專利名稱：一種用于能量色散x熒光光譜儀的濾光片系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及初級X射線濾波領域，特別是指一種用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統。
背景技術：
在國外，從上世紀60年代起，羅斯德等人根據元素對低能電磁輻射吸收系數不連續變化的原理研制成功了“平衡濾光片對”(簡稱“平衡濾片”或“濾片”)。它是利用物質吸收限能量的差別形成能量通帶，測量通帶內X射線的計數率，同時又能排除通帶外能量的干擾，使分辨率較差的探測器，如閃爍探測器也能分別測定相鄰元素X射線熒光計數率，為X射線熒光方法的現場應用提供了必不可少的條件，為能量選擇濾光片在X射線熒光方法中的應用奠定了基礎。許多國家都對能量選擇濾光片在X射線熒光分析中的應用做過不同程度的研究。并將其研究成果成功運用在了其生產的X射線熒光分析儀中。如賽默飛世爾(美國熱電)公司研制的能量色散X射線熒光光譜儀Quant’X，□便將濾光片技術應用在了其中。該檢測儀中采用了8個濾光片位置和7個濾光片。在國內，也有不少專業研制X射線熒光儀的公司對能量選擇濾光片在X射線熒光分析中的應用做過深入的研究。例如四川新先達測控技術有限公司研制的通用型低能高靈敏X熒光分析儀便將濾光片技術融入到了其中。這些濾光片的使用在很大程度上改善了激發源的譜線能譜成分，提高了探測效率□在多元素分析中還能用來壓制某些高含量組分的強X射線熒光以提高待測譜線的測量精度。
發明內容
本發明的目的是提出一種用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，將濾光片系統置于光管和樣品之間，其目的是為得到單色性更好的輻射，和降低待分析元素譜感興趣區內的由原級譜散射引起的背景，以提高待測譜線的測量精度。本發明的技術方案是這樣實現的一種用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，所述濾光片系統包括支架盒、所述支架盒安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上安裝有濾光盤，所述濾光盤可繞其中心軸旋轉，并在所述濾光盤上設置有關于其中心軸旋轉對稱的至少5個濾光片位，所述濾光片位上安裝有濾光片。優選地，其特征在于所述濾光盤上設置有10個濾光片位，且所述的濾光片位上分別安裝有至少兩種濾光片。優選地，所述10個濾光片分別為鉛屏蔽罩、第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二鋯鎳片組合片。優選地,所述鉛屏蔽罩厚2mm。優選地，所述第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二錯鎳片組合片的厚度范圍為O. 03mnT0. 1mm。
優選地，所述支架盒上設置有支架盒蓋，所述支架盒蓋上設置有光路出口。優選地，所述光路出口的直徑為10mm。優選地，所述支架盒除所述光路出口外，其余為密封結構。優選地，所述濾光片位為圓形，所述支架盒上設置有X射線管。優選地，所述驅動電機為步進伺服電機，所述濾光盤通過根據測試的元素自動的切換。本發明的有益效果是 I.本發明的濾光盤對初級射線的濾光作用，可減少其它干擾射線，保證照射到測試樣品上的X射線單一穩定，從而保證測試元素結果的穩定可靠；2.濾光片通過步進伺服電機控制，可通過應用軟件實現對X射線的自動屏蔽，即測試完畢后濾光盤自動轉到鉛封閉口，保證X射線泄漏和防止檢測器疲勞。
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本發明濾光片系統實施例的側面內部結構示意圖；圖2為本發明濾光片系統實施例的背面內部結構示意圖；圖3為本發明濾光片系統實施例的外部正面結構示意圖；圖4為本發明濾光片系統實施例的外部側面結構示意圖。
具體實施例方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。如圖I-圖4所示的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，所述濾光片系統包括支架盒I、所述支架盒I安裝有驅動電機3，所述驅動電機3的輸出軸上安裝有濾光盤5，所述濾光盤5可繞其中心軸旋轉，并在所述濾光盤5上設置有關于其中心軸旋轉對稱的至少5個濾光片位6,所述濾光片位6上安裝有濾光片7。在圖2所示的實施例中，所述濾光盤5上設置有10個濾光片位6，且所述的濾光片位6上分別安裝有至少兩種濾光片7。所述10個濾光片7分別為鉛屏蔽罩、第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二鋯鎳片組合片。當然所述濾光片7也可以根據需求更換其中一種或若干種濾光片，而不僅限于本優選實施例所列舉的種類；其數量也可根據具體需求設置。在本優選實施例中，所述鉛屏蔽罩厚2mm，所述第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二鋯鎳片組合片的厚度范圍為
O.03mnT0. Imm0本發明的濾光盤對于初級射線的濾光作用，可減少其它干擾射線，保證照射到測試樣品上的X射線單一穩定，從而保證測試元素結果的穩定可靠，同時對X射線屏蔽作用。測試完畢后濾光盤5可自動轉到鉛封閉口，保證X射線不泄漏出來及防止檢測器疲勞。所述支架盒I上設置有支架盒蓋9，所述支架盒蓋9上設置有光路出口 2，以便射出濾光后的X射線。所述濾光片位6為圓形，所述光路出口 2的直徑為10_。當然所述光路出口 2的位置以及1 直徑也可根據具體需求調整，濾光片位也可采用各種形狀，而并不限于本實施例中的位置和形狀、大小。在支架盒I的底板8上還設置有X射線管，本實施例中的驅動電機3為步進伺服電機，步進伺服電機也裝在支架盒的底板8上。所述濾光盤5可根據測試的元素自動的切換。具體地說，所述濾光盤5通過步進伺服電機采用微步驅動驅動，伺服電機可精確控制濾光盤5的轉動位置，保證濾光盤濾光片7準確到位，精確度可達O. 045°、且轉換時間短。根據測試不同的元素可實現自動切換濾光片7，不需人為切換，切換工作由相應的應用軟件控制。另外本發明還可通過應用軟件使設備在待機狀態中時，鉛屏蔽罩自動將X射線管4的出射口密封，防止射線泄漏及防止檢測器疲勞。與現有的技術相比，本發明效果在于可根據濾光片7的特性，測試不同元素時自動切換對應的濾光片來進行濾光，得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區內的由原級譜散射引起的背景，以提高待測譜線的測量精度。支架盒I除了濾光后射線出口夕卜，整個支架盒I全密封；本實施例中，支架盒I的高度不大于15mm，可縮短光路到達樣品的距離，特別是防輻射性能得到極大的提高，基本可以達到零輻射。以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述濾光片系統包括支架盒、所述支架盒安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上安裝有濾光盤，所述濾光盤可繞其中心軸旋轉，并在所述濾光盤上設置有關于其中心軸旋轉對稱的至少5個濾光片位，所述濾光片位上安裝有濾光片。
2.如權利要求I所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述濾光盤上設置有10個濾光片位，且所述的濾光片位上分別安裝有至少兩種濾光片。
3.如權利要求2所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述10個濾光片分別為鉛屏蔽罩、第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二鋯鎳片組合片。
4.如權利要求3所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述鉛屏蔽罩厚2mm。
5.如權利要求3所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述第一黃銅片、第二黃銅片、第一鋁片、第二鋁片、鋯片、鎳片、第一鋯鎳組合片、鑰片、第二鋯鎳片組合片的厚度范圍為O. 03mnT0. 1mm。
6.如權利要求2所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述支架盒上設置有支架盒蓋，所述支架盒蓋上設置有光路出口。
7.如權利要求6所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述光路出口的直徑為10mm。
8.如權利要求6所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述支架盒除所述光路出口外，其余為密封結構。
9.如權利要求I所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述濾光片位為圓形，所述支架盒上設置有X射線管。
10.如權利要求I所述的用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，其特征在于所述驅動電機為步進伺服電機，所述濾光盤通過根據測試的元素自動的切換。
全文摘要
本發明提出了一種用于能量色散X熒光光譜儀的濾光片系統，所述濾光片系統包括支架盒、所述支架盒安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上安裝有濾光盤，所述濾光盤可繞其中心軸旋轉，并在所述濾光盤上設置有關于其中心軸旋轉對稱的至少5個濾光片位，所述濾光片位上安裝有濾光片。將本發明的濾光片系統置于光管和樣品之間，可得到單色性更好的輻射，和降低待分析元素譜感興趣區內的由原級譜散射引起的背景，以提高待測譜線的測量精度。
文檔編號G02B5/20GK102914556SQ20121040888
公開日2013年2月6日 申請日期2012年10月23日 優先權日2012年10月23日
發明者楊東華 申請人:東莞市邦鑫偉業儀器有限公司