一種空氣式電容差壓傳感器的制作方法

本實用新型涉及傳感器技術領域，具體涉及一種差壓傳感器。

背景技術：

作為工業用的差壓傳感器，通常使用電容式差壓傳感器。電容式差壓傳感器的測量原理是將彈性元件的位移轉換為電容量的變化，以測壓膜片作為電容的可動極片，它與固定極板組成可變電容器，可知被測壓力值，固定電極中間被夾緊的彈性平膜片作為可動電極，從而組成兩個電容。參閱圖1所述，目前普遍使用的硅油差壓傳感器，整個膜盒用隔離膜片01密封，在隔離膜片01感受兩側壓力的作用，通過硅油02傳壓使彈性膜片可動極板03產生位移，可動極板03將向低壓側靠近，電容極板間距離的變化，從而引起兩側電容器電容值的改變。可變電極是由于硅油的傳導發生變化，由于硅油流動性慢，對于氣體壓力的變化是間接響應，時間響應慢，單邊過載恢復零位也更加緩慢。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于解決上述問題，提供一種響應速度快，單邊過載恢復零位時間短的空氣式電容差壓傳感器。

為了解決上述問題，本實用新型采用的技術方案如下：

一種空氣式電容差壓傳感器，其特征在于，主要包括：

可動電極，所述可動電極為至少具有根據在一個面以及另一個面受到的壓力可發生位移的傳感器隔膜；

固定電極，所述固定電極為絕緣層內側的凹球面形金屬片，分為第一固定電極和第二固定電極；

傳感器外罩，所述傳感器外罩具有容納所述可動電極和固定電極的傳感器腔室；

第一導壓通路，將第一流體壓力引導至所述傳感器腔室的第一內壁面的第一導壓通路；

第二導壓通路，將第二流體壓力引導至所述傳感器腔室的與所述第一內壁面相對的第二內壁面的第二導壓通路；

電路板，所述電路板可將電容的變化轉換為電壓。

本實用新型的優化，所述固定電極的絕緣層為玻璃或者聚苯硫醚樹脂。

進一步優化，所述固定電極的凹球面形金屬片為銅片。

進一步優化，所述電路板外側設有屏蔽罩。

進一步優化，所述傳感器外罩包括上罩和下罩，所述上罩和下罩之間通過螺栓固定連接，將固定電極和可動電極固定其中。

進一步優化，所述上罩縱向設有第一導壓通路，所述下罩縱向設有第二導壓通路；所述第一固定電極和第二固定電極分別設有第一通氣孔和第二通氣孔。

本實用新型的工作原理為：參閱圖2所示，測試氣體從第一導壓通路和第二導壓通路進入差壓傳感器的檢測腔內，通過第一固定電極和第二固定電極上的第一通氣孔和第二通氣孔分別作用于可動電極的傳感器膜片的兩側，可動電極的傳感器膜片產生位移，可動極板將向低壓側靠近，電容極板間距離的變化，從而引起兩側電容器電容值的改變。

與現有技術相比，本實用新型的優點為：測試氣體直接作用于可動電極的傳感器膜片的兩側，提高了檢測的靈敏度，響應速度快，單邊過載恢復零位時間短。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為硅油差壓傳感器工作原理示意圖；

圖2為本實用新型一種空氣式電容差壓傳感器工作原理示意圖；

圖3為本實用新型一種空氣式電容差壓傳感器組裝前的結構示意圖；

圖4為本實用新型一種空氣式電容差壓傳感器組裝后的結構示意圖；

圖5為本實用新型將電容變化值轉換為電壓值的電路圖；

附圖標記說明：可動電極-1、固定電極-2、第一固定電極-21、第二固定電極-22、凹球面形金屬片-23、傳感器外罩-3、上罩-31、下罩-32、螺栓-33、第一導壓通路-41、第二導壓通路-42、電路板-5、屏蔽罩-6。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的優選實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

參閱圖3和圖4所示，本實用新型提供一種空氣式電容差壓傳感器，其特征在于，主要包括：

可動電極1，所述可動電極1為至少具有根據在一個面以及另一個面受到的壓力可發生位移的傳感器隔膜；

固定電極2，所述固定電極為絕緣層內側的凹球面形金屬片，分為第一固定電極21和第二固定電極22；

傳感器外罩3，所述傳感器外罩3具有容納所述可動電極1和固定電極的傳感器腔室；

第一導壓通路41，將第一流體壓力引導至所述傳感器腔室的第一內壁面的第一導壓通路；

第二導壓通路42，將第二流體壓力引導至所述傳感器腔室的與所述第一內壁面相對的第二內壁面的第二導壓通路；

電路板5，所述電路板5可將電容的變化轉換為電壓。

本實用新型的優化，所述固定電極2的絕緣層為玻璃或者聚苯硫醚樹脂。

進一步優化，所述固定電極2的凹球面形金屬片23為銅片。

進一步優化，所述電路板5外側設有屏蔽罩6。

進一步優化，所述傳感器外罩3包括上罩31和下罩32，所述上罩31和下罩32之間通過螺栓33固定連接，將固定電極2和可動電極1固定其中。

進一步優化，所述上罩31縱向設有第一導壓通路41，所述下罩32縱向設有第二導壓通路42；所述第一固定電極21和第二固定電極22分別設有第一通氣孔和第二通氣孔。

本實用新型的工作原理為：參閱圖2所示，測試氣體從第一導壓通路和第二導壓通路進入差壓傳感器的檢測腔內，通過第一固定電極和第二固定電極上的第一通氣孔和第二通氣孔分別作用于可動電極的傳感器膜片的兩側，可動電極的傳感器膜片產生位移，可動極板將向低壓側靠近，電容極板間距離的變化，從而引起兩側電容器電容值的改變。

與現有技術相比，本實用新型的優點為：測試氣體直接作用于可動電極的傳感器膜片的兩側，提高了檢測的靈敏度，響應速度快，單邊過載恢復零位時間短。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中的描述僅為本實用新型的優選例，本實用新型并不受上述優選例的限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還可有各種變化和改進，這些變化和改進都落入本實用新型要求保護的范圍內。

盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。