1.一種芯片生產環境監測系統,其特征在于,包括:
無線傳感器網絡節點,用以監測生產間內的溫度數據、濕度數據、壓差、光照強度,并通過建立的無線傳感器網絡經基站發送給系統控制中心;
基站,負責網絡的啟動,并監控無線傳感器網絡節點的工作狀態,發出用于建立網絡的控制指令、轉發無線傳感器網絡節點的數據;
系統控制中心,用以接受來自無線傳感器網絡的監測數據,對其進行統計、處理和顯示,并將數據反饋給設備控制系統;
設備控制系統,通過控制設備調節生產間內的溫度、濕度、壓力以及光照強度;
所述無線傳感器網絡節點經基站與系統控制中心相連,系統控制中心與設備控制系統相連。
2.根據權利要求1所述的一種芯片生產環境監測系統,其特征在于,所述設備控制系統包括冷源控制系統、熱源控制系統、空氣壓縮機以及光源。
3.根據權利要求1或2所述的一種芯片生產環境監測系統,其特征在于,所述系統控制中心選用PC機。