分片機構本體I對應所述分片輸送帶2的輸送方向的前端設有滾輪4;所述硅片分片機構本體I設有吹風方向朝向所述分片輸送帶2的吹氣氣孔7，該吹氣氣孔7通過管路9與吹風裝置(圖中未示出)連通。吹風裝置例如可以為鼓風機。
[0030]優選的實施方式為:所述分片輸送帶2為同步帶。
[0031]優選的實施方式為:所述同步帶套設在主動輪和從動輪上，所述主動輪與驅動裝置傳動連接。
[0032]優選的實施方式為:所述驅動裝置為一驅動馬達，該驅動馬達的輸出軸與所述主動輪通過帶傳動。驅動馬達可以為液壓馬達或者電機等。
[0033]優選的實施方式為:所述硅片分片機構本體I在所述分片輸送帶2的輸送方向的前端設有滾輪固定板6，該滾輪固定板6朝下設有抽氣氣孔3，該抽氣氣孔3通過管路與抽氣裝置連通;所述滾輪4轉動支撐于所述滾輪固定板6上。
[0034]優選的實施方式為:所述娃片分片機構本體I上設有一封閉的氣腔，該氣腔朝向所述分片輸送帶2設有若干個抽氣氣孔3，所述氣腔固定有氣嘴5，該氣嘴5通過管路與抽氣裝置連通。
[0035]優選的實施方式為:所述硅片分片機構本體I對應所述分片輸送帶2的輸送方向的后端設有吹氣氣腔8，該吹氣氣腔8設有吹風方向朝向所述分片輸送帶2的吹氣氣孔7，所述吹氣氣腔8通過管路9與吹風裝置連通。
[0036]供料槽包括供料槽槽體21和水栗22，所述供料槽槽體21設有溢流口23，該溢流口23通過管路與一儲液槽24連通;所述供料槽槽體21內設有用以盛放堆垛硅片26的承托平臺25，該承托平臺25與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接;所述供料槽槽體21上設有液壓傳感器27，該液壓傳感器27與一計算機數控系統信號連接，所述計算機數控系統與所述水栗22電連接;所述供料槽槽體I內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度。所述上下移動驅動裝置為絲杠螺母機構。所述水栗的進水口通過管路與所述儲液槽連通，所述水栗的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。
[0037]液壓傳感器27檢測的液位，對水栗進行通斷電控制，以使所述供料槽槽體I內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度。供料槽槽體I內的液體一般為水，也可以采用其它種類的液體替代水，但是不能損害和不影響硅片的后續加工。
[0038]工作方法:將分片機構10與供料槽槽體21內的水接觸，最佳的方式是:抽氣氣孔3位于水下，分片輸送帶2和滾輪4部分位于水下。
[0039]將堆垛硅片26放置在供料槽槽體21內的承托平臺25上，并位于分片輸送帶2的正下方，啟動吹風裝置、抽氣裝置和驅動分片輸送帶轉動的驅動裝置。當硅片接觸分片輸送帶的下側面時，抽氣氣孔產生的負壓對硅片的吸附力、再加上硅片的表面存在有水使硅片與輸送帶之間產生粘結力，硅片吸附在分片輸送帶的下側面，這樣與分片輸送帶接觸的硅片與其下的硅片之間會產生縫隙，吹氣氣孔則朝著縫隙吹氣，使水進入硅片之間的間隙，從而使與分片輸送帶接觸的硅片與其下的堆垛硅片徹底分開，分開后的硅片則在慣性作用下移動到滾輪的位置，由于滾輪沒有電機驅動，因此當硅片到達滾輪后會落下。
[0040]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種娃片分片裝置，其特征在于:包括分片機構和供料槽;所述分片機構包括娃片分片機構本體，該硅片分片機構本體向下設有兩個平行且間隔設置的分片輸送帶，所述硅片分片機構本體朝向所述分片輸送帶設有抽氣氣孔，該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通；所述硅片分片機構本體對應所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪;所述硅片分片機構本體設有吹風方向朝向所述分片輸送帶的吹氣氣孔，該吹氣氣孔通過管路與吹風裝置連通;所述供料槽包括供料槽槽體和水栗，所述供料槽槽體設有溢流口，該溢流口通過管路與一儲液槽連通;所述供料槽槽體內設有用以盛放堆垛硅片的承托平臺，該承托平臺與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接;所述供料槽槽體上設有液壓傳感器，該液壓傳感器與一計算機數控系統信號連接，所述計算機數控系統與所述水栗電連接;所述供料槽槽體內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度;所述承托平臺對應所述分片輸送帶設置。2.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述分片輸送帶為同步帶。3.根據權利要求2所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述同步帶套設在主動輪和從動輪上，所述主動輪與驅動裝置傳動連接。4.根據權利要求3所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述驅動裝置為一驅動馬達，該驅動馬達的輸出軸與所述主動輪通過帶傳動。5.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述硅片分片機構本體在所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪固定板，該滾輪固定板朝下設有抽氣氣孔，該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通;所述滾輪轉動支撐于所述滾輪固定板上。6.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述硅片分片機構本體上設有一封閉的氣腔，該氣腔朝向所述分片輸送帶設有若干個抽氣氣孔，所述氣腔固定有氣嘴，該氣嘴通過管路與抽氣裝置連通。7.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述硅片分片機構本體對應所述分片輸送帶的輸送方向的后端設有吹氣氣腔，該吹氣氣腔設有吹風方向朝向所述分片輸送帶的吹氣氣孔，所述吹氣氣腔通過管路與吹風裝置連通。8.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述上下移動驅動裝置為絲杠螺母機構。9.根據權利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于:所述水栗的進水口通過管路與所述儲液槽連通，所述水栗的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。
【專利摘要】硅片分片裝置，包括分片機構和供料槽；分片機構包括硅片分片機構本體，該硅片分片機構本體向下設有兩個平行且間隔設置的分片輸送帶，硅片分片機構本體朝向所述分片輸送帶設有抽氣氣孔，該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通；硅片分片機構本體對應分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪；硅片分片機構本體設有吹風方向朝向分片輸送帶的吹氣氣孔，該吹氣氣孔通過管路與吹風裝置連通；供料槽包括供料槽槽體和水泵，供料槽槽體設有溢流口，該溢流口通過管路與一儲液槽連通；供料槽槽體內設有用以盛放堆垛硅片的承托平臺，該承托平臺與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接。本實用新型在分片時，具有分片效率高、對硅片損害小的優點。
【IPC分類】H01L21/677, H01L31/18
【公開號】CN205303496
【申請號】
【發明人】邱文良
【申請人】蘇州博陽能源設備有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月31日