管路與所述抽氣裝置連通。
[0038]供料槽包括供料槽槽體21和水栗22，所述供料槽槽體21設有溢流口23，該溢流口23通過管路與一儲液槽24連通;所述供料槽槽體21內設有用以盛放堆垛硅片26的承托平臺25，該承托平臺25與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接;所述供料槽槽體21上設有液壓傳感器27，該液壓傳感器27與一計算機數控系統信號連接，所述計算機數控系統與所述水栗22電連接;所述供料槽槽體I內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度。所述上下移動驅動裝置為絲杠螺母機構。所述水栗的進水口通過管路與所述儲液槽連通，所述水栗的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。
[0039]液壓傳感器27檢測的液位，對水栗進行通斷電控制，以使所述供料槽槽體I內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度。供料槽槽體I內的液體一般為水，也可以采用其它種類的液體替代水，但是不能損害和不影響硅片的后續加工。
[0040]輸送帶包括第一輸送帶31、第二輸送帶32、第三輸送帶33和第四輸送帶34，為了延長輸送距離，可以增加與第一輸送帶31輸送方向一致的輸送帶，與第四輸送帶34輸送方向一致的輸送帶。
[0041]所述第一輸送帶31和第二輸送帶32依次設置，且第一輸送帶31和第二輸送帶32的輸送方向相同，即第一輸送帶31將其上的硅片35輸送至第二輸送帶32上。所述第三輸送帶33和第四輸送帶34依次設置，即第三輸送帶33將其上的硅片35輸送至第四輸送帶34上，第四輸送帶34最終將硅片送至硅片承載盒上。
[0042]所述第二輸送帶32和第三輸送帶33成夾角設置，最佳實施方式為:所述第二輸送帶32和第三輸送帶33成直角設置，即第二輸送帶32將其上的硅片35由第二輸送帶32的端部，經第三輸送帶33的側邊送至第三輸送帶33上。
[0043]所述第三輸送帶33朝向第二輸送帶32的側邊與第二輸送帶32端部的間隙的距離小于硅片35的尺寸，為了阻止硅片35由第三輸送帶33的另一側邊掉落，所述第三輸送帶33的另一側邊設有硅片擋板38，該硅片擋板38朝向所述第二輸送帶32的側部設有柔性材料層39;所述第二輸送帶32的上方設有硅片檢測裝置36，該硅片檢測裝置36與一控制系統信號連接;所述第三輸送帶33對應所述第四輸送帶34相反的一端設有廢片儲盒37;所述控制系統與所述第三輸送帶33的驅動馬達電連接。
[0044]優選的實施方式為:所述柔性材料層39的材質為硅膠。
[0045]優選的實施方式為:所述第一輸送帶31傾斜設置，其高的一端與所述第二輸送帶32相鄰設置。
[0046]優選的實施方式為:所述第一輸送帶31、第二輸送帶32、第三輸送帶33和第四輸送帶34均為同步帶。
[0047]工作方法:將分片機構10與供料槽槽體21內的水接觸，最佳的方式是:氣孔3位于水下，分片輸送帶2和滾輪4部分位于水下。
[0048]將堆垛硅片26放置在供料槽槽體21內的承托平臺25上，并位于分片輸送帶2的正下方，啟動抽氣裝置和驅動分片輸送帶轉動的驅動裝置。當硅片接觸分片輸送帶的下側面時，氣孔產生的負壓對娃片的吸附力、再加上娃片的表面存在有水使娃片與輸送帶之間產生粘結力，硅片吸附在分片輸送帶的下側面，這樣與分片輸送帶接觸的硅片與其下的硅片之間會產生縫隙，隨著分片輸送帶的轉動，與分片輸送帶接觸的硅片與其下的堆垛硅片徹底分開，分開后的硅片則在慣性作用下移動到滾輪的位置，由于滾輪沒有電機驅動，因此當硅片到達滾輪后會落下，落到位于其下方的第一輸送帶31上。所述第一輸送帶31、第二輸送帶32、第三輸送帶33、第四輸送帶34和硅片檢測裝置36同時運行。
[0049]硅片35由第一輸送帶31送至第二輸送帶32，位于第二輸送帶32上方的硅片檢測裝置36(—般為CCD工業相機)對硅片35進行檢測，第二輸送帶32將硅片35送至第三輸送帶33上，與硅片檢測裝置36信號連接的控制裝置發現硅片35存在缺陷時，控制裝置控制與其電連接的電機發轉，將有缺陷的硅片輸送至廢片儲盒37，正常的硅片35則由第三輸送帶33送至第四輸送帶34，由第四輸送帶34將硅片插至硅片承載盒內。硅片擋板38的作用是防止硅片35從第三輸送帶33上掉落，柔性材料層39的作用是防止硅片35撞在硅片擋板38上時，硅片擋板38對娃片產生損傷。
[0050]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種硅片插片裝置，其特征在于:包括分片機構、供料槽和輸送帶;所述分片機構包括包括硅片分片機構本體，該硅片分片機構本體向下設有兩個平行且間隔設置的分片輸送帶，所述硅片分片機構本體朝向所述分片輸送帶設有氣孔，該氣孔通過管路與抽氣裝置連通;所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪;所述供料槽包括供料槽槽體和水栗，所述供料槽槽體設有溢流口，該溢流口通過管路與一儲液槽連通;所述供料槽槽體內設有用以盛放堆垛硅片的承托平臺，該承托平臺與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接;所述供料槽槽體上設有液壓傳感器，該液壓傳感器與一計算機數控系統信號連接，所述計算機數控系統與所述水栗電連接;所述供料槽槽體內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度;所述輸送帶包括第一輸送帶、第二輸送帶、第三輸送帶和第四輸送帶，所述第一輸送帶和第二輸送帶依次設置，所述第三輸送帶和第四輸送帶依次設置，所述第二輸送帶和第三輸送帶成夾角設置;所述第三輸送帶朝向第二輸送帶的側邊與第二輸送帶端部的間隙的距離小于硅片的尺寸，相對的另一側邊設有硅片擋板，該硅片擋板朝向所述第二輸送帶的側部設有柔性材料層;所述第二輸送帶的上方設有硅片檢測裝置，該硅片檢測裝置與一控制系統信號連接;所述第三輸送帶對應所述第四輸送帶相反的一端設有廢片儲盒;所述控制系統與所述第三輸送帶的驅動馬達電連接;所述承托平臺對應所述分片輸送帶設置；所述第一輸送帶的一端位于所述滾輪的下方。2.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述分片輸送帶為同步帶。3.根據權利要求2所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述同步帶套設在主動輪和從動輪上，所述主動輪與驅動裝置傳動連接。4.根據權利要求3所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述驅動裝置為一驅動馬達，該驅動馬達的輸出軸與所述主動輪通過帶傳動。5.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述硅片分片機構本體在所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪固定板，該滾輪固定板朝下設有抽氣氣孔，該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通;所述滾輪轉動支撐于所述滾輪固定板上。6.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述硅片分片機構本體上設有一封閉的氣腔，該氣腔朝向所述分片輸送帶的方向設有若干個氣孔，所述氣腔固定有氣嘴，該氣嘴通過管路與抽氣裝置連通。7.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述上下移動驅動裝置為絲杠螺母機構。8.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述水栗的進水口通過管路與所述儲液槽連通，所述水栗的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。9.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述柔性材料層的材質為硅膠。10.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于:所述第一輸送帶傾斜設置，其高的一端與所述第二輸送帶相鄰設置;所述第一輸送帶、第二輸送帶、第三輸送帶和第四輸送帶均為同步帶;所述第二輸送帶和第三輸送帶成直角設置。
【專利摘要】一種硅片插片裝置，包括分片機構、供料槽和輸送帶；所述分片機構包括硅片分片機構本體，該硅片分片機構本體向下設有兩個平行且間隔設置的分片輸送帶，所述硅片分片機構本體朝向所述分片輸送帶設有氣孔，該氣孔通過管路與抽氣裝置連通；所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪；所述供料槽包括供料槽槽體和水泵，所述供料槽槽體內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度；所述輸送帶包括第一輸送帶、第二輸送帶、第三輸送帶和第四輸送帶。本實用新型在分片時，具有分片效率高、對硅片損害小的優點。
【IPC分類】H01L21/677, H01L31/18
【公開號】CN205303495
【申請號】
【發明人】邱文良
【申請人】蘇州博陽能源設備有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月31日