專利名稱：預清洗晶托支撐裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片預清洗工裝，特別是一種預清洗晶托支撐裝置。
背景技術：
在對硅片進行脫膠預清洗時，都要把晶托放置在上料車上，再推到清洗機中進行預清洗。之前都是使用羊角螺絲把貫穿晶托的支撐桿與滑桿連接起來，由于羊角螺絲與支撐桿是分開的，容易丟失。再有，螺母長期工作，會導致螺紋滑牙、無法擰緊，以至于晶托會在工裝上產生晃動，碰到上料車的兩側擋桿，導致碎片，支撐桿偏動多了可能導致晶棒從工裝上掉落，造成生產事故，嚴重影響經濟損失。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種預清洗晶托支撐裝置，方便預清洗。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種預清洗晶托支撐裝置，包括上料車架體、固定在上料車架體上的兩根平行的滑桿以及裝載在上料車內的晶托，晶托通過至少兩根支撐桿架設在兩根滑桿上，支撐桿包括貫穿晶托的直桿部，在直桿部的一端設置固定卡槽，每兩個支撐桿為一對，彼此反向設置，支撐桿的固定卡槽通過內壁卡在滑桿上。在直桿部上還設置有限位塊，限位塊位于固定卡槽的前方。本實用新型的有益效果是該裝置結構簡單，操作方便，還能降低硅片的破碎率，節約成本。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明；圖I是本實用新型的結構示意圖；圖2是本實用新型的使用狀態圖；圖I中I.直桿部，2.固定卡槽，3.限位塊，4.晶托，5.滑桿，6.上料車架體，7.支撐桿。
具體實施方式
如圖I和2所示，一種預清洗晶托支撐裝置，包括上料車架體6、固定在上料車架體6上的兩根平行的滑桿5以及裝載在上料車內的晶托4，晶托4通過至少兩根支撐桿7架設在兩根滑桿5上，支撐桿7包括貫穿晶托4的貫穿孔的直桿部1，在直桿部I的一端設置固定卡槽2，每兩個支撐桿7為一對，彼此反向設置形成自鎖，保證晶托4穩定的安裝在上料車的滑桿5上。支撐桿7的固定卡槽2通過內壁卡在滑桿5上。在直桿部I上還設置有限位塊3，限位塊3位于固定卡槽2的前方，以避免晶托4在搬運過程中向兩邊滑動，導致硅片的碎片。
權利要求1.一種預清洗晶托支撐裝置，包括上料車架體￠)、固定在上料車架體(6)上的兩根平行的滑桿(5)以及裝載在上料車內的晶托(4)，其特征是所述的晶托(4)通過至少兩根支撐桿(7)架設在兩根滑桿(5)上，支撐桿(7)包括貫穿晶托(4)的直桿部(I)，在直桿部(I)的一端設置固定卡槽(2)，每兩個支撐桿(7)為一對，彼此反向設置，支撐桿(7)的固定卡槽⑵通過內壁卡在滑桿(5)上。
2.根據權利要求I所述的預清洗晶托支撐裝置，其特征是在所述的直桿部(I)上還設置有限位塊(3)，限位塊(3)位于固定卡槽(2)的前方。
專利摘要本實用新型涉及一種預清洗晶托支撐裝置，包括上料車架體、固定在上料車架體上的兩根平行的滑桿以及裝載在上料車內的晶托，晶托通過至少兩根支撐桿架設在兩根滑桿上，支撐桿包括貫穿晶托的直桿部，在直桿部的一端設置固定卡槽，每兩個支撐桿為一對，彼此反向設置，支撐桿的固定卡槽通過內壁卡在滑桿上。本實用新型的有益效果是該裝置結構簡單，操作方便，還能降低硅片的破碎率，節約成本。
文檔編號B28D7/04GK202592577SQ20122015268
公開日2012年12月12日 申請日期2012年4月11日 優先權日2012年4月11日
發明者何振興 申請人:常州天合光能有限公司