玻璃基板取樣裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤(1)和設置在該吸盤(1)上的閥門(2)，所述吸盤(1)通過所述閥門(2)連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的真空負壓。以使得玻璃基板缺陷標記區保持在吸盤(1)內，防止玻璃基板缺陷檢測面被污染，提升顯微鏡檢測效率。
【專利說明】
玻璃基板取樣裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及玻璃基板生產領域，具體地，涉及一種玻璃基板取樣裝置。
【背景技術】
[0002]在玻璃基板檢包工序中，用玻璃刀將內部存在缺陷(例如夾雜結石、氣泡等)的玻璃基板樣品從整塊的玻璃基板上割取下來，收納于潔凈布中并送到鏡檢室，通過顯微鏡查看缺陷的形態和大小辨別缺陷的種類。受玻璃基板裁切產生的玻璃碎肩粘附到玻璃基板樣品上、玻璃基板樣品上粘附其他異物、操作人員操作不當劃傷玻璃基板樣品等因素的影響，使玻璃基板樣品受到二次污染，導致顯微鏡檢測干擾增多，造成顯微鏡檢測效率低。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種玻璃基板取樣裝置，該取樣裝置能夠避免玻璃基板樣品被污染，提升顯微鏡檢測效率。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型提供一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤和設置在該吸盤上的閥門，所述吸盤通過所述閥門連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的真空負壓。
[0005]優選地，所述取樣裝置還包括轉換接頭，所述轉換接頭的一端密封連接于所述閥門，所述轉換接頭的另一端密封連接于所述吸盤。
[0006]優選地，所述轉換接頭的一端與所述閥門螺紋連接，所述轉換接頭的另一端與所述吸盤螺紋連接。
[0007]優選地，所述轉換接頭與所述閥門的連接處設置有第一生料帶，所述轉換接頭與所述吸盤的連接處設置有第二生料帶。
[0008]優選地，所述轉換接頭為雙向直通接頭。
[0009]優選地，所述閥門為二通手動閥門。
[0010]優選地，所述吸盤包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，所述波紋管段連接在所述吸盤本體遠離所述玻璃基板缺陷檢測面的一端。
[0011]優選地，所述吸盤為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤。
[0012]本實用新型的有益效果是:通過在吸盤上設置能夠連通氣源的閥門，使得吸盤內部能夠形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的真空負壓，這樣，玻璃基板缺陷標記區得以保持在吸盤內，防止玻璃基板缺陷標記區被污染，這樣，能夠保持玻璃基板的表面清潔無污染，保證了顯微鏡檢測觀察缺陷的效果，減少了玻璃基板表面異物對檢測玻璃基板內部缺陷造成的干擾，提升了顯微鏡檢測效率。
[0013]本實用新型的其他特征和優點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明。
【附圖說明】
[0014]附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型，但并不構成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0015]圖1是根據本實用新型優選實施方式提供的玻璃基板取樣裝置的結構示意圖。
[0016]附圖標記說明
[0017]I吸盤2閥門3轉換接頭
【具體實施方式】
[0018]以下結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。
[0019]如圖1所示，本實用新型提供的一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤I和設置在該吸盤I上的閥門2，吸盤I通過閥門2連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的真空負壓。
[0020]在本實用新型提供的玻璃基板取樣裝置中，將吸盤I吸附在玻璃基板缺陷檢測面上，壓縮吸盤I，之后關閉閥門2，形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的中空負壓，這樣，玻璃基板缺陷檢測面和吸盤I在閥門2的作用下可以構成一個封閉空間，使得玻璃基板缺陷標記區保持在該封閉空間內，防止玻璃基板缺陷標記區被污染，這樣，能夠保持玻璃基板的表面清潔無污染，保證了顯微鏡檢測觀察缺陷的效果，減少了玻璃基板缺陷檢測面上異物對檢測玻璃基板內部缺陷造成的干擾，提高了顯微鏡檢測效率。
[0021]其中“氣源”優選為空氣。即，打開閥門2，則吸盤I與空氣連通;關閉閥門2，則吸盤I與空氣隔斷，以通過氣壓實現吸盤I和玻璃基板缺陷檢測面的穩定相連。此外在其他實施方式中氣源也可以是任何抽吸氣體的裝置，例如抽氣筒等。
[0022]具體地，本實用新型提供的取樣裝置還包括轉換接頭3，該轉換接頭3的一端密封連接于閥門2，轉換接頭3的另一端密封連接于吸盤I。以防止轉換接頭3與閥門2、吸盤I的連接處漏氣。
[0023]在本實用新型的優選實施方式中，轉換接頭3的一端與閥門2螺紋連接，轉換接頭3的另一端與吸盤I螺紋連接。
[0024]為了增加密封性，優選地，在轉換接頭3與閥門2的連接處設置有第一密生料帶，該第一生料帶纏繞在轉換接頭3與閥門2之間的外螺紋上，在轉換接頭3與吸盤I的連接處設置有第二生料帶，該第二生料帶纏繞在轉換接頭3與吸盤I之間的外螺紋上。
[0025]其中，轉換接頭3優選為雙向直通接頭，閥門2優選為一■通手動閥11，該一■通手動閥門具有用于連通或斷開吸盤I與外界空氣的“通”檔位和“斷”檔位。吸盤I包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，波紋管段連接在吸盤本體遠離玻璃基板缺陷檢測面的一端，因此，壓縮波紋管段可以將其內部空氣排出，使得吸盤I內部殘留較少的空氣，提供更大的壓差，從而使吸盤I的吸力更大。且吸盤I為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤，以避免劃傷玻璃基板檢測面。
[0026]將二通手動閥設定到“通”檔位，吸盤本體蓋壓到玻璃基板檢測面上，壓縮波紋管段，以將波紋管段內部空氣排出，再將手動閥設定到“斷”檔位，吸盤本體、波紋管段、玻璃基板檢測面和二通手動閥構成的封閉空間的內部形成真空負壓，使得吸盤本體吸附到玻璃基板檢測面上，這樣，避免污染玻璃基板樣品。其中“玻璃基板樣品”是指內部具有缺陷的玻璃基板。
[0027]綜上，本實用新型針對玻璃基板樣品易受污染，導致顯微鏡檢測干擾增多，使得顯微鏡檢測效率低下的現象，通過玻璃基板取樣裝置對具有內部缺陷的玻璃基板進行取樣，使得玻璃基板樣品不會被污染，提升顯微鏡檢測效率。
[0028]以上結合附圖詳細描述了本實用新型的優選實施方式，但是，本實用新型并不限于上述實施方式中的具體細節，在本實用新型的技術構思范圍內，可以對本實用新型的技術方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本實用新型的保護范圍。
[0029]另外需要說明的是，在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本實用新型對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0030]此外，本實用新型的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本實用新型的思想，其同樣應當視為本實用新型所公開的內容。
【主權項】
1.一種玻璃基板取樣裝置，其特征在于，包括吸盤(I)和設置在該吸盤(I)上的閥門(2)，所述吸盤(I)通過所述閥門(2)連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測面的真空負壓。2.根據權利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述取樣裝置還包括轉換接頭(3)，所述轉換接頭(3)的一端密封連接于所述閥門(2)，所述轉換接頭(3)的另一端密封連接于所述吸盤(I)。3.根據權利要求2所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉換接頭(3)的一端與所述閥門(2)螺紋連接，所述轉換接頭(3)的另一端與所述吸盤(I)螺紋連接。4.根據權利要求3所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉換接頭(3)與所述閥門(2)的連接處設置有第一生料帶，所述轉換接頭(3)與所述吸盤(I)的連接處設置有第二生料帶。5.根據權利要求2所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉換接頭(3)為雙向直通接頭。6.根據權利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述閥門(2)為二通手動閥門。7.根據權利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述吸盤(I)包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，所述波紋管段連接在所述吸盤本體遠離所述玻璃基板缺陷檢測面的一端。8.根據權利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述吸盤(I)為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤。
【文檔編號】G01N1/04GK205538294SQ201620212902
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月18日
【發明人】談子琳, 李兆廷, 石志強, 李震, 李俊生, 許偉, 王建平
【申請人】蕪湖東旭光電科技有限公司, 東旭光電科技股份有限公司