專利名稱：光罩夾的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于光刻設備制造領域，特別涉及一種適于在狹小空間內移除 光罩的光罩夾。
背景技術：
在臬成電路制造中，利用光學-化學反應原理和化學、物理蝕刻的方法， 將光罩上的電路困形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效困形窗口或功能 圖形，因此保護光罩的安全、防止光罩刮傷對于晶圃生產來說非常重要。現有技術中用于轉移光罩的光罩夾(如附圖3所示)，這種光罩夾可用于 交換光罩和光罩室轉移，然而由于它手柄部分過長，因此光罩夾的重心落在 手柄部分上，操作人員在握持光罩夾的時候不容易掌握重心，光罩容易脫落 或損壞；另外，當機臺發生異常時，該光罩夾的手柄過長，無法伸入狹窄的 機臺內取出光罩，還需要操作員手工取出光罩。發明內容本實用新型所要解決的問題是光罩夾體積過大、與光罩重心不重合，并提 供一種體積小、便于操作的光罩夾。本實用新型所采用的技術方案是 一種光罩夾，它包括鉸接在一起的一對 夾臂組件，所述的夾臂組件的一端部具有夾爪，所述的夾臂組件的另一端部具 有握持部，所述的一對夾臂組件的鉸接處位于所述的握持部上，并且所述的握 持部位于所述的光罩夾的中部。進一步地說，本技術方案還包括所述的夾爪上具有開口，并且所述的一 對夾臂組件上的夾爪的開口相對。所述的夾爪上具有緩沖條，所述的緩沖條至少有部分位于所述的開口內。所述的握持部的長度為50mm 100mm,優選80mm 90mm，這樣可以 盡可能的縮小光罩夾的體積，更適于在窄小的機器內移動。所述的夾臂組件包括握持部、自所述的握持部彎折的肩部、自所述的肩部 向遠離所迷的握持部的方向延伸的臂部以及與所迷的臂部相連的夾持部，所述 的一對夾臂組件的臂部相對，并且所述的其中一個夾臂組件的臂部上還設置有 防護桿，所述的另外一個夾臂組件的臂部上開設有可供所述的防護桿的一端部 自由滑動的滑槽。所述的防護桿和所述的滑槽分別位于所述的 一 對夾臂組件的臂部的中央。所述的夾持部自所述的臂部彎折形成并沿垂直于所述的臂部的方向延伸， 所述的一對夾臂組件上的夾持部相互平行，所述的夾爪固定設置在所述的夾持 部上。所述的夾臂組件包括夾桿，其中一個夾臂組件的夾桿上固定連接有連接柄， 另 一個夾臂組件上的夾桿上固定連接有活動柄。本實用新型的優點是本實用新型的握持部位于光罩夾的中部，利于控制 重心和夾緊力量，避免光罩脫落或損壞；縮短握持部的長度，使本實用新型利 于在機臺的狹小空間內取放光罩；另外，在夾爪與握持部之間設置一個防止手 觸摸到光罩圖形區域的防護桿，可更好地保護光罩。
附圖1為本實用新型的主視圖；附圖2為附圖1中沿A-A的剖視圖；附圖3為現有技術中的光罩夾；其中1、夾臂組件；2、握持部；3、臂部；4、滑槽；5、活動柄；6、 連接柄；7、防護桿；8、夾桿；9、肩部；10、收容槽；"、夾爪；12、開口； 13、緩沖條；14、夾持部。
具體實施方式
參見附圖1和附圖2所示，一種U形光罩夾，它包括鉸接在一起的一對 夾臂組件1。所述的夾臂組件1包括握持部2、自所述的握持部2彎折的肩部 9、自所述的肩部9向遠離所述的握持部2的方向延伸的臂部3以及與所述的 臂部3相連的夾持部14，所述的一對夾臂組件1的臂部3平行相對，所述的 夾持部2自所迷的臂部3彎折形成并沿垂直于所迷的臂部3的方向延伸，所 述的一對夾臂組件1上的夾持部2相互平行，夾持部14上可拆卸地連接有用 于夾取光罩的夾爪11。所述的夾爪11上具有開口 12，并且所述的一對夾臂 組件1上的夾爪"的開口 12相對，以利于取放光罩。為防止取放光罩時，人手會觸碰到光罩，所述的光罩夾上還設計有一個防 護桿7。所述的其中一個夾臂組件1的臂部3上還設置有防護桿7,所述的另 外一個夾臂組件1的臂部3上開設有可供所述的防護桿7的一端部自由滑動 的滑槽4，所迷的防護桿7和所述的滑槽4分別位于所迷的臂部3的中部。因4此所述的光罩夾打開或閉合時，防護桿7可以在滑槽4中自由活動，保證防護 桿7始終擋在人手和光罩之間。其中，夾臂組件1可以采用一體結構實現，即連接柄6或活動柄5與夾桿 8 —體成型。也可以像本實施例一樣，所述的夾臂組件1主要由夾桿8、可拆卸 地連接在所述的夾桿8的一端部上的夾爪11、以及分別固定連接在所述的一對 夾軒8上的連接柄6或活動柄5構成，接柄6上開設有收容槽10,連接柄6與 活動柄5的鉸接處就位于該收容槽10內，活動柄5部分收容在該收容槽10內， 可以在收容槽10內自由轉動，而且鉸接處設置扭簧或簧片，使光罩夾打開后還 可以自動復位。在本實施例中，為避免人員在夾持光罩時用力過大而損壞光軍，所述的夾 爪11上具有緩沖條13,所述的緩沖條13至少有部分位于所述的開口 12內。所述的一對夾臂組件1的鉸接處位于所述的握持部2上，并且所述的握持 部2位于所述的光罩夾的中部。因此能夠保證握持部2的重心始終能夠與光罩 的重心重合，利于取放時重心的控制。所述的握持部2的長度為50mm 100mm,優選80mm 90mm。這樣能夠使該光罩夾適用于在狹小空間內移動。
權利要求1、 一種光罩夾，它包括鉸接在一起的一對夾臂組件(1),所述的夾臂組 件(1)的一端部具有夾爪(11),所述的夾臂組件(1)的另一端部具有握持 部(2)，其特征是所述的一對夾臂組件(1)的鉸接處位于所述的握持部(2) 上，并且所述的握持部(2)位于所述的光罩夾的中部。
2、 根據權利要求1所述的光罩夾，其特征是所述的夾爪(11)上具有 開口 (12),并且所迷的一對夾臂組件(1)上的夾爪(11)的開口 (12)相 對。
3、 根據權利要求2所述的光罩夾，其特征是所述的夾爪(11)上具有緩 沖條(13),所述的緩沖條(13)至少有部分位于所述的開口 (12)內。
4、 根據權利要求1所述的光罩夾，其特征是所述的握持部(2)的長度 為50mm 100mm。
5、 根據權利要求4所述的光罩夾，其特征是所述的握持部(2)的長度 為80mm 90mm。
6、 根據權利要求1所述的光罩夾，其特征是所述的夾臂組件(1)包括 握持部(2)、自所述的握持部(2)彎折的肩部(9)、自所述的肩部(9)向遠 離所述的握持部(2)的方向延伸的臂部(3)以及與所述的臂部(3)相連的夾 持部(14),所述的一對夾臂組件(1)的臂部(3)相對，并且所述的其中一個 夾臂組件(1)的臂部(3)上還設置有防護桿(7)，所述的另外一個夾臂組件(1)的臂部(3)上開設有可供所述的防護桿(7)的一端部自由滑動的滑槽(4)。
7、 根據權利要求6所述的光罩夾，其特征是所述的防護桿(7)和所述 的滑槽(4)分別位于所述的一對夾臂組件(1)的臂部(3)的中央。
8、 根據權利要求6所述的光罩夾，其特征是所述的夾持部(2)自所述 的臂部(3)彎折形成并沿垂直于所述的臂部(3)的方向延伸，所述的一對夾 臂組件(1)上的夾持部(2)相互平行，所述的夾爪(11)固定設置在所述的 夾持部(14)上。
9、 根據權利要求1所述的光罩夾，其特征是所述的夾臂組件(1)包括 夾桿(8),其中一個夾臂組件(1)的夾桿(8)上固定連接有連接柄(6)，另 一個夾臂組件(1)上的夾桿(8)上固定連接有活動柄(5)。
專利摘要一種光罩夾，它包括鉸接在一起的一對夾臂組件，夾臂組件包括握持部、自握持部彎折的肩部、自肩部向遠離握持部的方向延伸的臂部以及與臂部相連的夾持部，夾持部自臂部彎折而成并沿垂直于臂部的方向延伸，一對夾臂組件上的夾持部相互平行，夾持部上可拆卸地連接有用于夾取光罩的夾爪；一對夾臂組件的鉸接處位于握持部上，并且握持部位于光罩夾的中部，夾爪與握持部之間還設置有防護桿。本實用新型的優點在于握持部位于光罩夾的中部，利于控制重心和夾緊力量；縮短握持部的長度，利于在狹小空間內活動；另外，設置防護桿，可防止手觸摸到光罩圖形區域以保護光罩。
文檔編號G03F1/66GK201156161SQ200820032259
公開日2008年11月26日 申請日期2008年2月20日 優先權日2008年2月20日
發明者陳興蓋 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司