專利名稱:光敏絕緣膠組合物及用其制成的感光膜的制作方法
技術領域:
本發明涉及光敏絕緣膠組合物及用其制成的感光膜。更具體地說,涉及含有有機成分和無機成分的光敏絕緣膠組合物及用其制成的感光膜,所述光敏絕緣膠組合物即使形成厚膜,也對精細圖像具有高靈敏度。
背景技術:
以往,制作厚膜多層電路和各種顯示板的方法有把含有無機粒子的光固化絕緣膠通過絲網印在基板上形成圖像的絲網印刷法;和把光固化絕緣膠組合物涂布在基板上之后,借助光掩膜,照射紫外線等活性光線進行顯像、在基板上形成圖像的光刻蝕法等。尤其是等離子體顯示板(以下稱PDP),其結構比較簡單,容易大型化,而且為自發光型,顯示品質高,還能表現出色彩,所以受到很大的關注,已有不少使其大型化、高精密化的方案。上述PDP是這樣一種裝置其對向配置的基板表面設有許多由絕緣材料構成的隔壁(barrier rib),劃分成多個顯示單元,這些單元內有熒光體,通過等離子體放電而產生的紫外光的作用,熒光體發光,各單元成為顯示單位。而且,在上述基板或單元內設有用于產生等離子體的電極、電阻、電介質等。要使PDP高精密化,必須高精密地制作構成PDP的隔壁、電極、電阻、電介質、熒光體、濾色片、黑基質(以下稱“隔壁等”),因此希望以更高的精度形成制作這些隔壁等的圖像。在以往的絲網印刷法中,因為是將膠組合物多層印刷的,因此,存在圖像的位置精度差、不能形成高精度的隔壁等的缺點。而光刻蝕法由于其形成隔壁等的成膜材料層較厚,因此,其縱深方向上的靈敏度不夠,不能形成高精度的圖像,而且,其顯像液采用三氯乙烷等昂貴的有機溶劑,制造成本高。而且還有環境污染和影響人體健康等問題。作為克服用有機溶劑顯像的缺點的絕緣膠組合物,日本特性公開公報1988年第265238號公開了一種含有甲基纖維素等水溶性纖維素、光聚合單體、光聚合引發劑和無機粉末的水顯像型光固化絕緣膠組合物。但是,該水顯像型光固化絕緣膠組合物的耐顯像性不充分,而且由于圖像是用絲網印刷法形成的,圖像部有溶出和位置偏移等,因此,可以說,要制作高精度的隔壁等是不夠的。
發明內容
鑒于這些現狀,本發明者經過潛心研究,結果發現使用含有水溶性纖維素衍生物、光聚合單體、含羥基的丙烯酸系樹脂、光聚合引發劑及無機粉末的光敏絕緣膠組合物,能在堿性顯像液或水中容易地顯像,沒有因為有機溶劑帶給環境和人體的壞影響,且能形成靈敏度高、膜厚的光敏絕緣膠組合物層,并能制成高精度隔壁等和厚膜多層電路,由此完成了本發明。
即,本發明的目的在于,提供一種光敏絕緣膠組合物,它能在堿性顯像液或水中顯像,并能形成高靈敏度的厚膜材料層,制作高精度的圖像。
本發明的目的還在于,提供一種用上述光敏絕緣膠組合物制成的感光膜。
本發明的含有有機成分和無機成分的光敏絕緣膠組合物的特征在于,有機成分由以下成分組成(i)水溶性纖維素衍生物、(ii)光聚合單體、(iii)含羥基的丙烯酸系樹脂、(iv)光聚合引發劑。
具體實施例方式
以下詳細說明本發明。
本發明的光敏絕緣膠組合物如上所述,含有水溶性纖維素衍生物作為粘合樹脂,因此,對紫外光、準分子激光、X射線、電子束等活性光線的透射率比以往的含丙烯酸系樹脂的光敏絕緣膠高,能形成高精度的圖像。
上述水溶性纖維素衍生物可以是任何公知的化合物,無特別限定,例如可以是羧甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥乙基甲基纖維素、羥丙基纖維素、乙基羥乙基纖維素、羧甲基乙基纖維素、羥丙基甲基纖維素等。這些可以單獨使用或兩種以上混合使用。
光聚合單體可以是任何公知的化合物,無特別限定,例如可以是乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸甘油酯、甲基丙烯酸甘油酯、碳化環氧二丙烯酸酯,以及這些化合物中的(甲基)丙烯酸替換成富馬酸、衣康酸、馬來酸的化合物等。
含羥基的丙烯酸樹脂的例子有以具有羥基的單體為主要共聚單體并視需要還含有其他可共聚單體的共聚物。上述有羥基的單體以丙烯酸或甲基丙烯酸與1-20個碳原子的一元醇的單酯化合物為宜,例如有丙烯酸羥甲基酯、甲基丙烯酸酯羥甲基、丙烯酸2-羥基乙基酯、甲基丙烯酸2-羥基乙基酯、丙烯酸2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-羥基丙基酯、丙烯酸3-羥基丙基酯、甲基丙烯酸3-羥基丙基酯、丙烯酸2-羥基丁基酯、甲基丙烯酸2-羥基丁基酯、丙烯酸3-羥基丁基酯、甲基丙烯酸3-羥基丁基酯、丙烯酸4-羥基丁基酯、甲基丙烯酸4-羥基丁基酯等,還可以是丙烯酸或(甲基)丙烯酸與1-10個碳原子的二元醇的單酯化合物或丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、二季戊四醇單丙烯酸酯、二季戊四醇單(甲基)丙烯酸酯、ε-己內酯改性丙烯酸羥乙基酯、ε-己內酯改性(甲基)丙烯酸羥乙基酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙基酯等環氧酯化合物。
可與上述有羥基的單體共聚的其他單體例如可以是丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、檸康酸、馬來酸、富馬酸等α、β-不飽和羧酸及其酸酐或半酯化合物,丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯,丙烯酸異丁酯、丙烯酯仲丁酯、丙烯酸環己酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸仲丙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸2,2,2-三氟甲基酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟甲基酯等α,β-不飽和羧酸酯,苯乙烯、α-甲基苯乙烯、對乙烯基甲苯等苯乙烯類。此外,還可以使用丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯等、這些化合物可單獨使用,也可以兩種以上組合使用。
本發明的光敏絕緣膠組合物因含有上述有羥基的丙烯酸系樹脂,所以耐顯像性能提高,可形成高精度的圖像。
在本發明的光敏絕緣膠組合物中,以水溶性纖維素衍生物和光聚合單體之和為100重量份計,則水溶性纖維素衍生物為10-50重量份,光聚合單體為90-50重量份,較好的是,水溶性纖維素衍生物為20-40重量份,光聚合單體為80-60重量份,更好的是,水溶性纖維素衍生物為25-35重量份,光聚合單體為75-65重量份。各種成分如小于或大于上述范圍,則不能得到必要的圖像形成精度,且活性光線的透過率下降,因此,是不適宜的。例如,當光聚合單體小于50重量份時,光聚合不足,顯像時圖像部會有溶出,不能形成圖像。而當光聚合單體超過90重量份時,細微的圖像的分辨性下降。
以水溶性纖維素衍生物和有羥基的丙烯酸樹脂之和為100重量份計,則水溶性纖維素衍生物為50-90重量份,有羥基的丙烯酸樹脂為50-10重量份,較好的是,水溶性纖維素衍生物為60-80重量份,有羥基的丙烯酸樹脂為40-20重量份,更好的是,水溶性纖維素衍生物為60-70重量份,有羥基的丙烯酸樹脂為40-30重量份。各種成分如小于或大于上述范圍,則不能得到必要的圖像精度,且活性光線的透過率下降。例如,若有羥基的丙烯酸樹脂不足10重量份,則耐顯像性下降,不能形成圖像,而若超過50重量份,則顯像性能下降,出現顯像殘渣。
光聚合引發劑可以是公知的化合物,例如可以是二苯甲酮類、苯偶姻類、苯偶姻烷基醚類、苯乙酮類、氨基苯乙酮類、苯偶酰類、偶苯姻烷基醚類、苯偶酰烷基縮醛類、蒽醌類、縮酮類、噻噸酮類等。具體例子有2,4-雙(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2,4,6-三甲基苯甲酰基氧化二苯膦、1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、2-氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、二苯甲酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、4-苯甲酰基-4′-甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-異戊酯、2,2-二乙氧基苯乙酮、芐基二甲醛縮、芐基-β-甲氧基乙縮醛、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙酯基)肟、鄰苯甲酰基苯甲酸甲酯、雙(4-二甲基氨基苯基)酮、4,4′-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、偶苯酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻異丁醚、對-二甲基氨基苯乙酮、對-叔丁基三氯苯乙酮、對-叔丁基二氯苯乙酮、噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、二苯并環庚酮、α,α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、4-二甲基氨基苯甲酸戊酯、2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物等。它們可以單獨使用,也可以兩種以上組合起來使用。
以水溶性纖維素衍生物和光聚合單體之和為100重量份計,上述光聚合引發劑為0.1-10重量份,更好地為0.2-5重量份。若光聚合引發劑不足0.1重量份,則固化性能下降,而若超過10重量份,則會由于引發劑的吸收而導致底部固化不良。
除上述物質之外,視需要,本發明的光敏絕緣膠組合物還可含紫外線吸收劑、增感劑,增感助劑、聚合抑制劑、增塑劑、增粘劑、有機溶劑、分散劑、消泡劑、有機或無機的防沉淀劑等添加劑成分。
用于提高靈敏度的增感劑具體例子有2,4-二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,3-雙(4-二乙基氨基亞芐基)環戊酮、2,6-雙(4-二甲基氨基亞芐基)環己酮、2,6-雙(4-二甲基氨基亞芐基)-4-甲基環己酮、4,4-雙(二甲基氨基)-二苯甲酮(米希勒酮)、4,4-雙(二乙基氨基)-二苯甲酮、4,4-雙(二甲基氨基)查耳酮、4,4-雙(二乙基氨基)查耳酮、對-二甲基氨基亞肉桂基二氫茚酮、對-二甲基氨基亞芐基二氫茚酮、2-(對-二甲基氨基苯基亞乙烯基)異萘噻唑、1,3-雙(4-二甲基氨基亞芐基)丙酮、1,3-羰基-雙(4-二乙基氨基亞芐基)丙酮、3,3-羰基-雙(7-二乙基氨基香豆素)、N-苯基-N-乙基乙醇胺、N-苯基乙醇胺、二甲基氨基苯甲酸異戊酯、二乙基氨基苯甲酸異戊酯、3-苯基-5-苯甲酰基硫代四唑、1-苯基-5-乙酯基硫代四唑等。它們可以單獨使用,也可兩種以上合用。
用于提高保存時的熱穩定性的聚合抑制劑的具體例子有氫醌、氫醌的單酯化物、N-亞硝基二苯胺、吩噻嗪、對-叔丁基兒萘酚、N-苯基萘胺、2,6-二叔丁基-對-甲基苯酚、氯醌、連苯三酚等。
用于提高對基板的順應性的增塑劑的具體例子有鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、聚乙二醇、甘油、酒石酸二丁酯等。
消泡劑的具體例子有聚乙二醇(分子量400-800)等烷撐二醇類、硅氧烷類、高級醇類消泡劑等,可減少膠或薄膜中的氣泡,并可減少焙燒后的空隙。
本發明的光敏絕緣膠組合物中所含的無機粉末,只要對于曝光光源具有必要的透明性即可,無特別限定,例如可以是玻璃、陶瓷(堇青石)、金屬等。具體地說,可以是PbO-SiO2系、PbO-B2O3-SiO2系、ZnO-SiO2系、ZnO-B2O3-SiO2系、BiO-SiO2系、BiO-B2O3-SiO2系硼硅酸鉛玻璃、硼硅酸鋅玻璃、硼硅酸鉍玻璃等的玻璃粉末,氧化鈷、氧化鐵、氧化鉻、氧化鎳、氧化銅、氧化錳、氧化釹、氧化釩、氧化鈰、二氧化鈦(Tipaque Yellow)、氧化鎘、氧化釕、二氧化硅、氧化鎂、尖晶石等Na、K、Mg、Ca、Ba、Ti、Zr、Al等的各氧化物,ZnOZn、Zn3(PO4)2Mn、Y2SiO5Ce、CaWO4Pb、BaMgAl14O23Eu、ZnS(Ag,Cd)、Y2O3Eu、Y2SiO5Eu、Y3Al5O12Eu、YBO3Eu、(Y,Gd)BO3Eu、GdBO3Eu、ScBO3Eu、LuBO3Eu、Zn2SiO4Mn、BaAl12O19Mn、SrAl13O9Mn、CaAl12O19Mn、YBO3Tb、BaMgAl14O23Mn、LuBO3Tb、GdBO3Tb、ScBO3Tb、Sr6Si3O3Cl4Eu、ZnS(Cu,Al)、ZnSAg、Y2O2SEu、ZnSZn、(Y,Cd)BO3Eu、BaMgAl12O23Eu等熒光體粉末,鐵、鎳、鈀、鎢、銅、鋁、銀、金、鉑等金屬粉末。尤其優選玻璃、陶瓷等,因為它們具有優異的透明性。其中,使用玻璃粉末(玻璃料)時的效果最顯著。若上述無機粉末中含有氧化硅、氧化鋁或氧化鈦,則會出現混濁,導致光線透過率下降。因此,最好不含這些成分。
上述無機粉末的顆粒根據要制作的圖像形狀而不同,平均粒徑一般宜為1-10μm,更好地為2-8μm。若超過10μm,則形成高精度圖像時表面會有凹凸,而若小于1μm,則焙燒時會形成細微的空洞,造成絕緣不良。上述無機粉末的形狀可以是例如球狀、塊狀、片狀、枝狀。可以是單一形狀,也可以是多種形狀的混合體。
無機粉末中可含有黑色、紅色、蘭色、綠色等顏色的無機顏料。使用含有上述顏料的光敏絕緣膠組合物,可形成各種顏色的圖像,從而能夠用來制作等離子體顯示板的濾色片等。無機粉末也可以是物性值不同的微粒的混合物。尤其是采用熱軟化點不同的玻璃粉末和陶瓷粉末,可以抑制焙燒時的收縮率。可根據隔壁等的特性,對無機粉末的形狀、物性值進行適當組合。
由于無機粉末的平均粒徑在10μm以下,為1-10μm,為防止其二次凝聚和提高其分散性,在不影響無機粉末性質的范圍內,可用有機酸、無機酸、硅烷偶聯劑、鈦酸鹽偶聯劑、含鋁偶聯劑、表面活性劑等預先進行表面處理。處理方法是,將處理劑溶解在有機溶劑或水中之后,加入無機粉末,攪拌,餾去溶劑,在約50-200℃加熱處理2小時以上。上述處理劑也可在光敏組合物膠化時添加。
在本發明的光敏絕緣膠組合物中,以光敏絕緣膠組合物的總重量為100重量份計,則有機成分為10-35重量份,無機粉末為90-65重量份,較好的是,有機成分為15-30重量份,無機粉末為85-70重量份,更好的是,有機成分為20-25重量份,無機粉末為80-75重量份。若有機成分低于15重量份,則光聚合不足,顯像時圖像部會有溶出,不能形成圖像,而若有機成分超過35重量份,則焙燒后會發生圖像剝離,因此是不適宜的。
光敏絕緣膠組合物通過溶解或分散在溶劑中進行制備。所用的溶劑只要與無機粉末的親和性、對有機成分的溶解性好,能賦予光敏絕緣膠組合物以合適的粘性、可容易地通過干燥而蒸發除去即可,無特別限定。這樣的溶劑的具體例子有二乙基甲酮、甲基丁基酮、二丙基酮、環己酮等酮類;正戊醇、4-甲基-2-戊醇、環己醇、雙丙酮醇等醇類;乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚等醚醇類;乙酸正丁酯、乙酸戊酯等飽和脂肪族單羧酸烷基酯類;乳酸乙酯、乳酸正丁酯等乳酸酯類;甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸2-甲氧基丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸4-甲氧基丁酯、乙酸2-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸3-乙基-3-甲氧基丁酯、乙酸2-乙氧基丁酯、乙酸4-乙氧基丁酯、乙酸4-丙氧基丁酯、乙酸2-甲氧基戊酯等醚酯類,等等。它們可單獨使用,也可兩種以上合用。
為了將光敏絕緣膠組合物的粘度維持在適當的范圍內,上述溶劑的含量,以有機成分與無機粉末之和為100重量份計,以在300重量份以下為宜,較好地為10-70重量份,最好為25-35重量份。
根據用途,本發明的光敏絕緣膠組合物可以液體形式涂布在基板上,也可絲網印刷在基板上。但在制作PDP的隔壁等要求高精度的加工時,也可方便地使用由上述光敏絕緣膠組合物形成的感光膜。這樣,圖像的精度進一步提高,能制作出更高精度的隔壁等。上述感光膜的形成方法是,將本發明的光敏絕緣膠組合物涂布在承載膜上,干燥,使膜厚為10-100μm。所用的承載膜例如有膜厚為15-25μm的由聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯等合成樹脂膜制成的撓性薄膜。視需要,可對該承載膜進行脫模處理,使其容易轉移。涂布時,可采用敷涂器、棒涂器、繞線棒控涂布器、滾涂器、幕流涂布器等。尤以滾涂器為佳,因為它能高效率地形成厚度均勻的厚膜。此外,在感光膜不用時,為穩定地保護光敏絕緣膠組合物,可貼上保護膜。該保護膜以將硅氧烷涂布或烘烤而成的厚度為15-125μm的聚對苯二甲酸乙二醇薄膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜等為宜。
下面說明用本發明的光敏絕緣膠組合物形成圖像的方法。將光敏絕緣膠組合物涂布或轉印到基板上,形成光敏絕緣膠組合物層,借助光掩膜,照射紫外線、準分子激光、X射線、電子束等活性光線,進行成像曝光,再用堿性顯像液或水進行顯像處理,將未照射部分溶解除去,在基板上形成圖像,視需要進行焙燒;或者不用光掩膜,對光敏絕緣膠組合物層全面曝光,形成圖像而不進行顯像處理,并視需要進行焙燒處理。要形成更高精度的圖像時,使用感光膜,先從光敏膜上去除保護膜,將光敏絕緣膠組合物層轉移到基板上,成像曝光或全面曝光后,除去承載膜,對成像曝光過的光敏絕緣膠組合物層進行顯像處理,形成圖像。全面曝光過的光敏絕緣膠組合物層形成固化膜無需顯像處理。視需要,可進行焙燒處理。上述基板例如可以是玻璃基板、上面設有匯流電極等電極的玻璃板、陶瓷基板等。此外,在轉移光敏絕緣膠組合物層時,可將光敏絕緣膠組合物層重疊在基板表面上,用熱輥層壓器等進行熱層壓。熱層壓時,將基板的表面溫度加熱到80-140℃,輥壓為1-5kg/cm2,移動速度為0.1-10.0米/分。也可將上述基板預熱。預熱溫度可在40-100℃的范圍內選擇。曝光所用的放射線照射裝置可以是光蝕法中常用的紫外線照射裝置、制造半導體和液晶顯示裝置時使用的曝光裝置等。
上述顯像處理中所用的堿性顯像液的堿性成分例如可以是鋰、鈉、鉀等堿金屬的氫氧化物、碳酸鹽、碳酸氫鹽、磷酸鹽、焦磷酸鹽,芐胺、丁胺等伯胺、二甲胺、二芐胺、二乙醇胺等仲胺,三甲胺、三乙胺、三乙醇胺等叔胺,嗎啉、哌嗪、吡啶等環胺,乙二胺、己二胺等多胺,氫氧化四甲銨、氫氧化四乙胺、氫氧化三甲基芐胺、氫氧化三甲基苯基芐銨等氫氧化銨類,氫氧化三甲基锍、氫氧化二乙基甲基锍、氫氧化二甲基芐基硫等氫氧化锍類,膽堿,含硅酸鹽的緩沖液等。顯像處理時,根據光敏絕緣膠組合物的特性,可選擇適當的顯像液種類、組成、濃度、顯像時間、顯像溫度、顯像方法(如浸漬法、振蕩法、噴淋法、噴射法、攪棒法)、顯像裝置等。
焙燒溫度只要能將光敏絕緣膠組合物中的有機物質燒光即可,例如,可在400-600℃焙燒10-90分鐘。
本發明的光敏絕緣膠組合物可用于制作厚膜多層電路、等離子體顯示器、等離子體地址液晶顯示器等各種顯示器的材料,尤其適合制作高精密的PDP隔壁等,特別是PDP的電介質。
以下描述本發明的實施例,但本發明并不限于這些實施例。
為評價圖像在焙燒后的形狀穩定性,用上述方法制作掩膜線寬為200μm的圖像,以10℃/分的升溫速度加熱,在520℃保持30分鐘進行焙燒處理,其結果,焙燒后的圖像保持了良好的形狀。
為評價圖像在焙燒后的形狀穩定性,用上述方法形成圖像,以10℃/分的升溫速度加熱,在580℃保持30分鐘進行焙燒處理,得到經良好焙燒的圖像。比較例1按與實施例2相同的方法制作感光膜,所不同的是,將有機成分溶液10重量份和作為無機粉末的玻璃料90重量份混揉,制成光敏絕緣膠組合物。將承載膜的聚對苯二甲酸乙二醇酯剝離時,光敏絕緣膠組合物層與玻璃基板分開。比較例2按與實施例2相同的方法制作感光膜,所不同的是,將有機成分溶液80重量份和作為無機粉末的玻璃料60重量份混揉,制成光敏絕緣膠組合物。將所得圖像焙燒時,發現圖像邊緣有剝離。
本發明的光敏絕緣膠組合物可用水或堿性顯像液顯像,形成高精度圖像,而且,靈敏度高,可高精度地制作厚膜絕緣圖像。使用該光敏絕緣膠組合物,可低成本地制造精密度要求高的PDP,其工業價值高。
權利要求
1.光敏絕緣膠組合物,含有有機成分和無機成分,其特征在于,有機成分由以下成分組成(i)水溶性纖維素衍生物、(ii)光聚合單體、(iii)含羥基的丙烯酸系樹脂、(iv)光聚合引發劑。
2.如權利要求1所述的光敏絕緣膠組合物,其特征在于,所述無機粉末是玻璃粉末。
3.如權利要求1所述的光敏絕緣膠組合物,其特征在于,以水溶性纖維素衍生物和光聚合單體之和為100重量份計,有機成分中,水溶性纖維素衍生物為10-50重量份,光聚合單體為90-50重量份。
4.如權利要求1所述的光敏絕緣膠組合物,其特征在于,以水溶性纖維素衍生物和含有羥基的丙烯酸系樹脂之和為100重量份計,有機成分中,水溶性纖維素衍生物為50-90重量份,含羥基的丙烯酸系樹脂為50-10重量份。
5.如權利要求1所述的光敏絕緣膠組合物,其特征在于,以有機成分和無機粉末之和為100重量份計,有機成分為10-35重量份,無機粉末為90-65重量份。
6.感光膜,其承載膜上有權利要求1-5中任一項所述的的光敏絕緣膠組合物層。
全文摘要
一種光敏絕緣膠組合物及用它制成的感光膜。該光敏絕緣膠組合物能用堿性顯像液或水顯像,并能形成靈敏度高、膜厚、精度高的圖像。該光敏絕緣膠組合物含有有機成分和無機粉末,其特征在于,有機成分由(i)水溶性纖維素衍生物、(ii)光聚合單體、(iii)含有羥基的丙烯酸系樹脂和(iv)光聚合引發劑組成。
文檔編號G03F7/033GK1384138SQ02119329
公開日2002年12月11日 申請日期2002年5月8日 優先權日2001年5月1日
發明者押尾公德, 井上朋之, 節田齊, 帶谷洋之 申請人:東京應化工業株式會社