專利名稱：一種密封圈拾取工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及拾取機械工具領域，特別涉及一種密封圈拾取工具。
背景技術：
在半導體制造工藝中，化學氣相沉積是常見且重要的工藝步驟之一。化學氣相沉 積系統中，多處需用到不同類型的密封圈，其中，化學氣相沉積系統中反應腔的密封圈更是 承擔著防止反應腔內的氣體泄漏的重要角色。通常在停機對化學氣相沉積系統進行維護的 時候，需將系統中的密封圈取出進行清潔。但密封圈通常均被放置于密封圈安置槽內，要 想將其取出比較困難；有時為取出密封圈，還不得不采用破壞性的方法，導致密封圈被取出 時，已經被損壞，這樣就需要更換新的密封圈，使得停機維護的成本較大。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種密封圈拾取工具，以解決現有技術中將 很難將密封圈從密封圈安置槽內取出的問題。為解決上述技術問題，本實用新型提供一種密封圈拾取工具，包括握持桿及拾取 頭；所述拾取頭位于所述握持桿的一端；所述拾取頭相較于所述握持桿具有一定角度，且 拾取頭的與握持桿相對的一端為尖端。可選的，所述拾取頭面向所述握持桿的一面為弧形面或平面，同所述弧形面相對 的另一面則為平面或弧形面或對折面。可選的，所述拾取頭位于所述握持桿的一端的厚度和寬度均大于其另一端的厚度 和寬度。可選的，所述握持為圓柱或方柱或多棱柱。可選的，所述握持桿上具有環狀凸起。可選的，所述拾取頭采用聚四氟乙烯制成。本實用新型的密封圈拾取工具在使用時手握持于所述握持桿上的環狀突起部分， 將所述拾取頭的尖端插入密封圈和密封圈安置槽之間的縫隙中即可將密封圈從密封圈安 置槽中取出，且由于拾取頭的尖端為弧形，在將密封圈從密封圈安置槽中取出時不會對密 封圈造成損傷，因此采用本實用新型的密封圈拾取裝置可輕松將密封圈取出，節省了人力， 且不會損傷密封圈，降低了更換新的密封圈的頻率和成本。
圖1為本實用新型的密封圈拾取工具的側視結構示意圖；圖2為本實用新型的密封圈拾取工具的俯視結構示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。本實用新型的密封圈拾取工具可廣泛應用于多種領域，并且可以利用多種替換方 式實現，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本實用新型并不局限于該具體實施例， 本領域內的普通技術人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實用新型的保護范圍內。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為了 便于說明，示意圖不依一般比例局部放大，不應以此作為對本實用新型的限定。請結合參看圖1和圖2，圖1為本實用新型的密封圈拾取工具的側視結構示意圖， 圖2為本實用新型的密封圈拾取工具的俯視結構示意圖。如圖1所示，本實用新型的密封 圈拾取工具包括握持桿110及拾取頭120 ；所述拾取頭120位于所述握持桿110上，拾取 頭120和握持桿110可一體成形，也可以通過焊接、鉚接、螺釘或螺栓螺母固定、粘膠等方法 連接在一起。所述握持桿110可以為圓柱或方柱或多棱柱，所述握持桿110上具有環狀凸 起111，用于增加手握握持桿時的摩擦力，所述環狀凸起111可以是直接在握持桿加環狀墊 圈，也可以是在握持桿上刻出凹凸狀；所述拾取頭120相較于所述握持桿110具有一定角 度，圖1中顯示了虛線圓圈內的放大圖，如圖所示，所述拾取頭120面向所述握持桿110的 一面為弧形面或平面，同所述弧形面相對的另一面則為平面或弧形面或對折面；所述拾取 頭120連接于所述握持桿110的一端的厚度和寬度均大于其另一端即尖端的厚度和寬度； 圖2中顯示了虛線圓圈內的放大圖，如圖所示，所述拾取頭120的尖端為弧形尖端，而非針 尖狀比較銳利的尖端。所述拾取頭120優選采用聚四氟乙烯制成。本實用新型的密封圈拾取工具在使用時手握持于所述握持桿110上的環狀凸起 111部分，將所述拾取頭120的尖端插入密封圈和密封圈安置槽之間的縫隙中，將密封圈 從密封圈安置槽中挑出，密封圈掛在拾取頭120的弧形面上使其完全脫離密封圈安置槽。 由于拾取頭120的尖端為弧形，在將密封圈從密封圈安置槽中取出時不會對密封圈造成損 傷，因此采用本實用新型的密封圈拾取裝置可輕松將密封圈取出，節省了人力，且不會損傷 密封圈，降低了更換新的密封圈的頻率和成本。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求一種密封圈拾取工具，其特征在于，包括握持桿及拾取頭；所述拾取頭位于所述握持桿的一端；所述拾取頭相較于所述握持桿具有一定角度，且拾取頭的與握持桿相對的一端為尖端。
2.如權利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取頭面向所述握持桿的 一面為弧形面或平面，同所述弧形面相對的另一面則為平面或弧形面或對折面。
3.如權利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取頭位于所述握持桿的 一端的厚度和寬度均大于其另一端的厚度和寬度。
4.如權利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述握持為圓柱或方柱或多棱柱。
5.如權利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述握持桿上具有環狀凸起。
6.如權利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取頭采用聚四氟乙烯制成。
專利摘要本實用新型提供一種密封圈拾取工具，包括握持桿及拾取頭；所述拾取頭位于所述握持桿的一端；所述拾取頭相較于所述握持桿具有一定角度，且拾取頭的與握持桿相對的一端為尖端。本實用新型的密封圈拾取裝置可輕松將密封圈取出，節省了人力，且不會損傷密封圈，降低了更換新的密封圈的頻率和成本。
文檔編號B25B27/00GK201728628SQ20102024652
公開日2011年2月2日 申請日期2010年6月30日 優先權日2010年6月30日
發明者許亮 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司