專利名稱：高溫真空單晶燒結爐的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于鍍膜技術領域，尤其是指一種用于高溫真空單晶燒結爐。
背景技術：
高溫燒結爐主要用于單晶體和鍍膜材料的燒結，現有技術無法解決在高溫作用下氟化物腐蝕鎢錸熱偶、料易揮發，溫度低又造成料不溶化、浪費極大的問題；以往使用的石墨加熱器直徑大，徑向溫度梯度較大，不利于晶體以及鍍膜材料的制作，在石墨加工過程中，需把柱形原料車制成筒形，材料利用率極低，造價高；通常采用鑰片制作保溫罩，在高溫下鑰片容易變脆壽命短，造成浪費，每次溫度都有損失，重復性不好，基本一次一扔。
發明內容本實用新型提供一種高溫真空單晶燒結爐，以解決石墨材料浪費及鎢錸熱偶、鑰片制作保溫罩使用壽命短、成品率低的問題。本實用新型采取的技術方案是碳氈保溫筒與外殼內部套接，筒形石墨加熱器與支架固定連接，筒形石墨加熱器與石墨坩堝外部套接。本實用新型的優點在于結構具有新穎性，體積小，費用低，效率高，更換簡單，維修方便，徑向溫度梯度小，適于大尺過石鍋加熱，熱場均勻，材料的均勻性以及重復性好成品率高，使用壽命長，保溫效果好，溫場復性好，有利于鍍膜材料及晶體生長制作，在前端就達到了溫度控制。
圖I是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
碳氈保溫筒4與外殼5內部套接，筒形石墨加熱器2與支架3固定連接，筒形石墨加熱器2與石墨坩堝I外部套接。采用功率控溫可以調整電阻，取消了鎢錸熱偶，使用組合加熱器，徑向溫度梯度小，適于大尺過石鍋加熱，熱場均勻，材料的均勻性以及重復性好成品率高，用碳纖維制成的碳氈筒代替了成本極高的鑰片保溫筒，使用壽命長，保溫效果好，溫場復性好，有利于鍍膜材料及晶體生長制作，增加了溫控儀表，使用功率控制器在前端就達到了溫度控制。
權利要求1.ー種高溫真空單晶燒結爐，其特征在于碳氈保溫筒與外殼內部套接，筒形石墨加熱器與支架固定連接，筒形石墨加熱器與石墨坩堝外部套接。
專利摘要本實用新型涉及一種高溫真空單晶燒結爐，屬于鍍膜技術領域。碳氈保溫筒與外殼內部套接，筒形石墨加熱器與支架固定連接，筒形石墨加熱器與石墨坩堝外部套接。實用新型的優點在于結構具有新穎性，體積小，費用低，效率高，更換簡單，維修方便，徑向溫度梯度小，適于大尺過石鍋加熱，熱場均勻，材料的均勻性以及重復性好成品率高，使用壽命長，保溫效果好，溫場復性好，有利于鍍膜材料及晶體生長制作，在前端就達到了溫度控制。
文檔編號C30B35/00GK202465962SQ20122002275
公開日2012年10月3日 申請日期2012年1月18日 優先權日2012年1月18日
發明者靜宇, 靜楓 申請人:吉林省賽爾光電技術有限公司