一種差壓傳感器的封裝結構的制作方法

本實用新型涉及到一種電子元器件的封裝結構，尤其涉及到一種差壓傳感器的封裝結構。

背景技術：

業內人士都知道，汽車尾氣處理中的燃油顆粒過濾系統的差壓傳感器用于測量燃油顆粒捕集器前后通道的壓力差，并將得到的壓力信號送至電子控制單元(ECU)，ECU根據壓力差值決定“再生”觸發動作，將捕集器內的顆粒物燃燒干凈，使柴油車的尾氣排放達到國V標準要求。

眾所周知，汽車排放出來的尾氣，溫度比較高，傳統的差壓傳感器并不能勝任。此外，傳統壓差傳感器的結構比較復雜，加工比較困難，而且，制造成本較高。

技術實現要素：

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種結構簡單、并可適應汽車尾氣等高溫環境的差壓傳感器的封裝結構。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：一種差壓傳感器的封裝結構，包括：耐高溫基板、設置在耐高溫基板上的微機電系統芯片(MEMS)、以及連接微機電系統芯片和耐高溫基板的綁定金線，所述的微機電系統芯片通過固晶膠固定在耐高溫基板上，耐高溫基板上正對著所述的微機電系統芯片開設有貫穿耐高溫基板的下進氣孔，耐高溫基板上在安裝有微機電系統芯片的一面還設置有金屬罩殼，該金屬罩殼將所述的微機電系統芯片罩在其中，金屬罩殼中還設置有保護膠，保護膠將綁定金線和微機電系統芯片封在其中，金屬罩殼的頂壁上正對著所述的微機電系統芯片開設有上進氣孔。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的上進氣孔正對著所述微機電系統芯片的中央。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的下進氣孔正對著所述微機電系統芯片的中央。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的保護膠與金屬罩殼的頂壁之間留有間隙。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述上進氣孔的截面積不小于所述微機電系統芯片上表面面積的二分之一。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的金屬罩殼由銅、鐵或鋁制成，表面鍍有鎳、鋅或金。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的保護膠為果凍膠。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的固晶膠為UV固晶膠。

作為一種優選方案，在所述的一種差壓傳感器的封裝結構中，所述的耐高溫基板為陶瓷基板。

本實用新型的有益效果是：由于采用了在高溫環境下不變形、不易腐蝕的陶瓷基板等耐高溫基板，并在陶瓷基板上設置了金屬罩殼，將采用固晶膠固定在耐高溫基板上的MEMS芯片罩在其中，整個封裝結構非常簡單，可以適應汽車尾氣等高溫環境，而且，固晶膠使得MEMS芯片背部中心位置的下進氣孔周邊得到了很好的密封，并且，MEMS芯片固定產生的引力不會影響到壓力傳感器參數的線性輸出；此外，覆蓋在MEMS芯片表面和綁定金線上的保護膠，使得MEMS芯片和綁定金線不與空氣接觸，而且，該保護膠還作為一種傳遞壓力的介質，通過此介質將外界壓力傳遞到MEMS芯片的測量表面，使得壓力的傳遞更加精確。

附圖說明

圖1是本實用新型所述的一種差壓傳感器的封裝結構示意圖。

圖中的附圖標記為：1、陶瓷基板，11、下進氣孔，2、微機電系統芯片，3、綁定金線，4、果凍膠，5、UV固晶膠，6、金屬罩殼，61、上進氣孔。

具體實施方式

下面結合附圖，以2.0毫米見方的MEMS芯片為例詳細描述本實用新型所述的一種差壓傳感器的封裝結構的具體實施方案。

如圖1所示，本實用新型所述的一種差壓傳感器的封裝結構，包括：耐高溫基板1和設置在耐高溫基板1上的微機電系統芯片2、以及連接微機電系統芯片2和耐高溫基板1的綁定金線3，所述的微機電系統芯片2通過UV固晶膠5固定在耐高溫基板1上，耐高溫基板1上正對著所述的微機電系統芯片2的中央開設有貫穿耐高溫基板1的下進氣孔11，下進氣孔11通常為圓孔，其直徑不小于MEMS芯片底部腔體正方形下沿口邊長的二分之一，耐高溫基板1上在安裝有微機電系統芯片2的一面還設置有金屬罩殼6，該金屬罩殼6將所述的微機電系統芯片2罩在其中，金屬罩殼6中還設置有作為保護膠的果凍膠4，果凍膠4與金屬罩殼6的頂壁之間留有間隙，果凍膠4將綁定金線3和微機電系統芯片2封在其中，金屬罩殼6的頂壁上正對著所述的微機電系統芯片2的中央開設上進氣孔61，上進氣孔61通常為圓孔，其直徑不小于1.0毫米且上進氣孔61的截面積不小于所述微機電系統芯片上表面面積的二分之一。

實際應用時，所述的金屬罩殼6通常由銅、鐵或鋁制成，表面通常鍍有鎳、鋅或金。

本實用新型的工作過程為：微機電系統芯片2(MEMS)采樣上進氣孔61和下進氣孔11的氣壓(上進氣孔61反映的是被汽車尾氣處理系統中燃油顆粒捕集器前方氣體的壓力，下進氣孔11反映的是燃油顆粒捕集器后方空氣的壓力)，兩者相減，就可得到一個相對于燃油顆粒捕集器前后方的壓差值。電子控制單元(ECU)根據該差壓傳感器發送的壓力差值所對應的電壓信號決定“再生”觸發動作，將捕集器內的顆粒物燃燒干凈，使得柴油車的尾氣排放達到國V標準要求。

綜上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用來限定本實用新型實施的范圍，凡依本實用新型權利要求范圍所述的形狀、構造、特征及精神所作的均等變化與修飾，均應包括在本實用新型的權利要求范圍內。