生產支援系統以及生產支援方法

生產支援系統以及生產支援方法
【專利摘要】實施方式涉及生產支援系統及生產支援方法。生產支援系統具備生產信息保存部、制造裝置信息保存部、檢查·計測裝置信息保存部、預定批量數運算部、第一控制方式運算部。所述第一控制方式運算部根據成為最終品質的控制對象的產品的數量、預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、進行了所述前饋型的APC時的最終品質的偏差、以及未進行組合所述反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差，運算恰當的控制方式。
【專利說明】生產支援系統以及生產支援方法
[0001]相關申請的參照:本申請享有2013年9月19日申請的日本專利申請號2013 —194715的優先權利益，在本申請中援引該日本專利申請全部內容。

【技術領域】
[0002]在此說明的實施方式普遍涉及生產支援系統以及生產支援方法。

【背景技術】
[0003]近年來，對產品的最終品質(final quality)的管理越來越嚴格。例如，在半導體裝置等電子器件的制造中，伴隨著微小化的進展，對工序加工后的尺寸的管理也變得非常嚴格。
[0004]在此，作為控制量產階段中的產品的最終品質的技術，已知有APC(AdvancedProcess Control:先進過程控制)。
[0005]如果通過APC調整制造裝置的作業條件，則能夠使產品的最終品質均勻控制在一定的水準內。
[0006]然而，APC —般在生產數量很多的情況下(例如，滿負荷生產(full product1n)時)其效果(尺寸偏差的抑制或工序能力提高等)才最大。
[0007]因此，在生產數量較少的情況下(例如產品的更新換代所伴隨的新產品的量產開始時、產品的更新換代所伴隨的舊產品的減產時等)，產品的最終品質的偏差可能反而會變大。


【發明內容】

[0008]本發明的實施方式提供一種能夠抑制產品的最終品質的偏差的生產支援系統以及生產支援方法。
[0009]實施方式所涉及的生產支援系統具備:生產信息保存部，保存與生產數有關的數據；制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關的數據；檢查.計測裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計測裝置有關的數據；預定批量數運算部，根據所述與生產數有關的數據和所述與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數，根據所述與生產數有關的數據和所述與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查.計測比例，根據所述每個制造裝置的預定生產數和所述檢查.計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量；以及第一控制方式運算部，根據所述成為最終品質的控制對象的產品的數量、預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、進行了所述前饋型的APC時的最終品質的偏差、以及未進行組合所述反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差，運算恰當的控制方式。
[0010]根據上述的結構，能夠抑制品的最終品質的偏差。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是用于示例第一實施方式所涉及的生產支援系統的框圖。
[0012]圖2是用于示例控制方式運算部5對控制方式的選擇的示意圖表圖。
[0013]圖3是用于示例第二實施方式所涉及的生產支援系統的框圖。

【具體實施方式】
[0014]以下，參照附圖對多個實施方式進行說明。附圖中，相同的附圖標記表示相同或者類似的部分。
[0015][第一實施方式]
[0016]圖1是用于示例第一實施方式所涉及的生產支援系統的框圖。
[0017]如圖1所示，生產支援系統100中設有:輸入部1、生產信息保存部2a、制造裝置信息保存部2b、檢查?計測裝置信息保存部2c、預定批量數運算部3、最終品質信息保存部4、控制方式運算部5 (相當于第一控制方式運算部的一例)、管理信息運算部6、輸出部7。
[0018]輸入部I用于輸入用于確定成為對象的產品的數據、以及與制約條件有關的數據。
[0019]用于確定成為對象的產品的數據例如為品種、工序、對象期間、工序條件等。
[0020]關于與制約條件有關的數據，留待后述。
[0021]輸入部I可以輸入數據，也可以通過選擇被顯示的數據名等來進行輸入。
[0022]例如，輸入部I能夠為鍵盤或條形碼讀取器等各種數據輸入設備、具備顯示部和選擇開關的設備等。
[0023]輸入部I將被輸入的數據提供給預定批量數運算部3。
[0024]生產信息保存部2a按照各個產品保存與過去的生產業績有關的數據、以及生產計劃中的數據。
[0025]與過去的生產業績有關的數據例如能夠設為過去的每個產品的生產數等。
[0026]生產計劃中的數據例如能夠設為當前生產中或新開始生產的每個產品的生產數坐寸ο
[0027]生產信息保存部2a將所保存的數據提供給預定批量數運算部3。
[0028]制造裝置信息保存部2b保存與制造裝置有關的數據。
[0029]與制造裝置有關的數據例如能夠設為:生產線中設置的制造裝置的臺數(例如，臺數、處理室(腔室)的數量等)、制造裝置的種類(例如，蝕刻裝置或成膜裝置等)、各制造裝置中的處理能力(例如，處理所需時間等)等。
[0030]制造裝置信息保存部2b將所保存的數據提供給預定批量數運算部3。
[0031]檢查.計測裝置信息保存部2c保存與檢查裝置或者計測裝置有關的數據。
[0032]與檢查裝置或者計測裝置有關的數據例如能夠設為:生產線中設置的檢查裝置或者計測裝置的臺數、檢查裝置或者計測裝置的種類、檢查裝置的檢查能力或者計測裝置的計測能力(例如，檢查或者計測所需時間等)等。
[0033]檢查裝置或者計測裝置例如能夠設為:產品的尺寸、形狀、重量、反射光強度以及發光強度等、用于進行產品的最終品質的檢查或者計測的參數。
[0034]檢查.計測裝置信息保存部2c將所保存的數據提供給預定批量數運算部3。
[0035]預定批量數運算部3如以下那樣求出成為最終品質的控制對象的產品的數量。
[0036]首先，預定批量數運算部3基于從輸入部I輸入的數據，從生產信息保存部2a所保存的數據中抽取所希望的產品的生產數。
[0037]該情況下，在生產信息保存部2a中保存有生產計劃中的數據的情況下，預定批量數運算部3從生產計劃中的數據抽取所希望的產品的預定生產數。
[0038]在生產信息保存部2a中未保存有生產計劃中的數據的情況下，預定批量數運算部3從與過去的生產業績有關的數據抽取所希望的產品的預定生產數。
[0039]接下來，預定批量數運算部3基于從輸入部I輸入的數據，從制造裝置信息保存部2b所保存的數據抽取制造裝置的臺數、制造裝置中的處理能力。
[0040]然后，預定批量數運算部3根據所抽取到的產品的預定生產數、制造裝置的臺數(處理室的數量)以及制造裝置中的處理能力，求出各個制造裝置(各處理室)的預定生產數。
[0041]接下來，預定批量數運算部3基于從輸入部I輸入的數據，從檢查?計測裝置信息保存部2c所保存的數據，抽取檢查裝置或者計測裝置的臺數以及檢查裝置的檢查能力或者計測裝置的計測能力。
[0042]然后，預定批量數運算部3根據所抽取到的產品的預定生產數、檢查裝置或者計測裝置的臺數以及檢查裝置的檢查能力或者計測裝置的計測能力，求出檢查.計測比例(檢查.計測頻率)。
[0043]該情況下，在檢查裝置、計測裝置的臺數很多、或者檢查裝置的檢查能力、計測裝置的計測能力很高的情況下，進行全部產品的檢查及計測。然后，全部產品成為最終品質的控制對象。
[0044]另一方面，在檢查裝置、計測裝置的臺數很少、或者檢查裝置的檢查能力、計測裝置的計測能力很低的情況下，進行一部分產品的檢查及計測。然后，進行了檢查及計測的產品成為最終品質的控制對象。
[0045]因此，預定批量數運算部3基于以下的式(I)，求出成為最終品質的控制對象的產品的數量N。
[0046]N = nXS...(I)
[0047]在此，N為成為最終品質的控制對象的產品的數量。N為每個制造裝置(各處理室)的預定生產數。S為檢查.計測比例。
[0048]另外，在本說明書的實施方式中，例如，成為最終品質的控制對象的產品的數量N設為:進行了 APC時的產品的數量、或者每一個制造裝置(處理室)的生產數(某一定期間內在各制造裝置(各處理室)中處理的產品的數量)。預定批量數運算部3將所求出的成為最終品質的控制對象的產品的數量N提供給控制方式運算部5。
[0049]最終品質信息保存部4按照每個產品保存與最終品質有關的數據。
[0050]與最終品質有關的數據例如能夠設為:在各制造裝置(各處理室)中進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系。
[0051]此外，與最終品質有關的數據例如設為包含:進行了前饋型的APC時的最終品質的偏差C1、未進行組合反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差C2。
[0052]最終品質信息保存部4將所保存的數據提供給控制方式運算部5以及管理信息運算部6。
[0053]控制方式運算部5根據成為最終品質的控制對象的產品的數量N、在各制造裝置(各處理室)中進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、進行了前饋型的APC時的最終品質的偏差C1、未進行組合反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差C2，運算恰當的控制方式。
[0054]圖2是用于示例控制方式運算部5對控制方式的選擇的示意圖表圖。
[0055]圖中的Y = f(X)是表示在各制造裝置(各處理室)中進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系的關系式。
[0056]Y = f (X)例如能夠通過使用相同產品或者類似產品的業績數據等進行模擬而進行求解。
[0057]另外，在圖2中，示例了成為線性的Y = f (X)，但是不限于此。
[0058]此外，進行了前饋型的APC時的最終品質的偏差C1和未進行組合反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差C2,能夠根據過去的業績來求出。
[0059]首先，控制方式運算部5根據Y = f (X)和最終品質的偏差C1，求出產品的數量％。
[0060]此外，控制方式運算部5根據Y = f (X)和最終品質的偏差C2，求出產品的數量N2。
[0061]另外，產品的數量N1和產品的數量N2也可以是將預先求出的值保存在最終品質信息保存部4中。
[0062]在此，在O?N2的區間，最終品質的偏差比C2大。即，在O?N2的區間，若進行組合反饋型和前饋型的APC，則最終品質的偏差反而變大。因此，在O?N2的區間，不進行組合反饋型和前饋型的APC更恰當。該情況下，按照根據業績數據等求出的各制造裝置(各處理室)的作業條件來進行生產即可。
[0063]此外，在N2?N1的區間，最終品質的偏差比C1大。即，在N2?N1的區間，若進行組合反饋型和前饋型的APC則最終品質的偏差反而變大。
[0064]S卩，在N2?N1的區間進行前饋型的APC是恰當的。
[0065]此外，在超過N1的情況下，進行組合反饋型和前饋型的APC是恰當的。
[0066]因此，控制方式運算部5通過判定成為最終品質的控制對象的產品的數量N是位于O?N2的范圍、N2?N1的范圍、超過N1的范圍中的哪個，能夠選擇恰當的控制方式。
[0067]管理信息運算部6根據在各制造裝置(各處理室)中進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系(例如，Y = f (X))、以及成為最終品質的控制對象的產品的數量N，求出APC的效果、例如最終品質的偏差或工序能力。
[0068]工序能力例如能夠設為:制造裝置的臺數、每I臺制造裝置的生產數、檢查裝置的臺數、檢查比例、成為最終品質的控制對象的產品的數量N、APC的方式(反饋型的APC、前饋型的APC)、工序能力預見等。
[0069]工序能力是表示相對于標準值的幅度而言，現狀的偏差相對地成為什么程度的大小，數值越大則越是優秀的制造工序。
[0070]輸出部7輸出在預定批量數運算部3、控制方式運算部5、以及管理信息運算部6中使用過的各種數據、所求出的結果。
[0071]輸出部7例如輸出制造裝置的臺數、每I臺制造裝置的生產數、檢查裝置的臺數、計測裝置的臺數、檢查.計測比例、成為最終品質的控制對象的產品的數量N、APC的方式(反饋型的APC、前饋型的APC)、工序能力預見等。
[0072]輸出目的地例如能夠設為作業者所使用的顯示裝置、HDD (Hard DiskDrive)、閃存、軟盤等各種數據存儲介質等。
[0073]此外，也可以設為，參照由輸出部7輸出的數據等，向輸入部I輸入與制約條件有關的數據，再次進行前述的運算。
[0074]與制約條件有關的數據例如能夠設為:制造裝置的臺數的范圍、每I臺制造裝置的處理量的范圍、檢查裝置或者計測裝置的臺數的范圍、檢查.計測比例的范圍等。
[0075]若從輸入部I輸入了與制約條件有關的數據，則代替由制造裝置信息保存部2b以及檢查.計測裝置信息保存部2c保存的數據及由預定批量數運算部3求出的檢查.計測比例等，優先地使用所輸入的數據。
[0076]該情況下，能夠從輸入部I輸入具有規定的范圍的數據。若從輸入部I輸入了具有規定的范圍的數據，則能夠在該范圍內自動地進行條件賦予，對前述的運算反復進行多次(循環處理)。然后，還能夠由輸出部7輸出所得到的多個結果中的上位的N件。
[0077]如以上例示的那樣，本實施方式所涉及的生產支援方法能夠包含以下的工序。
[0078]根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數。
[0079]根據與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例的工序。
[0080]根據每個制造裝置的預定生產數、檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量。
[0081]根據成為最終品質的控制對象的產品的數量、預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、進行了前饋型的APC時的最終品質的偏差、未進行組合反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差，運算恰當的控制方式的工序。
[0082]另外，各工序中的內容能夠設為與前述相同。因此，省略各工序中的內容的說明。
[0083][第二實施方式]
[0084]圖3是用于示例第二實施方式所涉及的生產支援系統的框圖。
[0085]如圖3所示，生產支援系統101中設有:輸入部11、生產信息保存部2a、制造裝置信息保存部2b、檢查.計測裝置信息保存部2c、預定批量數運算部3、檢查.計測信息保存部12a、APC信息保存部12b、控制方式運算部14 (相當于第二控制方式運算部的一例)、輸出部7、第一輔助部15a、第二輔助部15b、第三輔助部15c、以及第四輔助部15d。
[0086]輸入部11能夠設為與前述的輸入部I同樣。
[0087]但是，輸入部11還具有用于選擇后述的第一輔助部15a、第二輔助部15b、第三輔助部15c及第四輔助部15d中的任意一個的開關。
[0088]檢查?計測信息保存部12a保存與檢查結果或者計測結果有關的數據。與檢查結果或者計測結果有關的數據例如為產品的尺寸、形狀、重量、反射光強度以及發光強度等。
[0089]檢查.計測信息保存部12a將所保存的數據提供給控制方式運算部14。
[0090]APC信息保存部12b保存與APC計算式有關的數據。
[0091]APC信息保存部12b將所保存的數據提供給控制方式運算部14。
[0092]控制方式運算部14根據從檢查.計測信息保存部12a抽取到的與檢查結果或者計測結果有關的數據(例如，產品的尺寸)、從APC信息保存部12b抽取到的與APC計算式有關的數據、由預定批量數運算部3求出的各制造裝置(各處理室)中的成為最終品質的控制對象的產品的數量N，分別求出進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
[0093]控制方式運算部14能夠每錯開一個月地反復運算例如12個月的數據。另外，期間等也能夠適當地變更。
[0094]接下來，控制方式運算部14運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下與未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差相等的產品的數量。
[0095]最終品質的偏差相等的產品的數量被提供給輸出部7。
[0096]輸出部7將最終品質的偏差相等的產品的數量，作為未進行組合反饋型和前饋型的APC為恰當的時期來進行顯示。S卩，控制方式運算部14使用實際的數據來進行模擬，啟示進行恰當的控制方式的選擇。
[0097]此外，作業者能夠從輸入部11選擇以下的輔助功能。
[0098]第一輔助部15a基于從制造裝置信息保存部2b、檢查.計測裝置信息保存部2c、以及檢查.計測信息保存部12a抽取到的數據，運算按照各制造裝置(各處理室)的統計值(例如，平均值、偏差、最大值、最小值等)。運算結果例如作為記載有各制造裝置(各處理室)、檢查.計測比例和成為最終品質的控制對象的產品的數量N的矩陣表、將以統計值為基礎的制造裝置(處理室)的性能按照排名形式進行了表示的表等，顯示在輸出部7等。
[0099]作業者從與各制造裝置(各處理室)有關的統計值的數據，選擇適于進行APC的制造裝置(處理室)，從輸入部11輸入與所選擇的制造裝置(處理室)有關的數據(例如，制造裝置(處理室)的名稱)。
[0100]預定批量數運算部3運算在使用了基于求出的統計值而輸入的制造裝置(處理室)的情況下成為最終品質的控制對象的產品的數量N。
[0101]控制方式運算部14分別計算在使用了所輸入的制造裝置(處理室)的情況下進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行的情況下的最終品質的偏差。
[0102]控制方式運算部14能夠每錯開一個月地反復運算例如12個月的數據。另外，期間等能夠適當變更。
[0103]接下來，控制方式運算部14運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下與未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差相等的產品的數量。
[0104]最終品質的偏差相等的產品的數量被提供給輸出部7。
[0105]輸出部7將最終品質的偏差相等的產品的數量，作為不進行組合反饋型和前饋型的APC為恰當的時期進行顯示。
[0106]第二輔助部15b基于從制造裝置信息保存部2b、檢查.計測裝置信息保存部2c、以及檢查.計測信息保存部12a抽取到的數據，運算每個制造裝置(各處理室)的產品的移動平均數。
[0107]然后，第二輔助部15b使產品的移動平均數變化。
[0108]預定批量數運算部3按照變化了的產品的每個移動平均數，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量N。
[0109]控制方式運算部14按照變化了的產品的每個移動平均數，運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差，運算最終品質的偏差最小的產品的移動平均數。
[0110]控制方式運算部14能夠每錯開一個月地反復運算例如12個月的數據。另外，期間等能夠適當變更。
[0111]運算結果被顯示于輸出部7等。
[0112]輸出部7顯示最終品質的偏差最小的產品的移動平均數。
[0113]第三輔助部15c使APC信息保存部12b所保存的APC計算式中的校正系數(例如，反饋型的APC的校正系數)變化。
[0114]控制方式運算部14按照變化了的每個校正系數，運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差，運算最終品質的偏差最小的校正系數。
[0115]控制方式運算部14能夠每錯開一個月地反復運算例如12個月的數據。另外，期間等能夠適當變更。
[0116]運算結果被顯示于輸出部7等。
[0117]輸出部7顯示最終品質的偏差最小的APC計算式中的校正系數。
[0118]第四輔助部15d將與組產品有關的數據提供給輸出部7等。
[0119]與組產品有關的數據例如為與對象產品類似的他產品。
[0120]與組產品有關的數據例如能夠從生產信息保存部2a所保存的數據中抽取。
[0121]作業者能夠從輸入部11輸入與組產品有關的數據(例如，產品名等)。
[0122]預定批量數運算部3針對所輸入的組產品，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量N。
[0123]控制方式運算部14針對所輸入的組產品，分別運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
[0124]運算結果被顯示于輸出部7等。
[0125]輸出部7針對所輸入的組產品，分別顯示進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
[0126]如以上所例示的那樣，本實施方式所涉及的生產支援方法能夠包含以下的工序。
[0127]根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數的工序。
[0128]根據與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例的工序。
[0129]根據每個制造裝置的預定生產數、檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序。
[0130]根據與檢查結果或者計測結果有關的數據、與APC計算式有關的數據、成為最終品質的控制對象的產品的數量，分別運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差的工序。
[0131]另外，各工序中的內容能夠與前述同樣。因此，省略各工序中的內容的說明。
[0132][第三實施方式]
[0133]接下來，對上述的實施方式中使用的生產支援程序進行說明。
[0134]該生產支援程序能夠使計算機執行所述的生產支援方法。
[0135]為了執行一系列的生產支援，上述生產支援程序例如被保存于在生產支援系統100、101中設置的未圖示的程序保存單元中。生產支援程序例如能夠經由未圖示的記錄介質保存在未圖示的程序保存單元中，或者經由MES(Manufacturing Execut1n System)系LAN (Local Area Network)等保存在未圖示的程序保存單元中。
[0136]然后，通過執行該程序，執行前述的預定批量數運算部3、控制方式運算部5、控制方式運算部14等中的抽取、運算。
[0137]上述生產支援程序能夠執行以下的步驟。
[0138]根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數。
[0139]根據與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例。
[0140]根據每個制造裝置的預定生產數、檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量。
[0141]根據成為最終品質的控制對象的產品的數量、預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、進行了前饋型的APC時的最終品質的偏差、未進行組合反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差，運算恰當的控制方式。
[0142]此外，上述生產支援程序能夠使得執行以下步驟。
[0143]根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數。
[0144]根據與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例。
[0145]根據每個制造裝置的預定生產數、檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量。
[0146]根據與檢查結果或者計測結果有關的數據、與APC計算式有關的數據、成為最終品質的控制對象的產品的數量，分別運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
[0147]另外，基于上述生產支援程序執行的步驟，可以按照所述的順序以時間序列來執行，也可以不必按照時間序列來執行，而是并列地或有選擇地來執行。
[0148]以上說明了本發明的若干實施方式，但是這些實施方式只是作為例子提出，不意欲限定發明的范圍。這些新的實施方式能夠以其他各種方式來實施，在不脫離發明的主旨的范圍內能夠進行各種省略、置換、變更。這些實施方式及其變形包含在發明的范圍和主旨內，也包含在權利要求所記載的發明及其等同范圍內。
【權利要求】
1.如權利要求1記載的生產支援系統，其中，具備: 生產信息保存部，保存與生產數有關的數據； 制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關的數據； 檢查.計測裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計測裝置有關的數據； 預定批量數運算部，根據所述與生產數有關的數據和所述與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數，根據所述與生產數有關的數據和所述與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查.計測比例，根據所述每個制造裝置的預定生產數和所述檢查.計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量；以及第一控制方式運算部，根據所述成為最終品質的控制對象的產品的數量、 預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、 進行了所述前饋型的APC時的最終品質的偏差、以及 未進行組合所述反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差， 運算恰當的控制方式。
2.如權利要求1記載的生產支援系統,其中， 還具備: 管理信息運算部，根據 所述成為最終品質的控制對象的產品的數量、以及 所述預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系， 求出所述APC的效果。
3.—種生產支援系統,其中，具備: 生產信息保存部，保存與生產數有關的數據； 制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關的數據； 檢查.計測裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計測裝置有關的數據； 預定批量數運算部，根據所述與生產數有關的數據和所述與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數，根據所述與生產數有關的數據和所述與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查.計測比例，根據所述每個制造裝置的預定生產數和所述檢查.計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量； 檢查.計測信息保存部，保存與檢查結果或者計測結果有關的數據； APC信息保存部，保存與APC計算式有關的數據；以及 第二控制方式運算部，根據所述與檢查結果或者計測結果有關的數據、所述與APC計算式有關的數據、以及所述成為最終品質的控制對象的產品的數量，分別運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
4.如權利要求3記載的生產支援系統，其中， 還具備: 第一輔助部，運算多個所述制造裝置中的統計值； 所述預定批量數運算部運算在使用了基于所述統計值而選擇的所述制造裝置的情況下所述成為最終品質的控制對象的產品的數量。
5.如權利要求3記載的生產支援系統，其中， 還具備: 第二輔助部，使所述產品的移動平均數變化； 所述預定批量數運算部按照所述變化了的產品的每個移動平均數，運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量， 所述第二控制方式運算部按照所述變化了的產品的每個移動平均數，運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質的偏差，運算所述最終品質的偏差最小的所述產品的移動平均數。
6.如權利要求3記載的生產支援系統，其中， 還具備: 第三輔助部，使所述APC計算式中的校正系數變化； 所述第二控制方式運算部按照所述變化了的每個所述校正系數，運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質的偏差，運算所述最終品質的偏差最小的所述校正系數。
7.如權利要求3記載的生產支援系統，其中， 還具備: 第四輔助部，提供與組產品有關的數據； 所述預定批量數運算部針對所選擇的所述組產品，運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量， 所述第二控制方式運算部針對所述選擇的所述組產品，分別運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況和未進行組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
8.—種生產支援方法,其中，具備: 根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數的工序； 根據所述與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例的工序； 根據所述每個制造裝置的預定生產數、所述檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序；以及根據 所述成為最終品質的控制對象的產品的數量、 預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系、 進行了所述前饋型的APC時的最終品質的偏差、以及 未進行組合所述反饋型和前饋型的APC時的最終品質的偏差， 運算恰當的控制方式的工序。
9.如權利要求8記載的生產支援方法，其中， 還具備: 根據 所述成為最終品質的控制對象的產品的數量、以及 所述預先求出的進行了組合反饋型和前饋型的APC時的產品的數量與最終品質的偏差之間的關系， 運算所述APC的效果的工序。
10.—種生產支援方法,其中，具備: 根據與生產數有關的數據、與制造裝置有關的數據，運算每個制造裝置的預定生產數的工序； 根據所述與生產數有關的數據、與檢查裝置或者計測裝置有關的數據，運算檢查?計測比例的工序； 根據所述每個制造裝置的預定生產數、所述檢查?計測比例，運算成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序；以及 根據與檢查結果或者計測結果有關的數據、與APC計算式有關的數據、所述成為最終品質的控制對象的產品的數量，分別運算進行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差的工序。
11.如權利要求10記載的生產支援方法，其中， 還具備運算多個所述制造裝置中的統計值的工序； 在運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序中，運算在使用了基于所述統計值而選擇的所述制造裝置的情況下所述成為最終品質的控制對象的產品的數量。
12.如權利要求10記載的生產支援方法，其中， 還具備使所述產品的移動平均數變化的工序； 在運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序中，按照所述變化了的產品的每個移動平均數，運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量， 在分別運算進行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差的工序中，按照所述變化了的產品的每個移動平均數，運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質的偏差，運算所述最終品質的偏差最小的所述產品的移動平均數。
13.如權利要求10記載的生產支援方法，其中， 還具備使所述APC計算式中的校正系數變化的工序， 在分別運算進行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差的工序中，按照所述變化了的每個所述校正系數，運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質的偏差，運算所述最終品質的偏差最小的所述校正系數。
14.如權利要求10記載的生產支援方法，其中， 還具備抽取與組產品有關的數據的工序， 在運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量的工序中，針對所選擇的所述組產品，運算所述成為最終品質的控制對象的產品的數量， 在分別運算進行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差的工序中，針對所述選擇的所述組產品，分別運算進行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況和未進行組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的最終品質的偏差。
【文檔編號】G06Q10/06GK104463405SQ201410429758
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年8月28日 優先權日:2013年9月19日
【發明者】山田宗良, 曾我朗, 伊藤敦史, 藤田祐司 申請人:株式會社東芝