專利名稱：勻膠機的排液裝置的制作方法
技術領域：
勻膠機的排液裝置
技術領域：
本實用新型涉及半導體領域的勻膠機，尤其涉及一種勻膠機的排液裝置。
背景才支術
半導體工藝中的勻膠機適用于在基片表面制作薄膜，其工作原理是高速旋 轉基片，使滴在基片上的膠液在表面張力和旋轉離心力的聯合作用下被展成一 層均勻的薄膜，可以通過膠液的濃度和勻膠機的轉速來控制膠膜的厚度。目前， 每臺勻膠機內有多個排液管道，其中，每個排液管道排放一種廢液，如專門排 放多余勻膠液的管道、專門排放顯影液的管道以及專門排放漂洗液的管道，該 多個排液管分別伸到勻膠機的外側，在勻膠機的外側該每個排液管又分別和對 應的排液管相連接，以進一步排出廢液。但是，由于勻膠液的成分特性，其排 放時易堵塞勻膠機內的排液管道，且如果勻膠機內的 一個排液管道因堵塞出現 故障時，整臺勻膠機需停下來進行維修。用不同排液管道分別單獨地進行排液， 不僅操作繁瑣，工作量大，而且設備維護人員也需經常關注和維修排放管道， 致使生產效率低下。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種勻膠機的排液裝置，能有效防止 勻膠液排液管道的堵塞，顯著提高半導體的生產效率。
為了解決上述技術問題，本實用新型勻膠機的排液裝置，至少包括兩個第一排液管，其中一個用于排放勻膠液，另一個用于排放顯影液，還包括一個第 二排液管，所述兩個第一排液管分別與該第二排液管相連通。 所述兩個第 一排液管與 一個第二排液管組成三通結構。
本實用新型勻膠機的排液裝置還包括一個用于排放漂洗液的第 一排液管， 該第 一排液管與所述第二排液管相連通。
所述第一排液管的長度為30~70cm，優選的，所述第一排液管的長度為 50cm。
所述第 一排液管與第二排液管之間為法蘭連^^妄。
本實用新型勻膠機的排液裝置，由于將勻膠機內的多個第 一排液管與同一 個第二排液管相通，使勻膠液經短的第一排液管的輸送進入第二排液管，在勻
膠液進入第二排液管后，能被同樣進入該第二排液管的顯影液稀釋和溶解，有 效避免了勻膠液對排液管的堵塞，提高了生產效率，且降低了成本。
圖l是本實用新型勻膠機的排液裝置的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的i兌明。 如圖1所示，本實用新型勻膠機的排液裝置，至少包括兩個第一排液管， 其中一個為用于排放勻膠液的第一排液管1，另一個為用于排放顯影液的第一排 液管2，還包括一個第二排液管3，所述兩個第一排液管分別與該第二排液管3 相連通。所述第一排液管的長度為30-70cm,優選為50cm;所述第一排液管 與第二排液管之間為法蘭連接。利用本實用新型的排液裝置排放勻膠機的廢液時，由于勻膠液經短的第一排液管的輸送進入第二排液管，在勻膠液進入第二 排液管后，能被同樣進入該排液管的顯影液稀釋和溶解，從而有效避免了勻膠 液對排液管的堵塞。
在本實用新型的一個實施例中(見圖1),排液裝置的兩個第一排液管與一
個第二排液管3組成三通結構，其中一個第一排液管用于排放勻膠液，另一個 第一排液管用于排放顯影液，當勻膠液和顯影液在第二排液管3匯合，顯影液 稀釋勻膠液，使其不易凝固。所述三通結構處設置有不銹鋼的三通閥4。
在本實用新型的另一個實施例中，排液裝置包括三個第一排液管，其分別 用于排放勻力交液、顯影液和漂洗液，該三個第一排液管分別與一個第二排液管 相連通。
以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和 詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應當指出的是， 對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以 做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型 專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
權利要求1. 一種勻膠機的排液裝置，至少包括兩個第一排液管，其中一個用于排放勻膠液，另一個用于排放顯影液，其特征在于，還包括一個第二排液管，所述兩個第一排液管分別與該第二排液管相連通。
2. 根據權利要求1所述的排液裝置，其特征在于，所述兩個第一排液管與 一個第二排液管組成三通結構。
3. 根據權利要求1所述的排液裝置，其特征在于，還包括一個用于排放漂 洗液的第 一排液管，該第 一排液管與所述第二排液管相連通。
4. 根據權利要求1至3中任一項所述的排液裝置，其特征在于，所述第一 排液管的長度為30 ~ 70cm。
5. 根據權利要求4所述的排液裝置，其特征在于，所述第一排液管的長度 為50cm。
6. 根據權利要求1至3中任一項所述的排液裝置，其特征在于，所述第一 排液管與第二排液管之間為法蘭連4妄。
專利摘要本實用新型公開了一種勻膠機的排液裝置，至少包括兩個第一排液管，其中一個用于排放勻膠液，另一個用于排放顯影液，還包括一個第二排液管，所述兩個第一排液管分別與該第二排液管相連通。本實用新型的排液裝置，能有效防止勻膠液對排液管的堵塞，顯著提高半導體的生產效率，且降低成本。
文檔編號H01L21/027GK201229467SQ200820094858
公開日2009年4月29日 申請日期2008年6月17日 優先權日2008年6月17日
發明者葉宗桂, 峰 尚, 鐘建國 申請人:深圳深愛半導體有限公司