一種太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于機械裝置技術領域，涉及一種在太陽能電池生產過程中使用的多晶制絨蝕刻設備，特別是一種太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置。
【背景技術】
[0002]在太陽能電池生產制造中，制絨清洗工序主要用于對硅片表面進行處理，通過多晶制絨蝕刻設備將太陽能電池生產線上硅片擴散前的硅片表面的油類分子、金屬雜質、機械損傷層去除以及制作金字塔絨面。對于不同的硅片有不同的蝕重要求(把硅片表面損傷層、油污等通過化學品腐蝕的原理進行清洗，清洗后和硅片清洗前的重量比稱為蝕重)，目前采用的是人工使用電子秤測量，只能抽檢，且檢測數據精確度不夠。
[0003]我國專利(公告號:CN201397822 ;公開日:2010-02-03)公開了一種帶預熱的手動制絨清洗機，包括清洗槽總成、冷水進水管、排水管和電氣控制單元，在清洗槽總成的每個工作槽內分別設有第一電加熱裝置，第一電加熱裝置與電氣控制單元電聯接，在清洗槽總成的后面通過支架設有一個預熱水箱，預熱水箱的進水口連接冷水進水管，預熱水箱的出水口通過管路和閥門分別通向清洗槽總成的每個工作槽內，在預熱水箱內設有與電氣控制單元電聯接的第二電加熱裝置。
[0004]上述專利中沒有專門的蝕重檢測設備，只能采用傳統的抽檢測量方法，工作量大，工作效率低，且難以保證測量的準確性。
【發明內容】
[0005]本實用新型針對現有的技術存在的上述問題，提供一種太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置，本實用新型所要解決的技術問題是:如何對太陽能電池多晶制絨蝕刻的蝕重進行自動化的實時監測。
[0006]本實用新型目的可通過下列技術方案來實現:
[0007]—種太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置，多晶制絨蝕刻設備包括蝕刻裝置，其特征在于，所述蝕重監測裝置包括控制器以及能夠稱出硅片重量的天平秤一和天平秤二，所述天平秤一位于蝕刻裝置的進料端，所述天平秤二位于蝕刻裝置的出料端，所述天平秤一上具有稱重托盤一，所述天平秤二上具有稱重托盤二，所述稱重托盤一與所述蝕刻裝置之間以及所述稱重托盤二與所述蝕刻裝置之間均具有傳動滾輪，所述天平秤一和天平秤二均能夠將所稱出的硅片重量數據傳輸至所述控制器。
[0008]其原理如下:本技術方案中通過在蝕刻裝置的進料端設置天平秤一，將蝕刻前的硅片放置在稱重托盤一上稱出蝕刻前的重量，稱重后通過傳動滾輪進行蝕刻，蝕刻裝置的出料端設置天平秤二，蝕刻后的硅片進入天平秤二的稱重托盤二上稱出硅片蝕刻后的重量，天平秤一和天平秤二所稱出的硅片重量數據均傳輸至控制器，控制器進行運算，得出硅片蝕刻前與蝕刻后的重量比，即得出蝕刻數值，控制器中事先根據生產需要設定允許誤差的范圍區間，得出的蝕刻數值與該范圍區間進行比對，看是否滿足工藝要求，如蝕刻重量不在標準范圍區間內，則通過控制器自動報警提醒技術人員調整工藝。
[0009]本蝕重監測裝置能夠自動對每個硅片進行實時監控，實現在線監測蝕重，保證產品工藝質量。自動化程度高，檢測精準，誤差小。
[0010]在上述的太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置中，所述天平秤一下方設有能夠帶動稱重托盤一升降的升降結構一，所述天平秤二下方設有能夠帶動稱重托盤二升降的升降結構二，所述天平秤一和天平秤二上方兩側均設有傳動滾輪，所述升降結構一能夠帶動稱重托盤一伸到所述傳動滾輪的上方，所述升降結構二能夠帶動稱重托盤二伸到所述傳動滾輪的上方。稱重托盤一在有硅片時高與傳動滾輪，對硅片稱重后自動下降，硅片經傳動滾輪進入蝕刻裝置進行蝕刻，清洗蝕刻后的硅片經過傳動滾輪移送到天平秤二的上方，稱重托盤二上升對硅片稱重，稱重后再自動下降。能夠避免硅片的傳送與硅片的稱重相互干涉。
[0011]在上述的太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置中，所述升降結構一和升降結構二均包括至少兩幅交叉剪伸縮臂，所述交叉剪伸縮臂為兩個中部相互鉸接連桿，兩個連桿之間還設有能使兩連桿做剪切運動的液壓缸。
[0012]在上述的太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置中，所述升降結構一和升降結構二均為氣缸。
[0013]在上述的太陽能電池多晶制絨蝕刻設備的蝕重監測裝置中，所述控制器為單片機控制器或PLC控制器。單片機控制器具有系統結構簡單、用方便、可靠性高、低電壓、低功耗等優點；PLC控制器具有功能完善、可靠性高、抗干擾能力強等優點。
[0014]與現有技術相比，本實用新型的優點如下:
[0015]1、本蝕重監測裝置能夠自動對每個硅片進行實時監控，實現在線監測蝕重，保證產品工藝質量，其自動化程度高，檢測精準，誤差小。
[0016]2、本蝕重監測裝置通過設置升降結構一和升降結構二，分別帶動稱重托盤一和稱重托盤二升降，能夠避免硅片的傳送與硅片的稱重相互干涉。
【附圖說明】
[0017]圖1是本蝕重監測裝置結構示意圖。
[0018]圖中，1、蝕刻裝置；2、天平秤一 ；3、天平秤二 ；4、稱重托盤一 ；5、稱重托盤二 ；6、傳動滾輪；7、控制器；8、升降結構一 ；9、升降結構二。
【具體實施方式】
[0019]以下是本實用新型的具體實施例并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步的描述，但本實用新型并不限于這些實施例。
[0020]如圖1所示，多晶制絨蝕刻設備包括蝕刻裝置1，本蝕重監測裝置包括控制器7以及能夠稱出硅片重量的天平秤一 2和天平秤二 3，天平秤一 2位于蝕刻裝置1的進料端，天平秤二 3位于蝕刻裝置1的出料端，天平秤一 2上具有稱重托盤一 4，天平秤二 3上具有稱重托盤二 5，稱重托