1.一種烘箱,其特征在于,包括:
箱體,外周設有環形進氣管路;
若干個噴頭,設置在箱體內側,所述噴頭連接環形進氣管路;
氦氣儲罐,通過直連進氣管路和出氣管路連接環形進氣管路;
抽氣泵,安裝在出氣管路上,用于抽取箱體內的氦氣;
所述抽氣泵與氦氣儲罐的之間的出氣管路上還設有第一側通管路,所述第一側通管路連接直通進氣管路和出氣管路;位于第一側通管路和氦氣儲罐之間的直通進氣管路和出氣管路上還設有第一截止閥;關閉第一截止閥,第一側通管路與直通進氣管路和出氣管路以及箱體形成封閉的循環氣路。
2.如權利要求1所述的烘箱,其特征在于,所述噴頭內部設有單向閥。
3.如權利要求2所述的烘箱,其特征在于,所述噴頭數量為12個,分三層設有在箱體內部各個頂角處和直棱邊的中部。
4.如權利要求1所述的烘箱,其特征在于,還包括第二側通管路,所述第二側通管路設置在出氣管路一側,兩端連接出氣管路;所述第二側通管路上設有水冷裝置。
5.如權利要求4所述的烘箱,其特征在于,所述第二側通管路兩端設有截止閥。