衰減帶通濾光片的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及光學薄膜【技術領域】，尤其是一種衰減帶通濾光片。包括基片，所述衰減帶通濾光片結構為：αM(0.5H?L0.5H)m/基片/(0.5L?H0.5L)n，其中(0.5L?H0.5L)n為長波通濾光膜系，(0.5H?L0.5H)m為短波通濾光膜系，M為衰減匹配層，H代表光學厚度為λ/4的高折射率材料TiO2層，其折射率在2.0-2.5之間；L代表光學厚度為λ/4的低折射率SiO2層，其折射率在1.4-1.6之間；α為膜層厚度系數，m、n為整數。本實用新型用于光學薄膜【技術領域】，具有結構緊湊、制作成本低，而且能夠更大范圍的滿足衰減透過率要求。
【專利說明】衰減帶通濾光片
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及光學薄膜【技術領域】，尤其是一種衰減帶通濾光片。
【背景技術】
[0002]帶通濾光片是一種應用非常廣泛的薄膜器件，其主要作用是對光進行光譜選擇，使需要的光通過，不需要的光截止，常用的帶通濾光片分為窄帶濾光片和寬帶濾光片。光束通過濾光片，對在帶通濾光片的通帶范圍內要求透光能量按特定比例衰減，得到一定數值透過率穩定的、光學性能好的濾光效果，這種濾光片我們約定稱為衰減帶通濾光片。
[0003]目前的衰減帶通濾光片，一般由帶通濾光片和光學衰減片組合在一起使用，達到衰減濾光的目的，但該類產品主要存在以下不足:
[0004](I)帶通濾光片加光學衰減片組合使用，增加系統負擔使系統不緊湊，同時使系統的光學損耗增加；
[0005](2)兩片組合使用增加制造成本；
[0006](3)對衰減的透過率在50%?90%要求的濾光片比較容易制備，但對衰減的透過率在10%?50%要求的濾光片很難實現，對于衰減的透過率低于10%的就更難實現。
【發明內容】
[0007]本實用新型要解決的技術問題是提供一種衰減帶通濾光片，該衰減帶通濾光片結構緊湊、制作成本低，而且能夠更大范圍的滿足衰減透過率要求。
[0008]為了解決上述技術問題，本實用新型包括基片，所述衰減帶通濾光片結構為:
[0009]a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η
[0010]其中(0.5L H0.5L)n為長波通濾光膜系，(0.5H L0.5H)m為短波通濾光膜，M為衰減匹配層，H代表光學厚度為λ /4的高折射率材料TiO2層，其折射率在2.0-2.5之間山代表光學厚度為λ /4的低折射率SiO2層，其折射率在1.4-1.6之間；α為膜層厚度系數，m、η為整數。
[0011]優選地，所述基片為玻璃片。
[0012]優選地，所述衰減匹配層為鎳鉻合金層。
[0013]本實用新型在不改變帶通濾光膜的基本結構的前提下，加入一層衰減匹配層，實現了在通帶衰減透過率的目的，設計的衰減帶通濾光膜具有對膜層厚度誤差不敏感的特性，便于制備。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為衰減帶通濾光片的結構示意圖；
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型進行詳細的說明，所列舉的實施例，只是用于幫助理解本實用新型，不應理解為對實用新型保護范圍的限定，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理和思想的前提下，還可對本實用新型進行改進和修飾，這些改進和修飾也落入本實用新型權利要求保護的范圍。
[0016]如圖1所示，本實用新型包括基片1，所述基片I優選為K9、BK7等玻璃片，所述基本I的兩面分別鍍制有長波通濾光膜系2和短波通濾光膜系3，所述長波通濾光膜系2的一面鍍制有衰減匹配層4，所述衰減匹配層4優選為鎳鉻合金層，形成如下結構的衰減帶通濾光片:
[0017]a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η
[0018]其中(0.5L H0.5L)η為長波通濾光膜系2，(0.5Η L0.5H)m為短波通濾光膜系3，M為衰減匹配層4，H代表光學厚度為λ /4的高折射率材料TiO2層，其折射率在2.0-2.5之間；L代表光學厚度為λ /4的低折射率SiO2層，其折射率在1.4-1.6之間；α為膜層厚度
系數，可根據公式
【權利要求】
1.衰減帶通濾光片，包括基片(1)，其特征在于，所述衰減帶通濾光片結構為: a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η 其中(0.5L H0.5L)n為長波通濾光膜系(2)，(0.5H L0.5H)m為短波通濾光膜系(3)，M為衰減匹配層(4)，H代表光學厚度為λ /4的高折射率材料TiO2層，其折射率在2.0-2.5之間；L代表光學厚度為λ /4的低折射率SiO2層，其折射率在1.4-1.6之間；α為膜層厚度系數，m、n為整數。
2.根據權利要求1所述的衰減帶通濾光片，其特征在于，所述基片(I)為玻璃片。
3.根據權利要求1或2所述的衰減帶通濾光片，其特征在于，所述衰減匹配層(4)為鎳鉻合金層。
【文檔編號】G02B5/22GK203786316SQ201420173595
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年4月10日 優先權日:2014年4月10日
【發明者】唐乾隆, 查家明, 李斯成, 楊洋 申請人:江蘇北方湖光光電有限公司