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一種用于無掩模掃描光刻的大面積曝光方法與流程

文檔序號:11152937閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,包括以下步驟:

1)首先利用上位機將待曝光的BMP位圖,進行無效信息的切割,所述的無效信息為沒有目標圖像信息的空白邊角;

2)進行BMP位圖中的相似區域的圖形分割,或者提取原始矢量圖中的批量生產等信息,根據BMP位圖的具體大小和相似區域的分布情況,確定使用N組DMD,如果使用N組DMD,則在BMP位圖的相應位置生成標識孔;

3)根據步驟2)確定的N組DMD所對應的N塊區域的圖像完全相似,按照掃描光刻的要求,對其中一個圖像區域按像素步進切割,生成一份曝光幀數據,生成耗時僅為已有方法的1/N,曝光幀數據也是已有方法的1/N;

4)由上述步驟中對BMP位圖的分割情況,使用電機調整N組DMD到對應N個區域的左上角,以標識孔為準進行對位調整;

5)將步驟3)中生成的曝光幀數據同時傳入N組DMD中,然后N組DMD保持相對位置不變,同時進行掃描曝光,完成整幅BMP位圖的曝光。

2.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的BMP位圖,是指由PCB制版中的描述電路信息的Gerber文件轉換成的BMP格式的位圖。

3.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的圖形分割是指利用圖像處理技術獲取相似區域的分布情況。

4.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的N組DMD,N一般選取為2或者4等較小的偶數;每組DMD包括一個DMD,如果包括多個排列好的DMD,那么曝光幀數據也要進行相應的分割。

5.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的標識孔是由計算機在BMP位圖上相應位置生成的200*200大小像素的黑色十字標識。

6.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的步驟3)開始切割位圖之前,可以通過CCD對位圖進行孔位的校準,進行漲縮處理。

7.根據權利要求1所述的一種用于無掩膜掃描光刻的大面積曝光方法,其特征在于,所述的步驟4)中,將多組DMD調整到對應位置后,在接下來的曝光中它們的相對位置不能改變。

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