存儲箱401中的清洗液全部作廢液處理。
[0055]在此基礎上，如圖6所示，排廢液管路20和第一循環管路501可以與同一個子存儲箱401相連。
[0056]基于上述，如圖5-7所示，存儲箱40還包括入液通道403，入液通道403與每個子存儲箱401之間設置閥門70 ;第二循環管路502與入液通道403相連。
[0057]這樣，對于任一個子存儲箱401，當打開入液通道403與該子存儲箱401之間的閥門70時，清洗腔室10中的清洗液便可經第二循環管路502進入入液通道403，從而進入打開閥門70的相應子存儲箱401。
[0058]進一步優選的，如圖5-7所示，新液補充管路30與入液通道403相連。
[0059]這樣，借助入液通道403，可實現對每個子存儲箱401補入清洗液的目的，簡化該清潔設備I的結構。
[0060]進一步優選的，如圖7所示，入液通道403分成多個間隔段4031，任一個間隔段4031對應一個子存儲箱401 ;在相鄰間隔段4031之間設置閥門70。
[0061]通過合理設置新液補充管路30和第二循環管路502的位置，以及位于入液通道403中閥門70的開關，可使從新液補充管路30補入的新的清洗液和從第二循環管路502進入的清洗液隔開，在此基礎上，通過控制入液通道403與每個子存儲箱401之間的閥門70，可使經第二循環管路502進入的清洗液和經新液補充管路30補入的新的清洗液進入不同的子存儲箱401，從而使得作廢液處理后的子存儲箱401及時進行新液的補充，相對所有子存儲箱401在全部作廢液處理后再進行新液的補充，可節省新液的補充時間，從而提高了生產效率。
[0062]下面提供兩個具體實施例以詳細描述清洗設備I的結構以及其工作方式。
[0063]實施例一:
[0064]如圖8所示，清洗設備I包括清洗腔室10和存儲箱40、與清洗腔室10和存儲箱40相連的第一循環管路501和第二循環管路502、設置在清洗腔室10內與第二循環管路502連接處的過濾裝置60、以及新液補充管路30和排廢液管路20。
[0065]其中，存儲箱40包括五個子存儲箱401、設置在五個子存儲箱401下方的出液通道402和設置在五個子存儲箱401上方的入液通道403。
[0066]沿從左至右的方向，出液通道402與每個子存儲箱401之間依次設置第二閥門702、第五閥門705、第八閥門708、第^^一閥門711和第十四閥門714。
[0067]沿從左至右的方向，入液通道403與每個子存儲箱401之間設置第一閥門701、第四閥門704、第七閥門707、第十閥門710和第十三閥門713。入液通道403分成多個間隔段4031，任一個間隔段4031對應一個子存儲箱401，沿從左至右的方向，相鄰間隔段4031之間依次設置第三閥門703、第六閥門706、第九閥門709和第十二閥門712。
[0068]第二循環管路502與入液通道403的最右側的間隔段4031相連，新液補充管路30與入液通道403的最左側的間隔段4031相連，第一循環管路501和排廢液管路20均與出液通道402相連。
[0069]基于上述的結構，沿從左至右的方向，第一個子存儲箱401、第二個子存儲箱401、第三個子存儲箱401、第四個子存儲箱401和第五個子存儲箱401可順序進行工作。
[0070]當第一個子存儲箱401工作時，將第一閥門701、第二閥門702、第三閥門703、第六閥門706、第九閥門709和第十二閥門712打開，第一個子存儲箱401內的清洗液可通過第一循環管路501進入清洗腔室10，以便對位于清洗腔室10中的待清洗基板進行清洗，清洗結束后，清洗腔室10中的清洗液可通過過濾裝置60后到達第二循環管路502，并經打開的第十二閥門712、第九閥門709、第六閥門706和第三閥門703返回到第一個子存儲箱401內，如此重復，直到第一個子存儲箱401內的清洗劑因達不到清洗要求而作廢液處理。
[0071]在作廢液處理時，打開第二閥門702，其余閥門關閉，第一個子存儲箱401內廢液便可經出液通道402到達排廢液管路20，通過打開排廢液管路20而使廢液排出，排放結束后關閉第二閥門702。
[0072]之后可對第一個子存儲箱401進行新液補充，此時，打開第一閥門701，至少關閉第二閥門702和第三閥門703，新的清洗液便可通過新液補充管路30到達入液通道403的最左側的間隔段4031，從而通過打開的第一閥門701進入第一個子存儲箱401中，補充完畢后關閉第二閥門701。
[0073]需要說明的是，對第一個子存儲箱401進行新液補充，也可在第二個子存儲箱401工作時進行。對于第二個子存儲箱401以及后續子存儲箱401的工作過程與上述第一個子存儲箱401的工作過程類似，在此不再贅述。
[0074]實施例二:
[0075]如圖9所示，清洗設備I包括清洗腔室10和存儲箱40、與清洗腔室10和存儲箱40相連的第一循環管路501和第二循環管路502、設置在清洗腔室10內與第二循環管路502連接處的過濾裝置60、以及新液補充管路30和排廢液管路20。
[0076]其中，存儲箱40包括五個子存儲箱401和設置在五個子存儲箱401上方的入液通道 403。
[0077]沿從左至右的方向，相鄰子存儲箱401之間依次設置第一閥門701、第二閥門702、第三閥門703和第四閥門704。
[0078]沿從左至右的方向，入液通道403與每個子存儲箱401之間設置第五閥門705、第六閥門706、第七閥門707、第八閥門708和第九閥門709。
[0079]第二循環管路502與入液通道403的最右側相連，新液補充管路30與入液通道403的最左側相連，第一循環管路501和排廢液管路20均與最左側的子存儲箱401相連。
[0080]基于上述的結構，沿從左至右的方向，第一個子存儲箱401、第二個子存儲箱401、第三個子存儲箱401、第四個子存儲箱401和第五個子存儲箱401可順序進行工作。
[0081]當第一個子存儲箱401工作時，將第五閥門705打開，第一個子存儲箱401內的清洗液可通過第一循環管路501進入清洗腔室10，以便對位于清洗腔室10中的待清洗基板進行清洗，清洗結束后，清洗腔室10中的清洗液可通過過濾裝置60后經第二循環管路502到達入液通道403，從而通過打開的第五閥門705返回到第一個子存儲箱401內，如此重復，直到第一個子存儲箱401內的清洗劑因達不到清洗要求而作廢液處理。
[0082]在作廢液處理時，可通過打開的排廢液管路20使第一個子存儲箱401內的廢液排出。
[0083]當第二個子存儲箱401工作時，將第一閥門701和第六閥門706打開，第二個子存儲箱401內的清洗液可通過第一循環管路501進入清洗腔室10，以便對位于清洗腔室10中的待清洗基板進行清洗，清洗結束后，清洗腔室10中的清洗液可通過過濾裝置60后經第二循環管路502到達入液通道403，從而通過打開的第六閥門706返回到第二個子存儲箱401內，如此重復，直到第二個子存儲箱401內的清洗劑因達不到清洗要求而作廢液處理。
[0084]在作廢液處理時，打開第一閥門701，其余閥門關閉，第二個子存儲箱401內廢液便可通過打開的排廢液管路20使第二個子存儲箱401內的廢液排出。
[0085]對于后續子存儲箱401的工作過程與上述第二個子存儲箱401的工作過程類似，在此不再贅述。
[0086]當所有子存儲箱401中的清洗液都作廢液處理后，打開第五閥門705、第六閥門706、第七閥門707、第八閥門708和第九閥門709，新的清洗液便可通過新液補充管路30到達各子存儲箱401中。
[0087]以上所述，僅為本發明的【具體實施方式】，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種清洗設備，包括清洗腔室、新液補充管路、排廢液管路，其特征在于，還包括存儲箱、循環管路和過濾裝置； 所述存儲箱用于存儲清洗液； 所述循環管路包括第一循環管路和第二循環管路，所述第一循環管路用于使所述存儲箱中的清洗液進入所述清洗腔室，所述第二循環管路用于使所述清洗腔室中的清洗液進入所述存儲箱； 所述過濾裝置用于對經第二循環管路進入存儲箱的清洗液進行過濾。2.根據權利要求1所述的清洗設備，其特征在于，所述清洗腔室內設置有基板支撐裝置； 所述基板支撐裝置包括支撐面，所述支撐面上設置有多個支撐針。3.根據權利要求2所述的清洗設備，其特征在于，所述基板支撐裝置還包括底面，所述支撐面與所述底面呈銳角夾角； 在所述支撐面的靠近所述底面處設置擋板，所述擋板用于固定待清洗基板。4.根據權利要求1所述的清洗設備，其特征在于，所述新液補充管路與所述存儲箱相連； 所述存儲箱包括至少兩個子存儲箱，所述新液補充管路用于為每個子存儲箱補入清洗液； 所述第一循環管路用于使任一個子存儲箱中的清洗液進入所述清洗腔室，所述第二循環管路用于使所述清洗腔室中的清洗液進入任一個子存儲箱。5.根據權利要求4所述的清洗設備，其特征在于，所述存儲箱包括出液通道，所述出液通道與每個子存儲箱之間設置閥門； 所述第一循環管路與所述出液通道相連。6.根據權利要求5所述的清洗設備，其特征在于，所述排廢液管路與所述出液通道相連。7.根據權利要求4所述的清洗設備，其特征在于，相鄰子存儲箱之間設置閥門； 所述第一循環管路與任一個子存儲箱相連。8.根據權利要求7所述的清洗設備，其特征在于，所述排廢液管路和所述第一循環管路與同一個子存儲箱相連。9.根據權利要求4所述的清洗設備，其特征在于，所述存儲箱還包括入液通道，所述入液通道與每個子存儲箱之間設置閥門； 所述第二循環管路與所述入液通道相連。10.根據權利要求9所述的清洗設備，其特征在于，所述新液補充管路與所述入液通道相連。11.根據權利要求10所述的清洗設備，其特征在于，所述入液通道分成多個間隔段，任一個間隔段對應一個子存儲箱； 在相鄰所述間隔段之間設置閥門。
【專利摘要】本發明的實施例提供一種清洗設備，涉及顯示器制造領域，可改善清洗液浪費的問題。該清洗設備，包括清洗腔室、新液補充管路、排廢液管路，還包括存儲箱、循環管路和過濾裝置；所述存儲箱用于存儲清洗液；所述循環管路包括第一循環管路和第二循環管路，所述第一循環管路用于使所述存儲箱中的清洗液進入所述清洗腔室，所述第二循環管路用于使所述清洗腔室中的清洗液進入所述存儲箱；所述過濾裝置用于對經第二循環管路進入存儲箱的清洗液進行過濾。用于對基板進行清洗。
【IPC分類】B08B3/04, B08B13/00
【公開號】CN105170534
【申請號】
【發明人】王東亮, 王琳琳, 李興亮
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年10月15日