的側面面積相比很大。如上所述，根據絕緣基板上放置的并且彼此間隔的多個器件的一般布置，每個器件的厚度可以忽略，相應地從相鄰器件到被測器件的噪聲與來自上面的背景噪聲相比非常小。
因此，通過抑制來自探測裝置的噪聲和來自上面的噪聲，可以消除對被測器件微信號測量的負面影響。據此，本實用新型提供了一種如下配置的探測裝置。
更具體地，考慮到來自探測裝置的噪聲就來自于支撐絕緣基板的臺架底面，故使臺架接地可有效阻止噪聲。同時，通過提供接地的屏蔽罩，可使被測器件屏蔽掉來自上面的背景噪聲。
按照這種配置，被測器件放置在兩個屏蔽元件的中間。在這種情況下，確定臺架和屏蔽罩的大小是有效抑制噪聲從兩個屏蔽元件間隙進入的關鍵。臺架和屏蔽罩應具有大到足以覆蓋被測器件的面積。
為實現上述及其他相關優點，本實用新型提供一種用于探測來自絕緣基板上的被測器件的微信號的探測裝置，絕緣基板布置有多個彼此間隔的器件。本實用新型所述的探測裝置包括臺架、探測器和屏蔽罩。臺架支撐絕緣基板的底面，并連接到接地端子上。探測器從被測器件的測量端子輸入或輸出測量信號。屏蔽罩位于被測器件的頂面上方，并連接到接地端子上。屏蔽罩的相對面積不小于絕緣基板上被測器件的面積，并且不大于被測器件面積的4倍。
進一步地，根據本實用新型所述的探測裝置，屏蔽罩優選地是一個導電屏蔽板，該導電屏蔽板的平面與臺架的平面平行。
進一步地，根據本實用新型所述的探測裝置，接地端子的電位優選地與支撐臺架驅動單元的金屬罩的電位相同。
進一步地，根據本實用新型所述的探測裝置，被測器件優選地是一種包括放置在玻璃基板上透明電極的裝置，例如，透明電極是ITO電極。
根據本實用新型的上述配置，臺架電位保持在接地電位。具有接地電位的屏蔽罩位于被測器件頂面的上方，屏蔽罩的大小不小于被測器件的面積，并且不大于被測器件面積的4倍。換句話說，屏蔽罩的大小大于或等于被測器件的面積，并且小于或等于被測器件面積的4倍。
因而，沿屏蔽罩邊緣進入的背景噪聲能有效得到抑制。背景噪聲對被測器件無實質影響。之所以限制4倍的面積的原因如下。一般地，我們知道，對于微帶線或帶狀線時，屏蔽罩的寬度應該大于所屏蔽器件的寬度，并且優選地屏蔽罩的接地面積的寬度大約是被屏蔽器件寬度的2倍。從而，屏蔽罩的實際尺寸大于所屏蔽器件的面積，并且優選地，屏蔽罩的尺寸是被測器件的4倍。因此，屏蔽罩的尺寸不小于被測器件的面積且不大于被測器件面積的4倍。用這種方式，使得屏蔽罩面積大約是測量器件的4倍即可足夠有效地抑制噪聲的負面作用，而不要求覆蓋絕緣基板的整體。因此，本實用新型能探測基板上器件的微信號，而不要求大型屏蔽裝置。
進一步地，根據優選的實施例，屏蔽罩與臺架頂面平行，換句話說，臺架與屏蔽罩共同構成屏蔽結構，該屏蔽結構由連接到接地端子的平行平板組成。被測器件放置到平行平板的間隙空間中。因此，根據本實用新型的探測裝置配置簡單，還能充分地抑制外部噪聲的負面影響。
進一步地，根據優選的實施例，接地端子的電位與支撐臺架驅動單元的金屬罩的電位相同。移動機械部分和臺架保持相同的電位(即接地電位)。這對抑制從移動機械部分到臺架的噪聲是有效的。
進一步地，根據優選的實施例，被測器件是一種包括放置在玻璃基板上透明電極的器件，因此，本實用新型所述的探測裝置能用于液晶顯示器件。例如，實際使用的透明電極是ITO電極。這樣，本實用新型是能應用于有通用配置的液晶顯示器件。
如上所述，本實用新型所述的探測裝置能探測來自基板上器件的微信號，而不要求大型屏蔽裝置。
以下結合附圖詳細描述實施例，上述以及其他優點，即本實用新型的特點，會更加明顯。
附圖在說明書中作為說明書的一部分，描述了本實用新型的實施例，與說明書一起解釋了本實用新型的原理。附圖如下圖1A至1C分別是模擬測試及測得的背景噪聲示意圖，其說明了本實用新型的原理。
圖2是根據本實用新型優選實施例的探測裝置及其附近的配置示意圖。
圖3是根據本實用新型優選實施例的探測器及其附近的透視圖。
圖4是根據本實用新型優選實施例的探測器與器件之間位置關系的放大圖，其中虛線表示屏蔽罩。
圖5是根據本實用新型優選實施例的玻璃基板上按矩陣圖樣放置器件的平面圖。
圖6是根據本實用新型優選實施例的表示屏蔽罩尺寸與器件尺寸關系的平面圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的優選實施例詳細描述。首先，參考模擬測試結果描述本實用新型的原理。接著，詳細描述根據本實用新型優選實施例的探測裝置的實際配置。圖1A至1C分別是模擬測試及所測背景噪聲示意圖。模擬測試用來檢驗背景噪聲對絕緣基板上器件的影響。為了進行模擬測試，如圖1A至1C的左邊部分所示，硬質氯乙烯板12放置在絕緣樹脂臺10上。進一步的，銅片14放置在氯乙烯板12上。厚度為1mm的氯乙烯板12用來模擬絕緣基板，大小為5mm×5mm的銅片14用來模擬器件。為了測量銅片14可檢測噪聲，還使用了屏蔽電纜或同軸電纜20和頻譜分析儀26。屏蔽電纜20芯線(corewire)或中心導體16，芯線或中心導體的一端連接到銅片14，另一端連到頻譜分析儀26的測量部分22。頻譜分析儀26的測量部分22模擬測試儀的測量單元。屏蔽電纜20的防護編織物，或外導體18連接到頻譜分析儀26的殼體上，頻譜分析儀26的殼體連接到接地端子28上。
圖1A的右邊部分所示的頻譜分析儀的屏幕的X軸表示頻率(f)，其Y軸表示噪聲等級(dBm)。從0Hz到1MHz的頻率范圍都進行了測量。Y軸以10dB/div增加，滿刻度可達100dB。正如測量結果所表明的，測得的銅片14噪聲等級非常大。
圖1B為另一個例子，其中包括將鐵板30用來模擬金屬臺架。鐵板30放置在硬質氯乙烯板12下面，硬質氯乙烯板用來模擬厚度為1mm的絕緣基板。鐵板30連接到接地端子28上。與圖1A中所示相同的組件用相同的數字來表示。圖1B右邊部分為頻譜分析儀26的屏幕具有與圖1A所示的屏幕相同的量程。圖1B所示的測量結果表明，在氯乙烯板(即絕緣基板)下提供導體臺架且將導體臺架連到接地端子可使噪聲等級降低-20dB，甚至更多。
圖1C為進一步的另一個例子，其中包括了一個電路襯底32，電路襯底32的一側平面為全銅覆蓋層。電路襯底32的銅層位于銅片14上方。電路襯底32的銅層與銅片14正對。該銅層用于模擬屏蔽罩。銅層連接到接地端子28上。其余配置與圖1B的相同。圖1C右邊部分所示為頻譜分析儀26的屏幕具有與圖1A所示的屏幕相同的量程。圖1C所示的測量結果表明，在銅片(即器件)上提供導電屏蔽層且將屏蔽罩接地，可進一步降低噪聲等級。這種情況下的噪聲等級在測量誤差或測量系統噪聲的范圍內。
前面的描述很明白，上述模擬測試已表明，當銅片放置在氯乙烯板上來模擬器件放置在絕緣基板上時，銅片上測得的噪聲等級十分大。另一方面，當用來模擬臺架的鐵板接地后，噪聲可以大大降低。而且，當用來模擬屏蔽罩的電路襯底的銅層完全覆蓋銅片頂面并接地后，噪聲進一步降低。圖1B和1C的模擬測試中，并不需要能覆蓋整個測量系統的大型屏蔽裝置，諸如屏蔽間或者屏蔽殼等。這種情況下需要的元件限于接地臺架和板狀元件，該板狀元件具有能完全覆蓋用來模擬被測器件的銅片的銅層。因此，上述模擬測試表明，探測和測量微信號或低等級信號不需要大型屏蔽裝置。
下一步，詳細描述根據本實用新型優選實施例的實際探測裝置。
以下描述中，微信號的測量目標是放置在玻璃基板上的液晶顯示器布線圖樣。進一步的，液晶顯示器可以包括電路元件。例如，實施例中的液晶顯示器是即將裝配好的液晶顯示器或者是完全裝配好的液晶顯示器。例如，液晶顯示器可以是無源的也可以是有源的。進一步的，實施例中的器件不限于安置在玻璃基板上器件，因此還包括放置在絕緣基板上的器件，諸如是放置在LSI晶片上、或SOI(絕緣體上硅)上、或相似的半導體器件上的器件。
進一步的，實施例中表示頻率的數值、玻璃基板和器件的尺寸、或者其他參數等等，都僅僅是例子。只要滿足能夠實現緊湊屏蔽罩的下述條件，任何其他數值也都可以使用。進一步的，向器件的測量端子輸入信號或者輸出信號以測量器件特性的探測器，它是一種具有多個探針的接觸式探測器。然而，非接觸式探測器也可使用。例如，可以采用探測器和測量端子之間的高頻通信進行特性測量。探測器可能配備光傳感器，器件中執行光測量部分可用作特性測量的測量端子。
圖2是探測裝置50的實際布置圖。除了探測裝置50的組成部件之外，圖2還給出玻璃基板40和多個器件42，器件42，作為測試對象彼此間隔地以分散形式放置在玻璃基板上。每個器件42都有透明電極的布線圖樣，這些透明電極構成液晶顯示器的一部分。
進一步的，除了探測裝置50的組成部件之外，圖2還給出連接到探測裝置50的測量裝置80(圖中用虛線表示)。測量裝置80能測量器件42(即測量目標)的電特性。測量裝置80由測量部分82和殼體84組成，測量部分82包括測量控制電路和測量電路，測量裝置80的殼體84通過足夠短粗的導線連接至接地端子54。探測裝置50能探測來自其中一個想要的間隔放置在玻璃基板40上的器件42的微信號。探測裝置50包括機械裝置60的臺架68、臺架68上的屏蔽罩70、探測器72和信號電纜78等。信號電纜78還包括連接到測量裝置80的連接端子77。
除了臺架68，機械裝置60還包括金屬底座62、石頭或其他類似物質做的減震器64，和移動機械裝置66。用于移動臺架的移動機械裝置66裝配在減震器64上。臺架68連接到移動機械裝置66上。移動機械裝置66既可在X和Y兩個方向上移動臺架68，也可以圍繞Z軸(圖中用θ旋轉表示)旋轉臺架68。進一步的，雖然圖中沒有標明，也提供了用來控制移動機械裝置66的控制部分。控制部分通過信號線連接到測量裝置80，從而機械裝置60和測量裝置80可協同工作。
移動機械裝置66具有金屬部分，通過金屬部分將移動機械裝置66連接至基座62。基座62由一段足夠粗短的導線連接至接地端子52，之所以通過基座62將移動機械裝置66連接至接地端子52的原因在于基座62是大塊與導線相比其電阻很低的金屬。如果還有其他電阻更小的器件，移動機械裝置66就可以直接連接到接地端子52上，不必依靠包括基座62在內的電路。無須多言，測量裝置80的接地端子54和機械裝置60的接地端子52可由共同的接地端子來提供。
機械裝置60的臺架68能支持或支撐玻璃基板40(即測量目標)。移動機械裝置66用來使裝配在臺架68上的玻璃基板40移動至任意位置或者向任意方向移動。臺架68是個平坦的板式工作臺，在臺架平坦的上表面上至少提供一金屬層。臺架68的金屬層通過又短又粗的導線連到基座62上，使得臺架68在預定的移動范圍內自由移動。換句話說，考慮到機械裝置60的裝配，希望選擇具有最小電阻的電路講臺架68連接到接地端子52。
探測器72位于機械裝置60的臺架68之上，通過探針與器件42的測量端子接觸，從而能向器件42輸入測量信號或者向接收器件42輸出測量信號。當器件42有多個測量端子時，探測器72應該有多個探針。探測器72通過信號電纜78與測量裝置80的連接端子81相連。信號電纜78具有與測量裝置80的連接端子81相連的連接端子77。
信號電纜78包括傳輸信號的芯線74和對芯線74進行電磁屏蔽的屏蔽編織物76。芯線74一端連接至探測器72的探針，另一端通過連接端子77的信號線連接至測量器件80的測量部分82。屏蔽編織物76通過連接端子77的蓋連接至測量器件80的殼體84。換句話說，屏蔽編織物76通過測量器件80的殼體84連接至接地端子54。之所以這樣選擇電路是因為測量器件80的殼體84是一個大型金屬殼，以及相應地具有比導線的電阻小的電阻。然而，當有其他具有更小電阻的連接器件可用時，屏蔽編織物76可直接連接至接地端子54或接地端子52，而不靠包含測量裝置的殼體84的電路。
位于機械裝置60的臺架68上方并且位于探測器72周圍的屏蔽罩70是一個電磁屏蔽板，它在測量被測器件42的微信號時能消除外部噪聲負面影響。更具體地，屏蔽罩70與臺架68的頂面基本平行。其上裝配有器件42的玻璃基板40放置在屏蔽罩70和臺架68之間。屏蔽罩70由金屬板構成。屏蔽罩70的底面與玻璃基板40上的器件42間隔一個預定的間隙，因而屏蔽罩70與器件42不會直接接觸。可選擇地，屏蔽罩70可由板狀構件構成，板狀構件有一個金屬層與臺架68的頂面相對。金屬板或者金屬層的金屬部分連接至信號電纜78的屏蔽編織物76。從而，屏蔽罩70通過測量裝置80的殼體84連接至接地端子54。而且，金屬部分可以與接地端子52直接相連。
圖3是探測器72及其附近的透視圖，圖4是探測器72與器件42之間位置關系的放大圖，其中虛線表示屏蔽罩70。如圖3和圖4所表明的，器件42有多個測量端子92，探測器72具有相應的探針94。根據圖4所示的例子，測量端子92表示成一個端子區，因為它們與器件42的主體相比尺寸較小。
探針94連接探測器72的主體上，從而使得探針94的遠端測量端子92接觸。探針94是彼此電絕緣的導電針。例如，探針94可由連接到探測器72主體上多個彎頭針構成。進一步的，探針94可由的多個環狀電線構成，環狀電線的近端嵌在探測器72主體中，遠端從探測器主體伸出并成配置成針型。一個實際的例子是，所謂的探針卡可當作配備了探針94的探測器72來用。
一種柔性基板90是其上放置多個導線布線圖樣的柔性絕緣基板。柔性基板90能在探測器72和信號電纜78之間互連信號。更具體地，信號電纜78包括多芯線74，芯線由適當的絕緣材料互相隔開。信號電纜的屏蔽編織物76作為電磁屏蔽構件完全包裹著芯線74。進一步的，絕緣構件用作信號電纜78的鎧裝。因此，信號電纜78重量大且不易彎曲。這正是在探測器72和信號電纜78之間提供柔性基板90的原因。柔性基板90允許探測器72相對自由地移動，使得探測器72與器件42接觸或從器件42移動探測器72。柔性基板90上每個布線的一端連接至多個探測器94之一的尾端。柔性基板90每個布線的另一端連接至信號電纜78的多個芯線74之一上。
圖5是玻璃基板40上按矩陣圖樣放置器件42的示意圖。圖6是表明屏蔽罩70與器件42大小關系的示意圖。每個器件42具有L1(橫向)×L2(縱向)的尺寸，相鄰器件42橫向間隔為S1，縱向間隔為S2。例如，玻璃基板40大小為1m(橫向)×1.4m(縱向)。每個器件42的尺寸L1＝50mm，L2＝40mm，間隔S1和S2為5mm(即S1＝S2＝5mm)。上述尺寸的器件42與應用的標準液晶顯示器相符，例如，應用于移動電話的標準液晶顯示器。一般地，器件42的厚度由布線線寬表示，例如，一種實用的線寬為3μm。
探測裝置50的屏蔽罩70具有如下功能。
首先詳細描述屏蔽罩70和允許測量微信號的器件42的關系。更明確地，將描述的是優選用于測量按上述尺寸和設計的器件42的微信號的屏蔽罩70尺寸。
正如本實用新型的原理所描述的，對器件42的微噪聲產生負面作用有3類噪聲來自相鄰器件42的噪聲；來自機械裝置60驅動裝置的噪聲，和來自上面的背景噪聲。
根據上述尺寸和厚度的器件42，來自相鄰器件42的噪聲與背景噪聲相比足夠小，從而可以忽略。
下一步，通過臺架68和接地端子52的緊固地連接，來自機械裝置60的噪聲可以得到充分抑制。因此，如附圖2所描述的，臺架68希望通過允許臺架68移動的短金屬線連接至與接地端子52相連的基座62。通過屏蔽罩70和接地端子54的緊固連接，來自上面的背景噪聲可以得到充分抑制。換句話說，屏蔽罩70希望保持在接地電位。
如上所述，本實施例的特點在于將屏蔽罩70連接至接地端子54或者接地端子52，在平行平板(即在都與接地端子相連的屏蔽罩70和臺架68之間)之間形成屏蔽間隙，并且將被測器件42放置于屏蔽間隙中。本實施例的配置能夠在測量器件42的微信號的期間，消除相對于被測器件42的上方的(over-side)空間耦合，并且抑制外部噪聲的負面作用。在這種情況下，屏蔽罩70應足夠大以至于能完整地罩住被測器件42。因為，在由平行平板組成的屏蔽結構的邊緣處或外圍開口處，電力線(electric line of force)是向內彎曲的弧線。
為了避免上述缺點，屏蔽罩的寬度應該更寬，如相對于微帶線與帶狀線那樣。優選地，屏蔽罩70接地面積的寬度大約是每個器件的2倍。
圖6表示屏蔽罩70的尺寸與器件42的尺寸的關系。在屏蔽罩70的大小為L3×L4時，其最小情況應該滿足L3＝L1，L4＝L2。除此之外，正如微帶線與帶狀線的關系那樣，希望能滿足條件L3＝2×L1，L4＝2×L2。進一步的，考慮到器件42測量端子的位置，探測器72與屏蔽罩70的位置關系應該是最優的，從而實現圖6所示的位置關系。當器件42形狀不是矩形時，希望屏蔽罩的相對面積優選地是玻璃基板上被測器件面積的4倍。
按照上述例子，屏蔽罩70的大小是100mm×80mm，或者更大。從而，這樣的尺寸與玻璃基板40相比很小，因此，上述實施例能探測器件的微信號，而不用屏蔽整個探測裝置50的大型屏蔽裝置。
如上所述，屏蔽罩的面積不小于器件的面積，而且優選地是器件面積的4倍。屏蔽罩和臺架兩者都接地，共同形成由平行平板組成的屏蔽間隙。器件放置在屏蔽間隙中，因此，上述實施例能夠在測量基板上每個器件的微信號期間，抑制外部噪聲的負面作用。
雖然本實用新型是由典型實施例詳細描述的，顯然本實用新型不限于所公開的典型實施例。以下權利要求的范圍與最寬的解釋相一致，從而包括各種改進型、等效結構、和等效功能。本申請要求較早的于2005年1月12日申請的日本專利申請No.2005-005611的優先權，，其在這里作為參考將其整體合并在一起。
權利要求1.一種探測裝置，所述探測裝置用于探測絕緣基板上被測器件的微信號，所述絕緣基板上布置有多個彼此間隔的器件，所述探測裝置包含臺架，其用于支撐所述絕緣基板的底面并與接地端子連接；探測器，其用于向所述被測器件的測量端子輸入測量信號或從所述被測器件的測量端子輸出測量信號；以及屏蔽罩，其位于所述被測器件的頂面上方并與所述接地端子連接，其特征在于所述屏蔽罩的相對面積不小于所述絕緣基板上被測器件的面積并且不大于所述被測器件面積的4倍。
2.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于所述屏蔽罩是導體屏蔽板，所述導體屏蔽板具有與所述臺架表面平行的平面。
3.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于所述接地端子的電位與支持所述臺架的驅動單元的金屬殼體的電位相同。
4.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于所述被測器件是一包括在所述玻璃基板上布置透明電極的器件。
5.如權利要求4所述的探測裝置，其特征在于所述透明電極是銦錫氧化物電極。
專利摘要本實用新型公開了一種探測裝置，探測裝置包括機械裝置。機械裝置包括基座、減震器、移動機械裝置和臺架，臺架經由基座連接至接地端子。探測器位于臺架上方，通過信號電纜將探測器連接至測量裝置的測量端子。信號電纜的連接端子與測量裝置的測量端子相連。屏蔽罩位于玻璃基板上的被測器件的上方，其中玻璃基板由臺架支撐，屏蔽罩的面積不小于被測器件的面積且不大于被測器件面積的4倍。屏蔽罩接地。
文檔編號G01R31/00GK2869924SQ20062000045
公開日2007年2月14日 申請日期2006年1月11日 優先權日2005年1月12日
發明者淵山正毅, 清田典靖, 岸田明人 申請人:株式會社東京陰極研究所, 安捷倫科技有限公司