一種清洗設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示器制造領域，尤其涉及一種清洗設備。
【背景技術】
[0002]在顯不器的制造過程中，以TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay，薄膜晶體管液晶顯示器)為例，清洗設備需要對進行光刻技術前的基板(即涂覆光刻膠之前的基板)進行清洗，以及在形成取向膜之前也需要對基板進行清洗，以去除基板表面的雜質。此外，在對顯示器的不良解析過程中也會對液晶、取向膜等進行清洗。
[0003]如圖1所示，目前的清洗設備I包括清洗腔室10以及與清洗腔室相連的排廢液管路20和新液補充管路30。其中，新液補充管路30用于為清洗腔室10補入清洗液，當清洗液達不到清洗要求時，排廢液管路20用于排除清洗腔室10中的清洗液。
[0004]其中，清洗腔室10中的清洗液在達不到清潔要求時只能作廢液處理，存在清洗液浪費的問題。
【發明內容】
[0005]本發明的實施例提供一種清洗設備，可改善清洗液浪費的問題。
[0006]為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案:
[0007]提供一種清洗設備，包括清洗腔室、新液補充管路、排廢液管路，還包括存儲箱、循環管路和過濾裝置；所述存儲箱用于存儲清洗液；所述循環管路包括第一循環管路和第二循環管路，所述第一循環管路用于使所述存儲箱中的清洗液進入所述清洗腔室，所述第二循環管路用于使所述清洗腔室中的清洗液進入所述存儲箱；所述過濾裝置用于對經第二循環管路進入存儲箱的清洗液進行過濾。
[0008]優選的，所述清洗腔室內設置有基板支撐裝置；所述基板支撐裝置包括支撐面，所述支撐面上設置有多個支撐針。
[0009]進一步優選的，所述基板支撐裝置還包括底面，所述支撐面與所述底面呈銳角夾角；在所述支撐面的靠近所述底面處設置擋板，所述擋板用于固定待清洗基板。
[0010]優選的，所述新液補充管路與所述存儲箱相連；所述存儲箱包括至少兩個子存儲箱，所述新液補充管路用于為每個子存儲箱補入清洗液；所述第一循環管路用于使任一個子存儲箱中的清洗液進入所述清洗腔室，所述第二循環管路用于使所述清洗腔室中的清洗液進入任一個子存儲箱。
[0011]進一步優選的，所述存儲箱包括出液通道，所述出液通道與每個子存儲箱之間設置閥門；所述第一循環管路與所述出液通道相連。
[0012]進一步的，所述排廢液管路與所述出液通道相連。
[0013]優選的，相鄰子存儲箱之間設置閥門；所述第一循環管路與任一個子存儲箱相連。
[0014]進一步的，所述排廢液管路和所述第一循環管路與同一個子存儲箱相連。
[0015]優選的，所述存儲箱還包括入液通道，所述入液通道與每個子存儲箱之間設置閥門；所述第二循環管路與所述入液通道相連。
[0016]進一步優選的，所述新液補充管路與所述入液通道相連。
[0017]進一步的，所述入液通道分成多個間隔段，任一個間隔段對應一個子存儲箱；在相鄰間隔段之間設置閥門。
[0018]本發明實施例提供一種清洗設備，在清洗腔室中完成清洗后，通過第二循環管路可以將清洗液重新收集到存儲箱中，與此同時，可通過過濾裝置對經第二循環管路進入存儲箱中的清洗液進行過濾，以便重新收集在存儲箱中的清洗液還可用于下一次清洗。由于在每次清洗完成后都經過了過濾處理，可以提高清洗液的清潔度，從而延長了清洗液的使用壽命，改善清洗液浪費的問題。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為現有技術提供的一種清洗設備的結構示意圖；
[0021]圖2為本發明實施例提供的一種清洗設備的結構示意圖一；
[0022]圖3為本發明實施例提供的一種清洗設備的結構示意圖二 ；
[0023]圖4為本發明實施例提供的一種支撐裝置的結構示意圖；
[0024]圖5為本發明實施例提供的一種存儲箱的結構示意圖一；
[0025]圖6為本發明實施例提供的一種存儲箱的結構示意圖二；
[0026]圖7為本發明實施例提供的一種存儲箱的結構示意圖三；
[0027]圖8為本發明實施例提供的一種清洗設備的結構示意圖三；
[0028]圖9為本發明實施例提供的一種清洗設備的結構示意圖四。
[0029]附圖標記；
[0030]1-清洗設備；10_清洗腔室；101_基板支撐裝置；1011_支撐面；1012_支撐針；1013-底面；1014_擋板；20_排廢液管路；30_新液補充管路；40_存儲箱；401_子存儲箱；402-出液通道；403_入液通道；4031_間隔段；501_第一循環管路；502_第二循環管路；60-過濾裝置；70_閥門；701-第一閥門；702_第二閥門；703_第三閥門；704_第四閥門；705-第五閥門；706_第六閥門；707_第七閥門；708_第八閥門；709_第九閥門；710_第十閥門；711-第^^一閥門；712-第十二閥門；713-第十三閥門；714_第十四閥門。
【具體實施方式】
[0031]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0032]本發明實施例提供一種清洗設備1，如圖2和圖3所示，該清洗設備I包括清洗腔室10、新液補充管路30、排廢液管路20，還包括存儲箱40、循環管路和過濾裝置60。
[0033]其中，存儲箱40用于存儲清洗液。
[0034]循環管路包括第一循環管路501和第二循環管路502，第一循環管路501用于使存儲箱40中的清洗液進入清洗腔室10，第二循環管路502用于使清洗腔室10中的清洗液進入存儲箱40。
[0035]過濾裝置60用于對經第二循環管路502進入存儲箱40的清洗液進行過濾。
[0036]需要說明的是，第一，對于新液補充管路30和排廢液管路20，其可以如圖2所示與清洗腔室10相連，也可以如圖3所示與存儲箱40相連，當然，也可以分別與清洗腔室10和存儲箱40相連，具體在此不做限定。
[0037]第二，不對過濾裝置60進行限定，其可以為過濾網，也可以是具有吸附雜質功能的吸附裝置。
[0038]其中，過濾裝置60可以如圖2所示設置在第二循環管路502的入口處，例如可以設置在清洗腔室10的與第二循環管路502連接的位置處。
[0039]或者，過濾裝置60可以如圖3所示設置在第二循環管路502的出口處，例如可以設置在存儲箱40的與第二循環管路502連接的位置處。
[0040]本發明實施例提供一種清洗設備1，在清洗腔室10中完成清洗后，通過第二循環管路502可以將清洗液重新收集到存儲箱40中，與此同時，可通過過濾裝置60對經第二循環管路502進入存儲箱40中的清洗液進行過濾，以便重新收集在存儲箱40中的清洗液還可用于下一次清洗。由于在每次清洗完成后都經過了過濾處理，可以提高清洗液的清潔度，從而延長了清洗液的使用壽命，改善清洗液浪費的問題。
[0041]優選的，如圖4所示，清洗腔室10內設置有基板支撐裝置101 ;基板支撐裝置101包括支撐面1011，支撐面1011上設置有多個支撐針1012。
[0042]需要說明的是，對于支撐面1011，本發明實施例并不限于圖4的設置方式，也可以是水平設置。
[0043]通過在支撐面1011上設置支撐針1012，可以對放入清洗腔室10的待清洗基板進行支撐，并起到固定基板的作用，從而避免對待清洗基板造成損壞。
[0044]進一步優選的，如圖4所示，基板支撐裝置101還包括底面1013，支撐面1011與底面1013呈銳角夾角；在支撐面101的靠近底面1013處設置擋板1014，擋板1014用于固定放入清洗腔室10的待清洗基板。
[0045]當支撐面1011為斜面時，通過設置擋板1014可以避免位于基板支撐裝置101上的待清洗基板滑落，從而可以很好的固定待清洗基板。在此基礎上，由于支撐面1011是斜面，當對放置在其上的待清洗基板進行清洗時，清洗液可以順勢從基板表面流下，避免在基板表面滯留而出現液漬。
[0046]優選的，如圖5-圖7所示，新液補充管路30與存儲箱40相連；存儲箱40包括至少兩個子存儲箱401，新液補充管路30用于為每個子存儲箱401補入清洗液；第一循環管路501用于使任一個子存儲箱401中的清洗液進入清洗腔室10，第二循環管路502用于使清洗腔室10中的清洗液進入任一個子存儲箱401。
[0047]需要說明的是，不對子存儲箱401的個數進行限定，具體可根據實際情況進行限定。此外，由于各子存儲箱401是相互獨立的，因此，各子存儲箱401中的清洗液在濃度或成分上可不相同。
[0048]本發明實施例通過將存儲箱40設置為多個相互獨立的子存儲箱401，可在不同子存儲箱401中存儲不同濃度的清洗液或不同成分的清洗液，這樣，在使用其中一個子存儲箱401中的清洗液對待清洗基板進行清洗后，由于該清洗液又可回收到該子存儲箱401中，因此可再利用其它子存儲箱401中的清洗液對待清洗基板繼續進行清洗。其中，由于各子存儲箱401相互獨立，在使用其中一個子存儲箱401中的清洗液對待清洗基板進行清洗時，可使其他子存儲箱401內的清洗液保持清潔，避免全部清洗液受到雜質的污染，從而使清洗后的基板的潔凈度更高。
[0049]具體的，如圖5和圖7所示，存儲箱40包括出液通道402，出液通道402與每個子存儲箱401之間設置閥門70 ;第一循環管路501與出液通道402相連。
[0050]這樣，對于任一個子存儲箱401，當打開出液通道402與該子存儲箱401之間的閥門70時，該子存儲箱401中存儲的清洗液便可經出液通道402到達第一循環管路501，從而通過第一循環管路501進入清洗腔室10。
[0051]基于此，在實際使用過程中，可根據需要靈活控制出液通道402與各子存儲箱401對應的閥門70，以便使需要的清洗液進入清洗腔室10。
[0052]在此基礎上，如圖5和圖7所示，排廢液管路20可以與出液通道402相連。
[0053]或者，如圖6所示，相鄰子存儲箱401之間設置閥門70 ;第一循環管路501與任一個子存儲箱401相連。
[0054]這樣，可先使用與第一循環管路501相連的子存儲箱401中的清洗液，當該清洗液因達不到清洗要求而作廢液處理后，可打開該子存儲箱401與相鄰子存儲箱401之間的閥門70，使得該相鄰子存儲箱401中的清洗液經第一循環管路501進入清洗腔室10，以此類推，直到所有子