線部件4安裝在左排線部件3的上方。所述左龍門架33安裝在大底架I的左上方，左張力電機安裝架32安裝在左龍門架33的上方，左線偏檢測部件5安裝在左龍門架33的外側，第一進刀單元7和第四進刀單元34安裝在左龍門架33的內側。所述左張力電機安裝架32上安裝有第一過渡導輪10、第二過渡導輪11、左張力電機31、左張力臂9，所述左張力導輪8安裝在左張力臂9上。
[0025]所述右排線安裝架22安裝在大底架I的右側，右排線部件21安裝在右排線安裝架22的上方;所述右收放線部件19安裝在右排線部件21的上方。所述右龍門架27安裝在大底架I的右上方，右張力電機安裝架25安裝在右龍門架27的上方，右線偏檢測部件17安裝在右龍門架27的外側，第二進刀單元16和第三進刀單元28安裝在右龍門架27的內側。所述右張力電機安裝架25上安裝有第三過渡導輪12、第四過渡導輪13、右張力電機24、右張力臂14，所述右張力導輪15安裝在右張力臂14上。
[0026]所述第五過渡導輪26安裝在左龍門架33和右龍門架27之間，第五過渡導輪26上還設有測速裝置，能夠對金剛石線的線速度進行實時檢測獲取。所述工作臺頭座30和工作臺尾座23安裝在大底架I的正上方，工作臺頭座30和工作臺尾座23之間用于夾持晶棒20，且能夠控制晶棒20沿工作臺頭座30和工作臺尾座23的軸線旋轉。
[0027]金剛石線從左收放線部件4中出來，依次經過左線偏檢測部件5、第一過渡導輪10、左張力導輪8、第二過渡導輪11;然后豎直向下經過第一進刀單元7上的第一進刀導輪6;再沿水平方向經過第四進刀單元34上的第四進刀導輪35后，金剛石線沿豎直方向繞過第五過渡導輪26;接下來沿水平方向經過第三進刀單元28上的第三進刀導輪29和第二進刀單元16上的第二進刀導輪18;緊接著金剛石線沿豎直方向向上繞過第三過渡導輪12;而后依次經過右張力導輪15、第四過渡導輪13、右線偏檢測部件17，最后進入右收放線部件19。
[0028]切割時，左收放線部件4和右收放線部件19來回轉動，帶動其上的金剛石線做往復運動；同時第一進刀單元7帶動第一進刀導輪6向下進刀，第四進刀單元34帶動第四進刀導輪35向下進刀，而從帶動第一進刀導輪6和第四進刀導輪35之間的金剛石線向下切人晶棒20中；第二進刀單元16帶動第二進刀導輪18向下進刀，第三進刀單元28帶動第三進刀導輪29向下進刀，從而帶動第二進刀導輪18和第三進刀導輪29之間的金剛石線向下切人晶棒20中；在切割時，通過左張力電機31和右張力電機24來控制金剛石線上的張力。
[0029]當晶棒20相對兩面切完后，第一進刀單元7帶動第一進刀導輪6向上退刀，第二進刀單元16帶動第二進刀導輪18向上退刀，第三進刀單元28帶動第三進刀導輪29向上退刀，第四進刀單元34帶動第四進刀導輪35上退進刀；退刀完成后，工作臺頭座30和工作臺尾座23帶動中間夾持的晶棒20沿順時針方向旋轉90度;然后左收放線部件4和右收放線部件19來回轉動，帶動其上的金剛石線做往復運動；同時第一進刀單元7帶動第一進刀導輪6向下進刀，第四進刀單元34帶動第四進刀導輪35向下進刀，而從帶動第一進刀導輪6和第四進刀導輪35之間的金剛石線向下切人晶棒20中；第二進刀單元16帶動第二進刀導輪18向下進刀，第三進刀單元28帶動第三進刀導輪29向下進刀，從而帶動第二進刀導輪18和第三進刀導輪29之間的金剛石線向下切人晶棒20中。將晶棒20的4個面都切完后，完成切割。
[0030]最后，需要注意的是，以上列舉的僅是本發明的具體實施例。顯然，本發明不限于以上實施例，還可以有很多變形。本領域的普通技術人員能從本發明公開的內容中直接導出或聯想到的所有變形，均應認為是本發明的保護范圍。
【主權項】
1.金剛線單晶硅棒切方設備，包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導輪、張力導輪，其特征在于，所述龍門架設有兩個，分別為左龍門架和右龍門架;所述排線安裝架設有兩個，分別為左排線安裝架和右排線安裝架;所述張力電機安裝架設有兩個，分別為左張力電機安裝架和右張力電機安裝架;所述張力電機設有兩個，分別為左張力電機和右張力電機;所述張力臂設有兩個，分別為左張力臂和右張力臂;所述過渡導輪設有五個，分別為第一過渡導輪、第二過渡導輪、第三過渡導輪、第四過渡導輪和第五過渡導輪；所述張力導輪設有兩個，分別為左張力導輪和右張力導輪;所述進刀單元設有四個，分別為第一進刀單元、第二進刀單元、第三進刀單元和第四進刀單元;所述排線部件設有兩個，分別為左排線部件和右排線部件，排線部件用于將金剛石線均勻排布在收放線部件上;所述收放線部件設有兩個，分別為左收放線部件和右收放線部件，收放線部件用于實現金剛石線的往復運動;所述線偏檢測部件設有兩個，分別為左線偏檢測部件和右線偏檢測部件，線偏檢測部件用于檢測收放線部件上的金剛石線是否均勻分布； 所述左排線安裝架安裝在大底架的左側，左排線部件安裝在左排線安裝架的上方;所述左收放線部件安裝在左排線部件的上方;所述左龍門架安裝在大底架的左上方，左張力電機安裝架安裝在左龍門架的上方，左線偏檢測部件安裝在左龍門架的外側，第一進刀單元和第四進刀單元安裝在左龍門架的內側;所述左張力電機安裝架上安裝有第一過渡導輪、第二過渡導輪、左張力電機、左張力臂，所述左張力導輪安裝在左張力臂上； 所述右排線安裝架安裝在大底架的右側，右排線部件安裝在右排線安裝架的上方;所述右收放線部件安裝在右排線部件的上方;所述右龍門架安裝在大底架的右上方，右張力電機安裝架安裝在右龍門架的上方，右線偏檢測部件安裝在右龍門架的外側，第二進刀單元和第三進刀單元安裝在右龍門架的內側；所述右張力電機安裝架上安裝有第三過渡導輪、第四過渡導輪、右張力電機、右張力臂，所述右張力導輪安裝在右張力臂上； 所述第五過渡導輪安裝在左龍門架和右龍門架之間；所述工作臺頭座和工作臺尾座安裝在大底架的正上方，工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉。2.根據權利要求1所述的金剛線單晶硅棒切方設備，其特征在于，所述第一進刀單元上安裝有第一進刀導輪，第一進刀單元能夠獨立控制第一進刀導輪在豎直方向上的進刀速度和進刀深度。3.根據權利要求1所述的金剛線單晶硅棒切方設備，其特征在于，所述第二進刀單元上安裝有第二進刀導輪，第二進刀單元能夠獨立控制第二進刀導輪在豎直方向上的進刀速度和進刀深度。4.根據權利要求1所述的金剛線單晶硅棒切方設備，其特征在于，所述第三進刀單元上安裝有第三進刀導輪，第三進刀單元能夠獨立控制第三進刀導輪在豎直方向上的進刀速度和進刀深度。5.根據權利要求1所述的金剛線單晶硅棒切方設備，其特征在于，所述第四進刀單元上安裝有第四進刀導輪，第四進刀單元能夠獨立控制第四進刀導輪在豎直方向上的進刀速度和進刀深度。6.根據權利要求1至5任意一項所述的金剛線單晶硅棒切方設備，其特征在于，所述第五過渡導輪上設有測速裝置，能夠對金剛石線的線速度進行實時檢測獲取。
【專利摘要】本發明涉及單晶硅棒加工專用切割設備，旨在提供金剛線單晶硅棒切方設備。該金剛線單晶硅棒切方設備包括大底架、龍門架、排線安裝架、張力電機安裝架、張力電機、張力臂、工作臺頭座、工作臺尾座、排線部件、收放線部件、線偏檢測部件、進刀單元、過渡導輪、張力導輪，工作臺頭座和工作臺尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺頭座和工作臺尾座的軸線旋轉。本發明結構緊湊，布局合理；本發明采用金剛石線鋸切割，切割刀痕小，切割面質量高，大大減少了原材料的損耗；本發明大大改善了工作環境，實現了環保生產。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/04
【公開號】CN105643820
【申請號】
【發明人】傅林堅, 何守龍, 曹建偉, 沈文杰, 朱亮, 盧嘉彬, 邱文杰, 沈加富, 邱敏秀
【申請人】浙江晶盛機電股份有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2016年3月18日