一種激活多晶硅制絨藥液的方法
【專利摘要】本發明公開了一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向新配置的制絨藥液或停機再生產的藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片（破損的硅片），使得制絨藥液快速的產生大量的活性物質，增加藥液的活性，使得藥液前期的硅片絨面形貌正常，減少不良品的產生。
【專利說明】一種激活多晶硅制絨藥液的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種激活多晶硅制絨藥液的方法，屬于多晶硅太陽能電池領域。
【背景技術】 [0002]目前，制絨是制備具有減少反射功能的硅表面的方法，將晶體硅硅片表面織構化，利用表面的陷光作用促進太陽光的吸收，提高多晶太陽能電池的轉換效率。多晶硅太陽能電池的制作過程中一般都采用酸腐蝕(HF+HN03)的方式制絨，然而HF和HN03的腐蝕體系在新配置時或放置一段時間的藥液(產線交換班別中間需要停止生產)，由于藥液中缺少中間產物(活性物質亞硝酸、氟硅酸等)，腐蝕硅片的速率很慢，使得前期生產的硅片絨面形貌異常(腐蝕坑洞偏小)，導致產生不良品(PECVD鍍膜后顯現外觀不良)。
【發明內容】
[0003]本發明的目的提供一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向新配置的制絨藥液或停機再生產的藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片(破損的硅片)，使得制絨藥液快速的產生大量的活性物質，增加藥液的活性，使得藥液前期的硅片絨面形貌正常，減少不良品的產生。
[0004]一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置0_4h的制絨藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片，混合均勻，即得。
[0005]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入150-170L純水、再加入50-60L的49%HF、再加入 240-260L 的 70%HN03。
[0006]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為50_100g，和制絨藥液混合5-10min。
[0007]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為50-100g，和制絨藥液混合10-20min。
[0008]本發明的優點:本發明通過快速激活新配置的制絨藥液及放置一段時間的制絨藥液，使得藥液前期生產的硅片絨面形貌正常，減少不良品的產生。
【具體實施方式】
[0009]實施例1:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置Oh的制絨藥液中加入晶體硅粉，混合均勻，即得。
[0010]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入150L純水、再加入50L的49%HF、再加入 240L 的 70%HN03。
[0011]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為50g，和制絨藥液混合 5min。
[0012]實施例2:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置lh的制絨藥液中加入晶體硅粉，混合均勻，即得。
[0013]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入155L純水、再加入52L的49%HF、再加入 245L 的 70%HN03。
[0014]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為60g，和制絨藥液混合 6min。
[0015]實施例3:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置2h的制絨藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片，混合均勻，即得。
[0016]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入160L純水、再加入54L的49%HF、再加入 250L 的 70%HN03。
[0017]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為70g，和制絨藥液混合 7min。
[0018]實施例4:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置3h的制絨藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片，混合均勻，即得。
[0019]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入165L純水、再加入57L的49%HF、再加入 255L 的 70%HN03。
[0020]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為80g，和制絨藥液混合 8min。
[0021]實施例5:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置4h的制絨藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片，混合均勻，即得。
[0022]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入170L純水、再加入60L的49%HF、再加入 260L 的 70%HN03。
[0023]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為100g，和制絨藥液混合 IOmin0
[0024]實施例6:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置Oh的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0025]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入150L純水、再加入50L的49%HF、再加入 240L 的 70%HN03。
[0026]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為50g，和制絨藥液混合lOmin。
[0027]實施例7:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置Ih的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0028]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入158L純水、再加入53L的49%HF、再加入 246L 的 70%HN03。
[0029]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為58g，和制絨藥液混合12min。
[0030]實施例8:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置2h的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0031]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入162L純水、再加入55L的49%HF、再加入 252L 的 70%HN03。
[0032]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為65g，和制絨藥液混合15min。
[0033]實施例9:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置3h的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0034]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入166L純水、再加入57L的49%HF、再加入 258L 的 70%HN03。
[0035]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為75g，和制絨藥液混合18min。
[0036]實施例10:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置4h的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0037]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入170L純水、再加入60L的49%HF、再加入 260L 的 70%HN03。
[0038]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為100g，和制絨藥液混合20min。
[0039]實施例11:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置2h的制絨藥液中加入晶體硅粉，混合均勻，即得。
[0040]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入160L純水、再加入56L的49%HF、再加入 248L 的 70%HN03。
[0041]其中晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為40g，和制絨藥液混合 12min。
[0042]實施例12:
一種激活多晶硅制絨藥液的方法，向放置3h的制絨藥液中加入碎硅片，混合均勻，即得。
[0043]其中制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入163L純水、再加入58L的49%HF、再加入 258L 的 70%HN03。
[0044]其中碎硅片為晶體硅太陽能電池中生產過程中前三道(制絨工序、擴散工序、刻蝕工序)產生的破損硅片，每480L制絨藥液的加入量為110g，和制絨藥液混合23min。
[0045]各個實施例制備的硅片生產過程中不良品比例如下表所示:
【權利要求】
1.一種激活多晶硅制絨藥液的方法，其特征為:向放置0-4h的制絨藥液中加入晶體硅粉或者碎硅片，混合均勻，即得。
2.如權利要求1所述的一種激活多晶硅制絨藥液的方法，其特征為:制絨藥液的制備方法為:向槽體中先加入150-170L純水、再加入50-60L的49%HF、再加入240-260L的70%HN03o
3.如權利要求1所述的一種激活多晶硅制絨藥液的方法，其特征為:晶體硅粉的純度≥99.99%，每480L制絨藥液的加入量為50_100g，和制絨藥液混合5_10min。
4.如權利要求1所述的一種激活多晶硅制絨藥液的方法，其特征為:碎硅片在每480L制絨藥液的加入量為50-100g，和制絨藥液混合10-20min。
【文檔編號】C30B33/10GK103643304SQ201310694057
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月18日 優先權日:2013年12月18日
【發明者】柳杉, 黃治國, 王鵬, 梅超, 殷建安, 包兵兵 申請人:上饒光電高科技有限公司