專利名稱：一種線切割機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種線切割機。
背景技術：
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動，把磨料帶入半導體加工區域進行研磨，將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片薄片的一種新型切割加工方法。數控線切割機已逐漸取代了傳統的內圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。現有技術中，線切割機的主軸安裝位置不合理，常因鋼線張力、高負荷運行而引起的軸移位，生產良率不高。
發明內容本實用新型提出一種線切割機，解決了現有技術中主軸安裝位置不合理，常因鋼線張力、高負荷運行而引起的軸移位，生產良率不高的問題。本實用新型的技術方案是這樣實現的:本實用新型公開了一種線切割機，包括殼體、多個主軸、控制單元，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，安裝于殼體內的支架，所述的多個主軸安裝于支架上，呈二角形分布。進一步地，所述的 線切割機包括油冷機，所述的油冷機為所述的主軸提供冷卻油。進一步地，所述的線切割機包括空氣密封管，用于給所述的多個主軸提供氣流。進一步地，所述的控制單元包括抱閘伺服電機。進一步地，所述的控制單元包括觸摸屏。實施本實用新型的一種線切割機，具有以下有益的技術效果:多個主軸安裝于支架上，呈三角形分布，主軸安裝位置較為穩定，不易產生移位。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本實用新型一種線切割機構造示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。[0016]請參閱圖1，本實用新型的實施例，一種線切割機，包括殼體10、多個主軸20、控制單元30，主軸20設置于殼體10中，控制單元30連接主軸20，安裝于殼體10內的支架40，多個主軸20安裝于支架40上，呈三角形分布。線切割機包括油冷機，所述的油冷機為所述的主軸提供冷卻油。線切割機包括空氣密封管，用于給所述的多個主軸提供氣流。控制單元包括抱閘伺服電機。控制單元包括觸摸屏。本機器具有高產量，高穩定性的高科技“硅晶體加工設備”。是借助連續快速移動的鋼絲線，在上面噴灑大量特定配制的研磨漿液，對工件進行高效的多線切割加工。加工對象為硬的、脆性的材料。如壓電水晶、石英玻璃、單晶硅、多晶硅、磁性材料、陶瓷、寶石等特硬、特脆的材料切割分解成片狀，切割精度高，節省原材料、提高工作效率，減少了下道研磨
工序的工作量。本機器的主要功能部件包括切割系統、線管理系統、溫控系統、供漿系統、工作臺升降系統、張力控制系統、供氣系統、電控系統、操作系統及機器防護系統。1:切割系統:由伺服電機傳動軸、收線輪軸、放線輪軸、羅拉、轉角輪、組合輪、鋼絲線、砂漿泵、砂漿噴頭、料板、垂直進給滑臺、氣密封系統、油水冷卻泵、斷線報警器裝置構成。2:線管理系統: 由收放線機構、排線機構、張力控制機構組成。3:溫控系統:本機裝有冷卻水機和冷卻油機，水循環泵、油循環泵、水和油冷卻機分體組裝，水油系統由溫度傳感器、電磁閥、壓力表、減壓閥、測量計、流量調節閥及管路構成。4:供漿系統:由砂漿箱、熱交換器、流量計、砂漿泵、砂漿噴管及噴頭、回漿過濾網組成。本機器在切割過程中可對砂漿溫度和流量進行精確的自動控制，溫度控制精度可達±0.5。C。5:工作臺升降系統:由步進電機及驅動器、滾珠絲杠、直線導軌、減速器、垂直升降滑臺組成。6:電控系統:本機器控制系統采用西門子工控機和基于PC的控制器，通過開放式的Profibus總線通訊控制西門子的伺服運動控制系統，對鋼絲線的運動和張力控制，對砂漿的流量、溫度進行控制，根據砂漿的溫度，進行冷卻水控制，并具有溫度上下限制的報警，及超過設定值自動停機功能。機器在運行時，油冷卻機自動控制的，是循環降主軸溫度，主軸超過溫度設定值自動停機功能，對切割料的壓力進行控制，采用西門子的觸摸屏、對機器的啟動、數據設置、實現簡易操作，對機器的各種運動數據進行適時監控、記錄和數據儲存，對各種故障進行顯示和記錄，本機器設有門電連鎖裝置和急停保護裝置，保護操作人員和機器安全，全程實現自動化、人性化。本機器控制系統靈活，各項工藝參數可以由用戶根據需要靈活設置及調整，方便用戶調整工藝，以最佳效率和最低成本進行生產。本機器電器元件采用歐姆龍、施耐德等世界知名品牌產品，長期穩定可靠性高。7:操作系統機器的啟動條件包括:急停按鈕處于復位狀態、收放線張力設定、溫控油和水溫度在設定值范圍內、溫控油和水達到循環、羅拉直徑的設定數據、切割厚度的設置、收放線數據設置、安全開關處于復位狀態，防護門關閉，放線輪儲線量大于本次切割量，清除報警，當操作人員對所有條件一一確認后，才可以啟動機器，才能完全避免操作失誤。機器在運行過程中，觸摸屏畫面可以監控機器運行的各項主要參數，包括切割位置、切割量、乘于量、切割時間、乘于切割時間、進給量、進給速度、收放線速度、收放線時間、張力顯示值、主電機轉速和砂漿溫度、主軸油溫度。8:張力控制系統:張力控制系統由張力臂、線輪、張力傳感器、張力放大器、旋轉編碼器、兩組組合輪組成。鋼絲線在切割過程中，張力臂一直控制在設定張力、以保證鋼絲線張力恒定，由于負載變化和正反向切割，鋼絲線張力會發生變化，張力臂會上下拉伸，同時與張力臂同軸連接的旋轉編碼器檢測張力臂擺動的角度，將角度信號傳送到伺服電機控制器內，伺服電機控制器通過調整收放線輪轉速，使張力臂保持原定位置。設定放線輪放線和收線輪放線鋼絲線張力大小、收放線速度、羅拉直徑、張力畫面顯示收放線張力傳感器的張力數據。9:進給觸摸屏畫面顯示晶棒在工作臺實際位置，設定晶棒在工作臺切割位置，操作工作臺上升、下降、限位等，當機器斷電重新上電后，不需要重新設置，可直接工作，進給速度可以在切割過程中分段設定，切割到設定厚度、自動停止上升，并同時報警，解除報警后方可下次運作。10:切割工藝管理: 切割工藝設定主要工作參數包括:線速度、進收線量、回線比例、切割晶棒進給速度、鋼線張力、砂泵濕度、主軸油溫度、主軸油流量、主機轉速。11:溫度控制:在切割過程中砂泵溫度控制在一個穩定的溫度值上，通常在22度左右，切割過程中升溫和降溫的砂泵需通過高效的熱交換器換熱，以保持切割工藝的穩定性。12:料板的安裝:本機的料板上下、簡便、標準、1-2分鐘可裝卸完，節省時間，不需要任何技術。13:供氣系統:對切割區域和線管理區域旋轉部件進行氣密封保護，以防止砂泵等污物的入侵造成的機器主軸、軸承和零部件的損害。本機器采用日本SMC氣動元件和管路，油水分離器保證器路干燥、主軸軸承和主軸不生銹。14:放線和收線:本機器采用硬鉛合金加工收放線輪，收放線輪均采用錐面連接，采用碟形彈簧，以一定力矩緊固，收放線軸承套采用QT4510精密加工，剛性強、精度高、振動小和收放線伺服電機同軸。15:排線機構:收線和排線機構均由伺服電機驅動，在收線輪運動過程當中，保證鋼線在收線輪以一定的間距順序排列。[0052]實施本實用新型的一種線切割機，具有以下有益的技術效果:防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之 內。
權利要求1.一種線切割機，包括殼體、多個主軸、控制單元，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，安裝于殼體內的支架，其特征在于，所述的多個主軸安裝于支架上，呈三角形分布。
2.根據權利要求1所述的線切割機，其特征在于，所述的線切割機包括油冷機，所述的油冷機為所述的主軸提供冷卻油。
3.根據權利要求1所述的線切割機，其特征在于，所述的線切割機包括空氣密封管，用于給所述的多個主軸提供氣流。
4.根據權利要求1所述的線切割機，其特征在于，所述的控制單元包括抱閘伺服電機。
專利摘要本實用新型提出了一種線切割機，包括殼體、多個主軸、控制單元，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，安裝于殼體內的支架，所述的多個主軸安裝于支架上，呈三角形分布。本實用新型的線切割機多個主軸安裝于支架上，呈三角形分布，主軸安裝位置較為穩定，不易產生移位。
文檔編號B28D7/00GK203110172SQ20122044287
公開日2013年8月7日 申請日期2012年9月3日 優先權日2012年9月3日
發明者沈抗, 周學巧 申請人:東海縣抗歆電子廠