專利名稱：機器人的制作方法
技術領域：
本文所公開的實施方式涉及機器人。
背景技術：
常規上，所謂的水平多關節機器人作為用于搬運諸如半導體晶片等的基板的機器人是公知的。在水平多關節機器人中，用作末端執行器的手安裝在可擺動臂的末端部中，從而相對于臂水平地旋轉。所述手能夠保持基板(例如參見日本專利申請特開2011-224743號公報)。在該類機器人中，用于驅動手的手驅動機構通常設置在臂的殼體內。例如，通常將采用諸如Harmonic Drive (注冊商標)減速機構的齒輪機構的減速裝置用作手驅動機構。然而，如果如在上述常規構造中所述的那樣將采用齒輪機構的常規減速裝置用作手驅動機構，則臂的重量增大。而且，難以使臂變薄。
發明內容
本文所公開的實施方式提供一種包括能夠使得臂變輕且變薄的驅動機構的機器人。根據實施方式的一方面，提供本種機器人，所述機器人包括:臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助關節部以可旋轉的方式安裝，輸出軸安裝在所述末端部中；以及驅動機構，所述驅動機構設置在所述臂內并且構造成以減小的速度來驅動所述輸出軸，其中，所述驅動機構包括馬達、驅動帶輪、從動帶輪、至少一個中間帶輪、以及多個帶，所述馬達具有馬達軸，所述驅動帶輪附接到所述馬達軸，所述從動帶輪附接到所述輸出軸，所述中間帶輪設置在所述驅動帶輪和所述從動帶輪之間，所述多個帶用于通過所述中間帶輪將所述驅動帶輪和所述從動帶輪操作地互連。通過本文所公開的實施方式，可以使得構造成通過輸出軸來驅動末端執行器的臂變輕且變薄。
圖1是示出根據一實施方式的機器人的示意性說明圖。圖2是示出機器人的臂的示意性說明平面圖。圖3是示出機器人的臂的第一驅動機構的示意性說明豎直剖視圖。圖4A是示出第一驅動機構的第一前端中間帶輪的示意性說明圖。圖4B是示出第一驅動機構的第一后端中間帶輪的示意性說明圖。圖5是示出機器人的臂的第二驅動機構的示意性說明豎直剖視圖。圖6A是示出第二驅動機構的第二前端中間帶輪的示意性說明圖。圖6B是示出第二驅動機構的第二后端中間帶輪的示意性說明圖。圖7是示出根據另一實施方式的機器人的臂的示意性說明立體圖。
圖8A是示出機器人的臂的第一驅動機構的示意性說明立體圖。圖SB是示出機器人的臂的第二驅動機構的示意性說明立體圖。
具體實施例方式在下文中，現將參照形成為實施方式的一部分的附圖詳細地描述機器人的實施方式。雖然將水平多關節機器人作為機器人的一個示例進行描述，但本發明不局限于以下描述的實施方式。首先，將參照圖1描述根據一個實施方式的水平多關節機器人(在下文中簡稱為“機器人I”)的示意性構造。圖1是示出根據本實施方式的機器人I的示意性說明圖。在下列說明中，有時存在這樣的情況:機器人I的相應部件的相對位置關系由上下方向、左右方向、前后方向、向前方向、向內方向來限定。在該情況下，沿圖1中所示的三維直角坐標系統的Z方向將被稱為向上方向，X方向將被稱為水平向右方向，Y方向將被稱為向內方向。參照圖1，根據本實施方式的機器人I包括:基座單元2，該基座單元安裝在諸如地板表面等的預定安裝表面上；以及臂單元3，該臂單元安裝成相對于基座單元2水平旋轉。臂單元3在其末端設置有能沿水平方向旋轉的手單元4。基座單元2是機器人I的基座，并且形成為豎直細長的盒形形狀。在該基座單元2內設置有升降機構(未示出)，該升降機構用于驅動升降單元5，所述升降單元用于使臂單元3上下移動。例如，能夠將采用馬達和滾珠絲杠的公知機構用作升降機構。
臂單元3安裝成能夠借助形成為柱狀形狀的升降單元5相對于基座單元2的上表面沿豎直方向(Z方向)滑動(參見圖1中的雙頭箭頭100a)。臂單元3包括第一臂6和第二臂7。第一臂6具有基端部，該基端部安裝在升降單元5的上端上，以能夠繞第一關節部61的第一臂樞軸旋轉。第二臂7具有基端部，該基端部安裝在第一臂6的末端部上，以能夠繞第二關節部62的第二臂樞軸旋轉。手單元4安裝在第二臂7的末端部上，以能夠繞第三關節部63的手樞軸103 (參見圖2、圖3和圖5)旋轉。在圖1中，附圖標記IOla表示第一關節部61的中心軸線。附圖標記102a表示第二關節部62的中心軸線。附圖標記103a表示第三關節部63 (手樞軸103)的中心軸線。手單元4是用于保持諸如晶片的末端執行器。手單元4包括第一手4a和第二手4b，這兩個手都形成為叉形形狀。第一手4a和第二手4b沿著作為輸出軸的手樞軸103以間隔開的關系安裝。換言之，第一手4a和第二手4b沿著手樞軸103以豎直疊置的狀態安裝，從而能夠在預定的旋轉范圍內獨立地旋轉。第一手4a和第二手4b能夠沿水平方向旋轉，但不能不受限制地旋轉。設置有用于將第一手4a和第二手4b的旋轉分別限制到必要的旋轉量的止動機構(未示出)。公知的止動機構可以適當地用作該止動機構。用于檢測例如在第一手4a和第二手4b上是否存在基板的傳感器安裝在第一手4a和第二手4b中。線纜Ila和Ilb連接至傳感器。線纜Ila和Ilb通過第二臂7和第一臂6的內部(參見圖3)延伸到基座單元2中。
如圖1所示，第一手4a和第二手4b具有相同的構造。另選地，第一手4a和第二手4b可以具有不同的構造。在本實施方式中，手單元4構造成包括兩個手，但手的數量不局限于此。機器人I安裝在例如基板搬運系統(未示出)中，并且能夠合適地用于搬運諸如晶片等的基板。基板搬運系統與處理設備并排安裝，所述處理設備使基板經受例如清潔、蝕亥IJ、除灰、化學氣相沉積或者曝光。當然，多個機器人I可以安裝在不同地點處，從而在期望位置之間搬運諸如基板等的板狀構件。接下來，將參照圖2至圖6B描述作為本實施方式的機器人I的一個重要部分的手驅動機構8。如圖2所示，本實施方式的手驅動機構8是用于以減小的速度驅動作為上述輸出軸的手樞軸103的驅動機構。第一馬達9a和第二馬達9b用作用于手驅動機構8的驅動源
9。手驅動機構8設置在第二臂7的臂殼體70內。如圖2和圖3所示，本實施方式的手樞軸103包括供連接第一手4a的第一手樞軸1031和供連接第二手4b的第二手樞軸1032。換言之,如圖3所示,形成為管狀形狀的第一手樞軸1031插入形成為管狀形狀的第二手樞軸1032中，其中所述第二手樞軸1032的內徑大于第一手樞軸1031的外徑。第一手樞軸1031和第二手樞軸1032具有公共中心軸線103a。如圖2所示，手驅動機構8包括與第一手4a對應的第一驅動機構8a和與第二手4b對應的第二驅動機構Sb。更具體地，如圖2和圖3所示，第一驅動機構8a包括:第一馬達9a ;第一驅動帶輪81a，該第一驅動帶輪附接到作 為第一馬達9a的馬達軸的第一驅動軸91a ；以及第一從動帶輪82a，該第一從動帶輪具有預定的減速比，并且直接附接到第一手樞軸1031。第一驅動機構8a還包括:至少一個第一中間帶輪83a,該至少一個第一中間帶輪具有預定減速比，并且設置在第一驅動帶輪81a和第一從動帶輪82a之間；以及多個第一帶84a，所述多個第一帶用于通過第一中間帶輪83a將第一驅動帶輪81a和第一從動帶輪82a操作性互連。如圖2和圖3所示，第一驅動機構8a的第一中間帶輪83a包括第一前端中間帶輪830aF (參見圖4A)和第一后端中間帶輪830aR (參見圖4B)。第一前端中間帶輪830aF的第一驅動中間帶輪831a (稍后待述)具有比第一驅動帶輪81a的直徑大的直徑，并且相對于第一驅動帶輪81a具有預定減速比。第一后端中間帶輪830aR具有比第一前端中間帶輪830aF的直徑大的直徑，并且相對于第一前端中間帶輪830aF具有預定減速比。第一從動帶輪82a具有比第一后端中間帶輪830aR的直徑大的直徑，并且相對于第一后端中間帶輪830aR具有預定減速比。如圖4A所示，第一前端中間帶輪830aF包括第一驅動中間帶輪831a和第一驅動子帶輪832a,所述第一驅動中間帶輪831a通過第一前端傳動帶84aF操作連接至第一驅動帶輪81a，所述第一驅動子帶輪832a的直徑小于第一驅動中間帶輪831a的直徑，第一驅動中間帶輪831a和第一驅動子帶輪832a附接到同一軸。如圖4A所示，第一前端中間帶輪830aF的第一驅動中間帶輪831a和第一驅動子帶輪832a設置在第一驅動側基板835a和借助第一驅動側連接構件836a連接至第一驅動側基板835a的第一驅動側支承板837a之間。第一驅動中間帶輪831a和第一驅動子帶輪832a以相互鄰接并且豎直疊置的關系設置在同一軸上。如圖4B所示，第一后端中間帶輪830aR包括第一從動子帶輪834a，該第一從動子帶輪借助第一中間傳動帶84aM操作地連接至第一前端中間帶輪830aF的第一驅動子帶輪832a。第一后端中間帶輪830aR還包括第一從動中間帶輪833a，該第一從動中間帶輪的直徑小于第一從動子帶輪834a的直徑。第一從動中間帶輪833a和第一從動子帶輪834a附接到同一軸，并且第一從動中間帶輪833a借助第一后端傳動帶84aR操作地連接至第一從動帶輪82a。如圖4B所示，第一后端中間帶輪830aR的第一從動中間帶輪833a和第一從動子帶輪834a設置在第一從動側基板838a和借助第一從動側連接構件839a連接至第一從動側基板838a的第一從動側支承板840a之間。第一從動中間帶輪833a和第一從動子帶輪834a以相互鄰接并且豎直疊置的關系設置在同一軸上。 如圖2和圖5所示，第二驅動機構8b包括:第二馬達％，該第二雙馬達沿橫向方向與第一馬達9a并排地安裝；以及第二驅動帶輪81b，該第二驅動帶輪附接到作為第二馬達9b的馬達軸的第二驅動軸91b。第二驅動機構8b還包括第二從動帶輪82b，該第二從動帶輪具有預定減速比，并且直接附接到第二手樞軸1032。第二驅動機構Sb還包括:至少一個第二中間帶輪83b，該至少一個第二中間帶輪具有預定減速比，并且設置在第二驅動帶輪81b和第二從動帶輪82b之間；以及多個第二帶84b,所述多個第二帶通過第二中間帶輪83b將第二驅動帶輪81b和第二從動帶輪82b互連。第二驅動機構8b的第二中間帶輪83b包括第二前端中間帶輪830bF (參見圖6A)和第二后端中間帶輪830bR (參見圖6B)。第二前端中間帶輪830bF的第二驅動中間帶輪831b (稍后待述)具有比第二驅動帶輪81b的直徑大的直徑，并且相對于第二驅動帶輪81b具有預定減速比。第二后端中間帶輪830bR具有比第二前端中間帶輪830bF的直徑大的直徑，并且相對于第二前端中間帶輪830bF具有預定減速比。第二從動帶輪82b具有比第二后端中間帶輪830bR的直徑大的直徑，并且相對于第二后端中間帶輪830bR具有預定減速比。如圖6A所示，第二前端中間帶輪830bF包括第二驅動中間帶輪831b和第二驅動子帶輪832b,第二驅動中間帶輪831b通過第二前端傳動帶84bF操作地連接至第二驅動帶輪81b，所述第二驅動子帶輪832b附接到第二驅動中間帶輪831b的軸。如圖6A所示，第二前端中間帶輪830bF的第二驅動中間帶輪831b和第二驅動子帶輪832b設置在第二驅動側基板835b和借助第二驅動側連接構件836b連接至第二驅動側基板835b的第二驅動側支承板837b之間。第二驅動中間帶輪831b和第二驅動子帶輪832b以豎直疊置的關系設置在同一軸上，并且彼此間隔開一距離，該距離比第一前端中間帶輪830aF的第一驅動中間帶輪831a和第一驅動子帶輪832a之間的距離大。如圖6B所示，第二后端中間帶輪830bR包括第二從動子帶輪834b，該第二從動子帶輪借助第二中間傳動帶84bM操作地連接至第二前端中間帶輪830bF的第二驅動子帶輪832b。第二后端中間帶輪830bR還包括第二從動中間帶輪833b，該第二從動中間帶輪的直徑小于第二從動子帶輪834b的直徑。第二從動中間帶輪833b附接到第二從動子帶輪834b的軸，并且借助第二后端傳動帶84bR操作地連接至第二從動帶輪82b。如圖6B所示，第二后端中間帶輪830bR的第二從動中間帶輪833b和第二從動子帶輪834b設置在第二從動側基板838b和借助第二從動側連接構件83%連接至第二從動側基板838b的第二從動側支承板840b之間。第二從動中間帶輪833b和第二從動子帶輪834b以相互鄰接并且豎直疊置的關系設置在同一軸上。在根據本實施方式的機器人I中，用于以預定轉矩驅動第一手4a和第二手4b的手驅動機構8設置在第二臂7的臂殼體70內。與常規構造不同，手驅動機構8不采用利用齒輪機構的減速裝置。換言之，手驅動機構8的減速機構包括比常規齒輪機構輕的帶輪和帶。因而，本實施方式的機器人I可以
減小第二臂7的重量。在本實施方式的手驅動機構8中，如從圖3至圖6B能夠注意到的，第一前端中間帶輪830aF的第一驅動中·間帶輪831a和第二前端中間帶輪830bF的第二驅動中間帶輪831b設置在相同高度。第一前端中間帶輪830aF和第二前端中間帶輪830bF設置在相同的豎直取向。第一后端中間帶輪830aR和第二后端中間帶輪830bR沿相反的豎直取向設置。換言之，第一從動子帶輪834a定位在上側，并且第二從動子帶輪834b定位在下偵U。第一從動子帶輪834a和第二從動子帶輪834b設置成當在平面圖中看時(參見圖2)彼此部分地重疊。因此，在第一驅動中間帶輪831a的正下方并且鄰近于該第一驅動中間帶輪831a設置的第一驅動子帶輪832a和第一后端中間帶輪830aR的第一從動子帶輪834a彼此操作地連接而不受水平卷繞的第一中間傳動帶84aM的阻礙。類似地，設置在第二驅動中間帶輪831b下方并且與第二驅動中間帶輪831b間隔開的第二驅動子帶輪832b和第二后端中間帶輪830bR的第二從動子帶輪834b彼此操作地連接而不受水平卷繞的第二中間傳動帶84bM的阻礙。這樣，在豎直方向上設置在同一高度的第一驅動帶輪81a和第二驅動帶輪81b借助第一中間帶輪83a、第二中間帶輪83b、水平卷繞的第一帶84a和水平卷繞的第二帶84b而能夠在無阻礙的情況下操作地連接至在豎直方向上設置在不同高度的第一從動帶輪82a和第二從動帶輪82b。在根據本實施方式的手驅動機構8的第一馬達9a和第二馬達9b中，馬達基端部90a和90b設置在第一臂6內。第一驅動軸91a和第二驅動軸91b的上部延伸到第二臂7的臂殼體70內。在根據本實施方式的手驅動機構8中，第一手樞軸1031插入具有管狀形狀的第二手樞軸1032中。第一手構軸1031和第二手樞軸1032彼此共用同一中心軸線103a。第一馬達9a和第二馬達9b沿第二臂7的橫向方向并排安裝。借助該構造，可以減小第二臂7的臂殼體70的厚度并且可以使臂殼體70沿橫向方向變薄，這有助于減小第二臂7的尺寸和重量。具體地，由于第一馬達9a的馬達基端部90a和第二馬達9b的馬達基端部90b設置在第一臂6內，因此可以減小第二臂7的基端部的厚度。如果無需減小臂殼體70的厚度，則第一馬達9a的馬達基端部90a和第二馬達9b的馬達基端部90b無需必定設置在第一臂6內。換言之，第一馬達9a和第二馬達9b可以設置在第二臂7內。安裝有第一和第二驅動帶輪81a和81b、第一和第二前端中間帶輪830aF和830bF、以及第一和第二后端中間帶輪830aR和830bR的第一和第二馬達9a和9b能夠沿第一和第二帶84a和84b的卷繞方向(即，沿第二臂7的縱向方向)移動。另一方面，安裝在第二臂7的末端部中的手單元4保持固定。因而，通過順序地移動第一和第二后端中間帶輪830aR和830bR、第一和第二前端中間帶輪830aF和830bF、以及第一和第二馬達9a和9b能夠容易調節第一帶84a和第二帶84b的張力。如從圖4A、4B、6A和6B能夠理解的，第一中間傳動帶84aM和第二中間傳動帶84bM的寬度比第一前端傳動帶84aF和第二前端傳動帶84bF的寬度寬。第一后端傳動帶84aR和第二后端傳動帶84bR的寬度比第一中間傳動帶84aM和第二中間傳動帶84bM的寬度寬。換言之，帶寬度從第一馬達9a和第二馬達9b朝向第一從動帶輪82a和第二從動帶輪82b (在此側處轉矩變大)逐漸增大，由此帶的強度增大。這使得可以事先防止帶斷開或斷裂。如圖3所示，在手驅動機構8與臂殼體70的上表面之間設置有用于容納線纜卷繞機構(未示出)的線纜操縱空間10。從第二手4b延伸的第二線纜Ilb引入該線纜操縱空間10中。從第一手4a延伸的第一線纜Ila通過具有管狀形狀的第一手樞軸1031的內部朝向第一臂6延伸。(另一實施方式)接著，將參照圖7、圖8A和圖8B描述根據另一實施方式的機器人I的手驅動機構
8。圖7是示出根據另一實施方式的機器人I的臂的示意性說明立體圖。圖8A是示出機器人I的臂的第一驅動機構的示意性說明立體圖。圖8B是示出機器人I的臂的第二驅動機構的示意性說明立體圖。
在下列說明中，與前面的實施方式中具有相同功能的部件將用相同的附圖標記表示。將描述與前面的實施方式的構造不同的構造。而不再詳細地描述其余的構造。如圖7中可見的，本實施方式在以下兩點與前面的實施方式不同。(I)第一馬達9a和第二馬達9b設置在第二臂7內，使得第一馬達9a和第二馬達9b的相應的驅動軸(第一驅動軸91a和第二驅動軸91b)沿相反方向突出。(2 )第一前端中間帶輪830aF和第二前端中間帶輪830bF沿相反的豎直取向設置。第一前端中間帶輪830aF的第一驅動中間帶輪831a和第二前端中間帶輪830bF的第二驅動中間帶輪831b設置成當在平面圖中看時彼此部分地重疊。在本實施方式的手驅動機構8中，如圖8A所示，第一中間帶輪83a的第一前端中間帶輪830aF包括第一驅動中間帶輪831a,該第一驅動中間帶輪借助第一前端傳動帶84aF操作地連接至第一驅動帶輪81a。第一前端中間帶輪830aF還包括第一驅動子帶輪832a,該第一驅動子帶輪的直徑比第一驅動中間帶輪831a的直徑小。第一驅動子帶輪832a和第一驅動中間帶輪831a安裝在同一軸上。第一中間帶輪83a的第一后端中間帶輪830aR包括第一從動子帶輪834a，該第一從動子帶輪借助第一中間傳動帶84aM操作地連接至第一前端中間帶輪830aF的第一驅動子帶輪832a。第一后端中間帶輪830aR還包括第一從動中間帶輪833a,該第一從動中間帶輪的直徑比第一從動子帶輪834a的直徑小。第一從動中間帶輪833a和第一從動子帶輪834a安裝在同一軸上，并且第一從動中間帶輪833a借助第一后端傳動帶84aR操作地連接至第一從動帶輪82a。
如圖8B所示，第二中間帶輪83b的第二前端中間帶輪830bF包括第二驅動中間帶輪831b,該第二驅動中間帶輪借助第二前端傳動帶84bF操作地連接至第二驅動帶輪81b。第二前端中間帶輪830bF還包括第二驅動子帶輪832b，該第二驅動子帶輪的直徑比第二驅動中間帶輪831b的直徑小。第二驅動子帶輪832b和第二驅動中間帶輪831b安裝在同一軸上。第二中間帶輪83b的第二后端中間帶輪830bR包括第二從動子帶輪834b，該第二從動子帶輪借助第二中間傳動帶84bM操作地連接至第二前端中間帶輪830bF的第二驅動子帶輪832b。第二后端中間帶輪830bR還包括第二從動中間帶輪833b，該第二從動中間帶輪的直徑比第二從動子帶輪834b的直徑小。第二從動中間帶輪833b安裝在第二從動子帶輪834b的軸上，并且借助第二后端傳動帶84bR操作地連接至第二從動帶輪82b。在圖7、圖8A和圖8B中，附圖標記700表不供設直手驅動機構8的基板。在上述的本實施方式的手驅動機構8中，第一馬達9a和第二馬達9b沿相反取向設置。第一前端中間帶輪830aF和第二前端中間帶輪830bF沿相反取向設置。第一驅動中間帶輪831a和第二驅動中間帶輪831b設置成當在平面圖中看時彼此部分地重疊。在完全容納在第二臂7內的手驅動機構8中，不必采用包括重的齒輪機構的減速裝置。這有助于減小第二臂7的重量。在本實施方式的手驅動機構8中，沿相反取向設置的第一驅動帶輪81a和第二驅動帶輪81b能夠借助第一中間帶輪83a、第二中間帶輪83b、水平卷繞的第一帶84a和水平卷繞的第二帶84b而在無阻礙的情況下操作地連接至第一從動帶輪82a和第二從動帶輪82b。如以上在這些實施方式中所述，機器人I構造成包括第二臂7，該第二臂的基端部借助臂支承軸以可旋轉的方式安裝。作為輸出軸的手樞軸103安裝在第二臂7的末端部中。用于以減小的速度驅動手樞軸103的手驅動機構8設置在第二臂7內。然而，輸出軸不局限于手`樞軸103。當然，手驅動機構8可以是任何類型的，只要該手驅動機構能夠驅動輸出軸即可。不言而喻，用于容納驅動機構的臂不局限于第二臂7。通過上述構造，本實施方式的機器人I可以減小臂的重量。本領域技術人員能夠容易地想到其它效果和其它修改例。為此，本公開內容的寬泛范圍不局限于上文示出并描述的具體公開內容和代表性實施方式。因而，在不脫離由所附的權利要求及其等同物限定的精神和范圍的情況下，本公開內容能夠以許多不同的形式進行修改。
權利要求
1.一種機器人，所述機器人包括: 臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助關節部以可旋轉的方式安裝，輸出軸安裝在所述末端部中；以及 驅動機構，所述驅動機構設置在所述臂內并且構造成以減小的速度來驅動所述輸出軸， 其中，所述驅動機構包括:具有馬達軸的馬達；附接到所述馬達軸的驅動帶輪；附接到所述輸出軸的從動帶輪；至少一個中間帶輪，所述中間帶輪設置在所述驅動帶輪和所述從動帶輪之間；以及多個帶，所述多個帶用于通過所述中間帶輪將所述驅動帶輪和所述從動帶輪操作地互連。
2.根據權利要求1所述的機器人，其中，安裝在所述臂的所述末端部中的所述輸出軸是用于以可旋轉的方式支承手單元的手樞軸。
3.根據權利要求1所述的機器人，其中，所述中間帶輪包括: 前端中間帶輪，所述前端中間帶輪包括驅動中間帶輪和驅動子帶輪，所述驅動中間帶輪借助所述多個帶之中的第一帶操作地連接至所述驅動帶輪，所述驅動子帶輪附接到供附接所述驅動中間帶輪的軸；以及 后端中間帶輪，所述后端中間帶輪包括從動中間帶輪和從動子帶輪，所述從動中間帶輪借助所述多個帶之中的第二帶操作地連接至所述從動帶輪，所述從動子帶輪附接到供附接所述從動中間帶輪的軸，所述從動子帶輪借助所述多個帶之中的第三帶操作地連接至所述前端中間帶輪的所述驅動子帶輪。
4.根據權利要求3所述的機器人，其中，所述前端中間帶輪的所述驅動中間帶輪和所述驅動子帶輪在第一基板與借助第一連接構件連接至所述第一基板的第一支承板之間以疊置的關系設置在同一軸上，并且 所述后端中間帶輪的所述從動中間帶輪和所述從動子帶輪在第二基板與借助第二連接構件連接至所述第二基板的第二支承板之間以疊置的關系設置在同一軸上。
5.根據權利要求3所述的機器人，其中，具有供附接所述驅動帶輪的所述馬達軸的所述馬達、所述前端中間帶輪、以及所述后端中間帶輪沿帶卷繞方向以可動的方式附接，從而通過移動所述后端中間帶輪、所述前端中間帶輪以及所述馬達而能夠調節所述帶的張力。
6.根據權利要求3至5中任一項所述的機器人，其中，所述第三帶的寬度大于所述第一帶的寬度，所述第二帶的寬度大于所述第三帶的寬度。
7.根據權利要求2所述的機器人，其中，所述手單元包括多個手，這些手沿著所述手樞軸以間隔開的關系設置，所述驅動機構以與每個手對應的關系設置。
8.根據權利要求7所述的機器人，其中，所述手包括附接到第一手樞軸的第一手和附接到第二手樞軸的第二手； 所述驅動機構包括與所述第一手對應的第一驅動機構和與所述第二手對應的第二驅動機構； 所述第一驅動機構包括第一馬達、附接到所述第一馬達的驅動軸上的第一驅動帶輪、具有預定減速比并且附接到所述第一手樞軸的第一從動帶輪、以及具有預定減速比并且安裝在所述第一驅動帶輪和所述第一從動帶輪之間的至少一個第一中間帶輪； 所述第二驅動機構包括第二馬達、附接到所述第二馬達的驅動軸上的第二驅動帶輪、具有預定減速比并且附接到所述第二手樞軸的第二從動帶輪、以及具有預定減速比并且安裝在所述第二驅動帶輪和所述第二從動帶輪之間的至少一個第二中間帶輪； 所述第二手樞軸形成為管狀形狀，所述第一手樞軸插入所述第二手樞軸中，所述第一手樞軸和所述第二手樞軸構造成具有公共中心軸線；并且 所述第一馬達和所述第二馬達沿所述臂的橫向方向并排設置。
9.根據權利要求8所述的機器人，其中，所述臂包括: 第一臂，所述第一臂具有基端部 ，所述第一臂的基端部借助第一關節部以可旋轉的方式附接到基座單元，所述基座單元安裝在安裝面上；以及 第二臂，所述第二臂具有基端部和末端部，所述第二臂的基端部借助第二關節部以可旋轉的方式附接到所述第一臂的末端部，所述手單元借助所述手樞軸以可旋轉的方式附接到所述第二臂的所述末端部，所述驅動機構設置在所述第二臂內。
10.根據權利要求9所述的機器人，其中，所述第一中間帶輪包括:第一前端中間帶輪，該第一前端中間帶輪具有第一驅動中間帶輪和第一驅動子帶輪，所述第一驅動中間帶輪借助第一前端傳動帶操作地連接至所述第一驅動帶輪，所述第一驅動子帶輪附接到供附接所述第一驅動中間帶輪的軸；以及第一后端中間帶輪，該第一后端中間帶輪具有第一從動子帶輪和第一從動中間帶輪，所述第一從動子帶輪借助第一中間傳動帶操作地連接至所述第一前端中間帶輪的所述第一驅動子帶輪，所述第一從動中間帶輪借助第一后端傳動帶操作地連接至所述第一從動帶輪，所述第一從動中間帶輪附接到供附接所述第一從動子帶輪的軸； 所述第二中間帶輪包括:第二前端中間帶輪，該第二前端中間帶輪具有第二驅動中間帶輪和第二驅動子帶輪，所述第二驅動中間帶輪借助第二前端傳動帶操作地連接至所述第二驅動帶輪，所述第二驅動子帶輪附接到供附接所述第二驅動中間帶輪的軸；以及第二后端中間帶輪，該第二后端中間帶輪具有第二從動子帶輪和第二從動中間帶輪，所述第二從動子帶輪借助第二中間傳動帶操作地連接至所述第二前端中間帶輪的所述第二驅動子帶輪，所述第二從動中間帶輪借助第二后端傳動帶操作地連接至所述第二從動帶輪，所述第二從動中間帶輪附接到供附接所述第二從動子帶輪的軸； 所述第一前端中間帶輪的所述第一驅動中間帶輪和所述第二前端中間帶輪的所述第二驅動中間帶輪設置在相同高度； 所述第一后端中間帶輪和所述第二后端中間帶輪沿相反豎直取向設置，所述第一從動子帶輪和所述第二從動子帶輪設置成當在平面圖中看時彼此部分地重疊；并且至少所述第一馬達的基端部和所述第二馬達的基端部設置在所述第一臂內。
11.根據權利要求9所述的機器人，其中，所述第一中間帶輪包括:第一前端中間帶輪，該第一前端中間帶輪具有第一驅動中間帶輪和第一驅動子帶輪，所述第一驅動中間帶輪借助第一前端傳動帶操作地連接至所述第一驅動帶輪，所述第一驅動子帶輪附接到供附接所述第一驅動中間帶輪的軸；以及第一后端中間帶輪，該第一后端中間帶輪具有第一從動子帶輪和第一從動中間帶輪，所述第一從動子帶輪借助第一中間傳動帶操作地連接至所述第一前端中間帶輪的所述第一驅動子帶輪，所述第一從動中間帶輪借助第一后端傳動帶操作地連接至所述第一從動帶輪，所述第一從動中間帶輪附接到供附接所述第一從動子帶輪的軸；所述第二中間帶輪包括:第二前端中間帶輪，該第二前端中間帶輪具有第二驅動中間帶輪和第二驅動子帶輪，所述第二驅動中間帶輪借助第二前端傳動帶操作地連接至所述第二驅動帶輪，所述第二驅動子帶輪附接到供附接所述第二驅動中間帶輪的軸；以及第二后端中間帶輪，該第二后端中間帶輪具有第二從動子帶輪和第二從動中間帶輪，所述第二從動子帶輪借助第二中間傳動帶操作地連接至所述第二前端中間帶輪的所述第二驅動子帶輪，所述第二從動中間帶輪借助第二后端傳動帶操作地連接至所述第二從動帶輪，所述第二從動中間帶輪附接到供附接所述第二從動子帶輪的軸； 所述第一馬達和所述第二馬達設置在所述第二臂內并且設置有沿相反方向突出的驅動軸；并且 所述第一前端中間帶輪和所述第二前端中間帶輪沿相反豎直取向設置，所述第一驅動中間帶輪和 所述第二驅動中間帶輪設置成當在平面圖中看時彼此部分地重疊。
全文摘要
本發明涉及一種機器人。所述機器人包括臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助關節部以可旋轉的方式安裝，輸出軸安裝在所述末端部中；以及驅動機構，所述驅動機構設置在所述臂內并且構造成以減小的速度來驅動所述輸出軸。所述驅動機構包括具有馬達軸的馬達；附接到所述馬達軸的驅動帶輪；附接到所述輸出軸的從動帶輪；至少一個中間帶輪，所述中間帶輪設置在所述驅動帶輪和所述從動帶輪之間；以及多個帶，所述多個帶用于通過所述中間帶輪將所述驅動帶輪和所述從動帶輪操作地互連。
文檔編號B25J9/06GK103240732SQ20121059240
公開日2013年8月14日 申請日期2012年12月31日 優先權日2012年2月1日
發明者古市昌稔, 小宮路修, 鈴木雅之, 實政泰樹 申請人:株式會社安川電機